МИНИСТЕРСТВО ОБЩЕГО И ПРОФЕССИОНАЛЬНОГО ОБРАЗОВАНИЯ

Курский государственный технический университет

Кафедра конструирования и технологии электронных

вычислительных средств

ПОЯСНИТЕЛЬНАЯ ЗАПИСКА

к курсовой работе по дисциплине

"Теоретические основы технологии ЭВС"

на тему: Расчёт параметров процесса ионно-плазменной

обработки материалов .

Студент КС-71 Минаков Владимир Викторович 30 мая 1999 г.

(группа, фамилия, подпись, дата)

Специальность 220500 "Конструирование и технология ЭВС"

Курсовая работа защищена_____________ Оценка_______________

КУРСК 1999

Исходные данные для расчётов

Исходные данные для расчета времени откачки предварительного вакуума

l, см	P, Па	Рv, Па	d, см	Qi, м3Па/с	Sн, л/с	Vраб.об.,м3, 10-3
70	105	2	2	410-4	8	100

Исходные данные для расчета ВАХ разряда, коэффициента распыления, скорости осаждения катодном распылении

R, мм	Р, мм рт.ст.		Элемент	, г/cм3
70	310-2	1,25	Mn	7.44

Исходные данные для расчета температурного режима катода-мишени

	600 К, Вт/(мК)	Vводы, м/с
0,2	8	4

Содержание

ВВЕДЕНИЕ...............................................................................................................4

1. ТЕХНИКА КАТОДНОГО РАСПЫЛЕНИЯ.......................................................................................................5

1.1. Техника получения вакуума................................................................................5

1.2. Техника измерения низких давлений.................................................................6

1.3. Конструктивные особенности установки катодного распыления...................8

1.4. Расчёт времени откачки предварительного вакуума........................................9

1.5. Последовательность процесса катодного распыления...................................11

2. ТЕОРИЯ ЭЛЕКТРИЧЕСКОГО ГАЗОВОГО РАЗРЯДА.................................................................................................................13

2.1. Типичные разряды в постоянном электрическом поле..................................13

2.2. Условия существования разряда в газах..........................................................18

2.3. Вольт-амперная характеристика разряда между электродами......................18

2.4. Расчёт вольт-амперной характеристики разряда при

катодном распы­лении.........................................................................................20

3. ТЕОРИЯ КАТОДНОГО РАСПЫЛЕНИЯ...................................................................24

3.1. Физические модели катодного распыления.....................................................24

3.2. Коэффициент распыления и факторы, влияющие на его величину............25

3.3. Расчёт коэффициента распыления....................................................................26

3.4. Перенос распылённого материала от мишени

к поверхности конден­сации................................................................................28

3.5. Расчёт скорости осаждения...............................................................................28

3.6. Влияние параметров осаждения на свойства плёнок......................................30

4. ТЕПЛОВЫЕ ПРОЦЕССЫ ПРИ КАТОДНОМ РАСПЫЛЕНИИ.....................................................................................................31

4.1. Расчёт температурного режима катода-мишени..............................................31

ЗАКЛЮЧЕНИЕ......................................................................................................33

БИБЛИОГРАФИЧЕСКИЙ СПИСОК........................................34

ПРИЛОЖЕНИЕ 1......................................................................................35

ПРИЛОЖЕНИЕ 2.....................................................................................35

ПРИЛОЖЕНИЕ 3.....................................................................................36