1 Группа
|
N вар |
r, мм |
Р, мм рт.ст. |
|
Элемент |
Z2 |
Es, эВ |
, г/cм3 |
|
1 |
50 |
110-3 |
1 |
Be |
4 |
3,48 |
1,85 |
|
2 |
60 |
210-3 |
1 |
Mg |
12 |
1,59 |
1,74 |
|
3 |
70 |
310-3 |
1 |
Al |
13 |
3,25 |
2,67 |
|
4 |
80 |
410-3 |
1 |
Si |
14 |
3,91 |
2,33 |
|
5 |
90 |
510-3 |
1 |
Ti |
22 |
4,34 |
4,50 |
|
6 |
50 |
110-3 |
1,25 |
V |
23 |
3,70 |
5,96 |
|
7 |
60 |
210-3 |
1,25 |
Cr |
24 |
3,48 |
7,18 |
|
8 |
70 |
310-3 |
1,25 |
Mn |
25 |
3,15 |
7,44 |
|
9 |
80 |
410-3 |
1,25 |
Fe |
26 |
4,15 |
7,87 |
|
10 |
90 |
510-3 |
1,25 |
Co |
27 |
4,38 |
8,90 |
|
11 |
50 |
110-3 |
1,5 |
Ni |
28 |
4,41 |
8,91 |
|
12 |
60 |
210-3 |
1,5 |
Cu |
29 |
3,56 |
8,96 |
|
13 |
70 |
310-3 |
1,5 |
Zn |
30 |
1,19 |
7,13 |
|
14 |
80 |
410-3 |
1,5 |
Ge |
32 |
3,77 |
5,32 |
|
15 |
90 |
510-3 |
1,5 |
Se |
34 |
2,67 |
4,79 |
|
16 |
50 |
110-3 |
2 |
Zr |
40 |
5,43 |
6,45 |
|
17 |
60 |
210-3 |
2 |
Nb |
41 |
7,50 |
8,57 |
|
18 |
70 |
310-3 |
2 |
Mo |
42 |
6,90 |
10,22 |
|
19 |
80 |
410-3 |
2 |
Pd |
46 |
4,80 |
12,02 |
|
20 |
90 |
510-3 |
2 |
Ag |
47 |
2,70 |
10,50 |
|
21 |
50 |
110-3 |
1,25 |
Cd |
48 |
1,17 |
8,65 |
|
22 |
60 |
210-3 |
1,25 |
In |
49 |
2,33 |
7,31 |
|
23 |
70 |
310-3 |
1,25 |
Sn |
50 |
3,00 |
5,85 |
|
24 |
80 |
410-3 |
1,25 |
Sb |
51 |
1,75 |
6,69 |
|
25 |
90 |
510-3 |
1,25 |
C |
6 |
7,41 |
2,30 |
Таблица 2.1
2 Группа
|
N вар |
r, мм |
Р, мм рт.ст. |
|
Элемент |
Z2 |
Es, эВ |
, г/cм3 |
|
1 |
25 |
110-2 |
1,5 |
Bi |
83 |
2,06 |
9,78 |
|
2 |
30 |
210-2 |
1,5 |
Pb |
82 |
2,04 |
11,34 |
|
3 |
35 |
310-2 |
1,5 |
Au |
79 |
3,92 |
19,32 |
|
4 |
40 |
410-2 |
1,5 |
Ir |
77 |
7,1 |
22,42 |
|
5 |
45 |
510-2 |
1,5 |
Pt |
78 |
5,56 |
21,45 |
|
6 |
25 |
110-2 |
2 |
Os |
76 |
7,5 |
22,57 |
|
7 |
30 |
210-2 |
2 |
Re |
75 |
8,2 |
21,02 |
|
8 |
35 |
310-2 |
2 |
Ta |
73 |
8,7 |
16,65 |
|
9 |
40 |
410-2 |
2 |
Fe |
26 |
4,15 |
7,87 |
|
10 |
45 |
510-2 |
2 |
Co |
27 |
4,38 |
8,90 |
|
11 |
25 |
110-2 |
1 |
Ni |
28 |
4,41 |
8,91 |
|
12 |
30 |
210-2 |
1 |
Cu |
29 |
3,56 |
8,96 |
|
13 |
35 |
310-2 |
1 |
Zn |
30 |
1,19 |
7,13 |
|
14 |
40 |
410-2 |
1 |
Ge |
32 |
3,77 |
5,32 |
|
15 |
45 |
510-2 |
1 |
Se |
34 |
2,67 |
4,79 |
|
16 |
35 |
210-3 |
1 |
Zr |
40 |
5,43 |
6,45 |
|
17 |
40 |
310-3 |
1 |
Nb |
41 |
7,50 |
8,57 |
|
18 |
45 |
410-3 |
1 |
Mo |
42 |
6,90 |
10,22 |
|
19 |
25 |
510-3 |
1 |
Pd |
46 |
4,80 |
12,02 |
|
20 |
30 |
110-3 |
1 |
Ag |
47 |
2,70 |
10,50 |
|
21 |
35 |
210-3 |
1,25 |
Cd |
48 |
1,17 |
8,65 |
|
22 |
40 |
310-3 |
1,25 |
In |
49 |
2,33 |
7,31 |
|
23 |
45 |
410-3 |
1,25 |
Sn |
50 |
3,00 |
5,85 |
|
24 |
50 |
510-3 |
1,25 |
Sb |
51 |
1,75 |
6,69 |
|
25 |
60 |
110-3 |
1,25 |
W |
74 |
8,76 |
19,35 |
1. Найти размер катодной области d.
