Библиографический список

1. Розанов Л.Н.Вакуумная техника:Учеб.для вузов по спец.»Вакуумная техника».-2-е изд.,перераб. и доп.-М.,Высшая школа .1990.-320 с.

2. Ивановский Г.Ф., Петров В.И. Ионно-плазменная обработка материалов. - М.: Радио и связь, 1986. - 232 с.

3. Юдин В.В. Коэффициент распыления изотропных мишеней// Электрон­ная техника. Сер. 2. 1984. Вып. 6(172). С. 3 - 16.

4. Расчёт параметров процесса ионно-плазменной обработки материалов: методические указания к курсовой работе по дисциплине "Теоретические основы технологии ЭВС" для студентов специальности "Конструирование и технология ЭВС"/ Курск. гос. техн. ун-т.; Сост. В.В.Умрихин. Курск, 1997. 29 с.

Приложение 1

Вольт-амперная характеристика полного тока на катоде-мишени:

рис. П1. Вольт-амперная характеристика полного тока

на катоде-мишени

Приложение 2

Вольт-амперная характеристика тока положительных ионов на катоде-мишени:

рис. П2. Вольт-амперная характеристика тока положительных ионов на катоде-мишени.

Приложение 3

рис. Зависимость pd(u).

Приложение 4

Схема форвакуумного насоса.

Рис. П4. Золотниковый насос.

Золотниковый насос состоит из корпуса 1, эксцентрично установленного ротора 2, золотника 6, выпускного патрубка и обратного клапана 3, шарнира 7 и входного патрубка 4. Газ из откачиваемого объекта через входной патрубок и отверстия 5 в золотнике поступает в камеру всасывания А, увеличивающуюся при вращении ротора по часовой стрелке. В это же время объем камеры В уменьшается и находящийся в ней газ сжимается и выталкивается через выходной патрубок.

Приложение 5

Схема диффузионного насоса.

Рис. П5. Принципиальная схема диффузионного насоса.

Простейший диффузионный насос (рис. П5) состоит из кипя­тильника 1, диффузионного сопла 2, закрепленного на паропрово­де 6, холодильника 4, впускного и выпускного патрубков 3 и 5. Па­ры рабочей жидкости из кипятильника проходят по паропроводу че­рез зонтичное сопло и конденсируются на стенках насоса, охлаждае­мых холодильником. За время движения пара от конца сопла до стенок насоса в струю пара диффундирует откачиваемый газ. Пос­ле конденсации образовавшейся парогазовой смеси выделившийся газ откачивается через выпускной патрубок насосом предваритель­ного разрежения, а сконденсированный пар стекает по стенкам на­соса в кипятильник через зазор между паропроводом и корпусом насоса.

Приложение 6

Схема термопарного датчика.

Рис П6. Схема термопарного преобразователя.

В термопарном преобразователе температура нити 1 измеряется термопарой 2. Электроды рсположены в стеклянном или металлическом баллоне 3, имеющем патрубок для подключения к вакуумной системе. Термо-ЭДС термопары измеряется милливольтметром, ток накала нити регулируется реостатом и измеряется миллиамперметром.

Приложение 7

Ионизационный датчик.

Рис. П7.1. Схемы электронных преобразователей:

1. с внутренним коллектором;

2. с внешним коллектором

Существует две схемы электронного преобразователя: с внутренним и внешним коллектором.

Схема с внутренним коллектором (рис.П.7.1.а) аналогично обычному триоду. Коллектором ионов является сетка, на которую относительно катода подается отрицательное напряжение в несколько десятков вольт, а на анод – положительное напряжение 100-200 В. Электроны на пути от катода к аноду (ток I_е) соударяются с молекулами остаточных газов, и образовавшиеся положительные ионы попадают на сетку, создавая ионный ток I_и, измеряемый гальванометром.

В схеме с внешним коллектором (рис. П7.1.б) потенциалы сетки и анода меняются местами, и коллектором становится анод. Электроны, летящие от катода к сетке, совершают вокруг ее витков ряд колебаний, что увеличивает длину траектории электронов и повышает вероятность ионизации молекул остаточных газов. Это делает схему с внешним коллектором более чувствительной, несмотря на то, что часть положительных ионов, образовавшихся между сеткой и катодом, не участвует в измерении давления.

Пределы давлений, которые могут быть измерены таким манометрическим преобразователем, составляют 1…10^-5 Па.

37