Содержание отчета

Отчет по лабораторной работе должен содержать:

• краткий конспект теоретического материала;

• описание применяемого в лабораторной работе технологического оборудования;

• последовательность действий оператора в процессе выполнения задания; снимки микроэлектронной структуры с результатами измерений, отпечатанные на бумаге с файлов, полученных на РЭМ;

• вывод о размерном уровне технологии изготовления данного образца и шаге металлизации;

Контрольные вопросы

1. Какие принципы лежат в основе работы РЭМ.

2. Чем определяется и как изменить увеличение РЭМ?

3. Какие типы электронных пушек существуют, и какая пушка на установлена на РЭМ Philips XL 40?

4. Как осуществляется фокусировка объектов на поверхности образца?

5. Как осуществляется сканирование поверхности образца?

6. Какие эффекты создает зарядка диэлектрического образца и как от них избавиться?

7. Какой материал выглядит более ярким, металл или диэлектрик и почему?

8. Как повысить контрастность границы раздела нитрида и оксида кремния?

9. Каким требованиям должен удовлетворять образец для исследований в РЭМ?

10. Как измеряются размеры элементов микроэлектронных структур?

Рекомендуемая литература

1. Практическая растровая электронная микроскопия. // Под ред. Дж. Голдстейн, Х. Яковиц. М.: Мир 1978. – c. 21 – 164.

2. Я.С. Уманский, Ю.А. Скаков и др. Кристаллография, рентгенография и электронная микроскопия. М. Металлургия, 1982 .

3. Ф. Морис и др. Микроанализ и растровая электронная микроскопия. М.: Металлургия, 1985.

4. Weilie Zhou, Robert Apkarian, Zhong Lin Wang, David Joy. Fundamentals of Scanning Electron Microscopy (SEM). // Scanning Microscopy for Nanotechnology: Techniques and Applications. Ed. Weilie Zhou, Zhong Lin Wang. 2006. Springer. P. 1-39.