2. Найти коэффициент ионизации .
3. Найти коэффициент вторичной эмиссии Г.
4. Построить ВАХ разряда при 1000 В U 5000 В.
5. Считать, что разряд происходит в атмосфере аргона и расстояние D от катода до анода равно 2d.
6. Найти максимальный коэффициент распыления, скорость распыления и скорость осаждения.
Исходные данные для расчета температурного режима катода-мишени
Таблица 3.1
Группа 1
|
N вар |
Элемент |
|
600 К, Вт/(мК) |
Vводы, м/с |
|
1 |
Be |
0,1 |
160 |
0,2 |
|
2 |
Mg |
0,1 |
153 |
0,3 |
|
3 |
Al |
0,1 |
240 |
0,4 |
|
4 |
Si |
0,1 |
99 |
0,5 |
|
5 |
Ti |
0,1 |
20 |
0.6 |
|
6 |
V |
0,2 |
31 |
0.2 |
|
7 |
Cr |
0,2 |
91 |
0.3 |
|
8 |
Mn |
0,2 |
8 |
0.4 |
|
9 |
Fe |
0,2 |
70 |
0.5 |
|
10 |
Co |
0,2 |
85 |
0.6 |
|
11 |
Ni |
0,3 |
80 |
0,2 |
|
12 |
Cu |
0,3 |
393 |
0.3 |
|
13 |
Zn |
0,3 |
111 |
0.4 |
|
14 |
Ge |
0,3 |
43 |
0.5 |
|
15 |
Se |
0,3 |
5,4 |
0.6 |
|
16 |
Zr |
0,4 |
22 |
0.2 |
|
17 |
Nb |
0,4 |
55 |
0.3 |
|
18 |
Mo |
0,4 |
134 |
0.4 |
|
19 |
Pd |
0,4 |
74 |
0.5 |
|
20 |
Ag |
0,4 |
425 |
0.6 |
|
21 |
Cd |
0,5 |
95 |
0,01 |
|
22 |
In |
0,5 |
75 |
0,02 |
|
23 |
Sn |
0,5 |
62 |
0,03 |
|
24 |
Sb |
0,5 |
21 |
0,04 |
|
25 |
C |
0,5 |
4,1 |
0,05 |
Таблица 3.2
Группа 2
|
N вар |
Элемент |
|
600 К, Вт/(мК) |
Vводы, м/с |
|
1 |
Bi |
0,1 |
7 |
0,02 |
|
2 |
Pb |
0,1 |
34 |
0,03 |
|
3 |
Au |
0,1 |
311 |
0,04 |
|
4 |
Ir |
0,1 |
144 |
0,05 |
|
5 |
Pt |
0,1 |
72 |
0.06 |
|
6 |
Os |
0,2 |
87 |
0.02 |
|
7 |
Re |
0,2 |
46 |
0.03 |
|
8 |
Ta |
0,2 |
58 |
0.04 |
|
9 |
Fe |
0,2 |
70 |
0.05 |
|
10 |
Co |
0,2 |
85 |
0.06 |
|
11 |
Ni |
0,3 |
80 |
0,02 |
|
12 |
Cu |
0,3 |
393 |
0.03 |
|
13 |
Zn |
0,3 |
111 |
0.04 |
|
14 |
Ge |
0,3 |
43 |
0.05 |
|
15 |
Se |
0,3 |
5,4 |
0.06 |
|
16 |
Zr |
0,1 |
22 |
0.06 |
|
17 |
Nb |
0,1 |
55 |
0.02 |
|
18 |
Mo |
0,1 |
134 |
0.03 |
|
19 |
Pd |
0,1 |
74 |
0.04 |
|
20 |
Ag |
0,2 |
425 |
0.05 |
|
21 |
Cd |
0,2 |
95 |
0.06 |
|
22 |
In |
0,2 |
75 |
0,02 |
|
23 |
Sn |
0,2 |
62 |
0.03 |
|
24 |
Sb |
0,2 |
21 |
0.04 |
|
25 |
W |
0,3 |
159 |
0.05 |
1. Считать, что температура рабочей поверхности мишени 600 К.
2. Определить оптимальную толщину катода-мишени при условии, что вся мощность разряда прикладывается к мишени.
3. Тепло от мишени отводится за счет излучения и подводимой воды.
4. Определить рабочую точку на ВАХ разряда для данного теплового режима.