
- •Isbn 978-5-7883-0841-8
- •Isbn 978-5-7883-0841-8
- •Список использованных обозначений и сокращений
- •1. Физико-техническая специфика и проблематика нанотехнологий
- •1.1. Смысловое содержание понятия технология применительно к изделиям наноинженерии
- •1.1.1. Определение понятия антропогенной технологии
- •1.1.2. Какие макроскопические состояния «любит природа».
- •1.1.3. Общие стохастические принципы анализа нанотехнологий
- •1.2. Термодинамика процесса упорядочения материальных сред
- •1.2.1. Свободная энергия термодинамической системы как компромисс между энтропией и внутренней энергией
- •1.2.2. Анализ атомной упорядоченности с позиции принципа термодинамического равновесия физических систем
- •1.2.3. Время релаксации системы к состоянию термодинамического равновесия
- •1.2.4. Формирование требований к допустимой концентрации атомных дефектов в изделиях наноинженерии
- •1.3. Общие принципы проведения идеализации реальных объектов и процессов нанотехнологий
- •Смысловое содержание понятия «идеализация» применительно к физическим системам
- •Идеализация потенциальных энергетических диаграмм атомно-молекулярных систем
- •Идеализация состояния системы – «адиабатическое приближение»
- •Идеализация граничных и начальных условий в гетерофазных структурах
- •Время релаксации индивидуального физико-химического процесса
- •2. Формальные модели нанотехнологий
- •2.1. Классификация элементарных физико-химических процессов нанотехнологий
- •2.2. Формальное представление элементарных физико-химических процессов с позиции модели «рождение-гибель»
- •2.2.1. Классификация физико-химических процессов
- •2.2.2. Общие принципы создания моделей физико-химических процессов
- •2.3. Формальное представление нанотехнологий с позиции «векторно-броуновской» модели
- •2.3.1. Основополагающие представления
- •2.3.2. Взаимосвязь с физическими моделями технологических процессов
- •2.3.3. Специфика применения в технологических приложениях
- •2.4. Фактор необратимости реальных физико-химических процессов
- •2.5. Формальное представление нанотехнологии с позиции «стохастической» модели
- •2.5.1. Цели и задачи «стохастической» модели нанотехнологии
- •2.5.2. Определение понятия «микро- и нанотехнология» в стохастическом представлении
- •2.5.3. Показатели качества нанотехнологий на атомном уровне рассмотрения
- •2.5.4. Показатели качества технологий на микро- и макроскопическом уровне рассмотрения
- •2.5.5. Стохастические показатели качества реальных микро- и нанотехнологий
- •2.5.6. Информационный потенциал и дефицит микро- и нанотехнологий
- •2.5.7. Взаимосвязь информационного запас качества технологии и ресурса изделия наноинженерии
- •2.6. Формальные модели нанотехнологий основанные на вычислительных экспериментах с атомным уровнем разрешения
- •2.6.1. Предпосылки использования вычислительных экспериментов в технологической практике создания наноразмерных структур
- •2.6.2. Классификация методов моделирования технологических процессов
- •3. Физические основы моделирования нанотехнологий методами вероятностных клеточных автоматов
- •3.1 Основные принципы работы вероятностных клеточных автоматов.
- •3.2 Топологическая структура полигона моделирования.
- •3.3. Основные принципы временной дискретизации при моделировании процессов эволюции систем
- •3.4. Специфика моделирования процесса эволюции систем методами вероятностных клеточных автоматов
- •3.5. Общие принципы построения вычислительных алгоритмов вероятностных клеточных автоматов
- •Примеры моделирования нанотехнологий методами вероятностных клеточных автоматов
- •Часть 1
- •443086 Самара, Московское шоссе, 34.
- •443086 Самара, Московское шоссе, 34.
1.2.2. Анализ атомной упорядоченности с позиции принципа термодинамического равновесия физических систем
Движущей силой процесса кристаллизации (т.е. упорядоченного размещения атомов) является то обстоятельство, что упорядочение пространственного расположения индивидуальных атомов в некотором объеме вещества приводит к уменьшению внутренней энергии этого объема вещества (в соответствии с принципом минимальной энергии системы).
Возникновение
единичного атомного дефекта в
кристаллической структуре приводит к
появлению избыточной энергии в
структуре -
,
получившей название - «энергия
дефектообразования». При концентрации
указанных атомных дефектов равной
,
суммарная избыточная энергия единицы
объема кристаллической структуры
составит:
|
|
(1.17) |
Отметим,
что выражение (1.17) справедливо только
для случая достаточно малых концентраций
,
при которых можно считать, что
(это становится возможным в условиях
отсутствия фактора взаимодействия
между соседними атомными дефектами,
что обеспечивается значительным
расстоянием между дефектами).
