МИНИСТЕРСТВО ОБРАЗОВАНИЯ И НАУКИ РОССИЙСКОЙ ФЕДЕРАЦИИ
КУРСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ ТЕХНИЧЕСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ
КАФЕДРА КОНСТРУИРОВАНИЯ И ТЕХНОЛОГИИ ЭЛЕКТРОННЫХ
ВЫЧИСЛИТЕЛЬНЫХ СРЕДСТВ
Исходные данные
к курсовой работе «Расчет параметров процесса
ионно-плазменной обработки материалов» по
дисциплине «Физико-химические основы технологии ЭВС»
для студентов специальности 220500
«Конструирование и технология ЭВС»
КУРСК 2005
Исходные данные для расчета времени откачки предварительного вакуума
Таблица 1.1
1 Группа
|
N вар |
P, Па |
Рv, Па |
Р0, Па |
Qi, м3Па/с |
Sн, л/с |
Vраб.об., м3, 10-3 |
|
1 |
105 |
1 |
0,1 |
210-4 |
6 |
80 |
|
2 |
- // - |
- // - |
- // - |
310-4 |
7 |
90 |
|
3 |
- // - |
- // - |
- // - |
410-4 |
8 |
100 |
|
4 |
- // - |
- // - |
- // - |
5 10-4 |
9 |
110 |
|
5 |
- // - |
- // - |
- // - |
6 10-4 |
10 |
120 |
|
6 |
- // - |
2 |
0,2 |
2 10-4 |
6 |
80 |
|
7 |
- // - |
- // - |
- // - |
310-4 |
7 |
90 |
|
8 |
- // - |
- // - |
- // - |
410-4 |
8 |
100 |
|
9 |
- // - |
- // - |
- // - |
510-4 |
9 |
110 |
|
10 |
- // - |
- // - |
- // - |
610-4 |
10 |
120 |
|
11 |
- // - |
3 |
0,3 |
210-4 |
6 |
80 |
|
12 |
- // - |
- // - |
- // - |
310-4 |
7 |
90 |
|
13 |
- // - |
- // - |
- // - |
410-4 |
8 |
100 |
|
14 |
- // - |
- // - |
- // - |
510-4 |
9 |
110 |
|
15 |
- // - |
- // - |
- // - |
610-4 |
10 |
120 |
|
16 |
- // - |
4 |
0,4 |
210-4 |
6 |
80 |
|
17 |
- // - |
- // - |
- // - |
310-4 |
7 |
90 |
|
18 |
- // - |
- // - |
- // - |
410-4 |
8 |
100 |
|
19 |
- // - |
- // - |
- // - |
510-4 |
9 |
110 |
|
20 |
- // - |
- // - |
- // - |
610-4 |
10 |
120 |
|
21 |
- // - |
5 |
0,5 |
210-4 |
6 |
80 |
|
22 |
- // - |
- // - |
- // - |
310-4 |
7 |
90 |
|
23 |
- // - |
- // - |
- // - |
410-4 |
8 |
100 |
|
24 |
- // - |
- // - |
- // - |
510-4 |
9 |
110 |
|
25 |
- // - |
- // - |
- // - |
610-4 |
10 |
120 |
Таблица 1.2