7

МИНИСТЕРСТВО ОБРАЗОВАНИЯ И НАУКИ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ

КУРСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ ТЕХНИЧЕСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ

КАФЕДРА КОНСТРУИРОВАНИЯ И ТЕХНОЛОГИИ ЭЛЕКТРОННЫХ

ВЫЧИСЛИТЕЛЬНЫХ СРЕДСТВ

Исходные данные

к курсовой работе «Расчет параметров процесса

ионно-плазменной обработки материалов» по

дисциплине «Физико-химические основы технологии ЭВС»

для студентов специальности 220500

«Конструирование и технология ЭВС»

КУРСК 2005

Исходные данные для расчета времени откачки предварительного вакуума

Таблица 1.1

1 Группа

N вар

P, Па

Рv, Па

Р0, Па

Qi, м3Па/с

Sн, л/с

Vраб.об.,

м3, 10-3

1

105

1

0,1

210-4

6

80

2

- // -

- // -

- // -

310-4

7

90

3

- // -

- // -

- // -

410-4

8

100

4

- // -

- // -

- // -

5 10-4

9

110

5

- // -

- // -

- // -

6 10-4

10

120

6

- // -

2

0,2

2 10-4

6

80

7

- // -

- // -

- // -

310-4

7

90

8

- // -

- // -

- // -

410-4

8

100

9

- // -

- // -

- // -

510-4

9

110

10

- // -

- // -

- // -

610-4

10

120

11

- // -

3

0,3

210-4

6

80

12

- // -

- // -

- // -

310-4

7

90

13

- // -

- // -

- // -

410-4

8

100

14

- // -

- // -

- // -

510-4

9

110

15

- // -

- // -

- // -

610-4

10

120

16

- // -

4

0,4

210-4

6

80

17

- // -

- // -

- // -

310-4

7

90

18

- // -

- // -

- // -

410-4

8

100

19

- // -

- // -

- // -

510-4

9

110

20

- // -

- // -

- // -

610-4

10

120

21

- // -

5

0,5

210-4

6

80

22

- // -

- // -

- // -

310-4

7

90

23

- // -

- // -

- // -

410-4

8

100

24

- // -

- // -

- // -

510-4

9

110

25

- // -

- // -

- // -

610-4

10

120

Таблица 1.2

Соседние файлы в папке Задание