Возникновение
в кристаллической структуре атомных
дефектов приводит к появлению в ней
дополнительной энтропии
.
Эту энтропию следует трактовать как
дополнительную
неопределенность
состояния атомной системы, обусловленную
отсутствием
знания о местоположении атомных
дефектов в кристаллической структуре.
При такой трактовке наблюдается полная
аналогия с рассмотренным выше примером
«системы двух ящиков», если считать,
что параметр
характеризует конкретное «макросостояние»
атомной системы, а
- количество «микросостояний» (см.
выражение 1.11), обеспечивающих факт
проявления данного «макросостояния»
системы.
С учетом выражений (1.11) и (1.12), зависимость дополнительной энтропии от концентрации атомных дефектов (атомная вакансия) имеет вид:
|
|
(1.18) |
где - концентрация узлов кристаллической решетки (т.е. мест возможного размещения индивидуальных атомов и атомных вакансий).
На
основании выражений (1.16) - (1.18) можно
определить зависимость дополнительной
свободной энергии
от концентрации атомных дефектов в
кристаллической структуре в виде:
|
|
(1.19) |
В
состоянии термодинамического равновесия
системы функция
достигает своего минимального значения
(экстремум функции). Отсюда следует, что
равновесную концентрацию атомных
дефектов можно определить на основании
выражения:
|
|
(1.20) |
Для дифференцирования фрагмента выражения (1.19), содержащего логарифм, воспользуемся приближением [11]:
|
и следовательно:
|
(1.21) |
Используя приближение (1.21), выражение (1.20) сводится к алгебраическому уравнению:
|
|
(1.22) |
В реальных кристаллических структурах, как правило, выполняется условие: >> . Для этого случая, согласно выражению (1.22), равновесная концентрация атомных дефектов в кристаллической структуре определяется выражением:
|
|
(1.23) |
В
табл. 1.4 представлена зависимость
концентрации дефектов кристаллической
структуры от энергии дефектообразования
и температуры вещества в процессе
кристаллизации
.
Т
а б л и ц а 1.4 Относительная
концентрация атомных дефектов
как функция параметров и .
, эВ. |
Температура процесса кристаллизации - , К. |
||||
150 |
300 |
600 |
900 |
1200 |
|
0.4 |
3.3·10-15 |
1.1·10-7 |
3.6·10-4 |
4.8·10-3 |
0.018 |
0.6 |
~ 10-22 |
3.8·10-11 |
6.1·10-6 |
3.6·10-4 |
2.5·10-3 |
0.8 |
~ 10-29 |
1.3·10-14 |
1.1·10-7 |
2.3·10-5 |
3.6·10-4 |
1.0 |
~ 10-36 |
~ 10-17 |
2.1·10-9 |
1.6·10-6 |
4.5·10-5 |
1.2 |
~ 10-42 |
~ 10-21 |
3.8·10-11 |
1.1·10-7 |
6.1·10-6 |
1.4 |
~ 10-48 |
~ 10-24 |
6.9·10-13 |
7.8·10-9 |
8.3·10-7 |
1.6 |
~ 10-56 |
~ 10-28 |
1.3·10-14 |
5.4·10-10 |
1.1·10-7 |
1.8 |
~ 10-64 |
~ 10-32 |
~ 10-16 |
3.8·10-11 |
1.5·10-8 |
2.0 |
~ 10-68 |
~ 10-34 |
~ 10-17 |
2.6·10-12 |
2.1·10-9 |
Параметр можно рассматривать в качестве вероятности случайного обнаружения атомного дефекта в кристаллической структуре, появление которого происходит в упорядоченной атомной структуре вполне «естественным» образом (т.е. без специального вмешательства фактора человеческой деятельности). Поскольку подавляющее большинство традиционных технологических процессов (кристаллизация, рекристаллизация, отжиг, окисление, плавление и т.д.) имеют высокотемпературный характер (600 – 1200 К), то значение параметра (при =1 эВ - характерное значение энергии активации для элементарных ФХП) составляет по порядку величины 10-9 – 10-5 (см. табл. 1.4). Негативные следствия практического характера, вытекающие из этого обстоятельства, будут рассмотрены ниже.
Из данных табл. 1.4 следует, что при снижении температурных нагрузок технологических процессов до уровня 300 К можно ожидать существенное уменьшение (крайне негативного для производственной практики) параметра - (на восемь порядков, при значении =1 эВ). Принципиальная возможность реализации этого благоприятного момента связывается с освоением в промышленных масштабах технологий атомной сборки изделий, поскольку эти технологии могут быть совмещены с криогенными температурными режимами проведения технологических процессов.