
- •Работа с откачным оборудованием сверхвысокого вакуума
- •Общие сведения о вакуумных насосах
- •Насосы среднего вакуума
- •Высоковакуумные насосы
- •Сверхвысоковакуумные насосы
- •Измерение вакуума
- •Порядок выполнения работы
- •7. Требования к отчету
- •8. Контрольные вопросы
- •Литература
- •Наблюдение остаточной атмосферы в установке млэ масс-спектрометром мх-7304
- •1. Общие сведения
- •2. Физические основы процесса
- •3. Времяпролетный масс-спектрометр
- •1 Катод; 2 диафрагма; 3 ускоряющие сетки; 4 траектория ионов; 5 супрессорные сетки; 6 приемник ионов; 7 выталкивающий электрод; 8 электронный луч
- •4. Квадрупольный масс-спектрометр
- •1 Источник ионов; 2 входная диафрагма; 3 стержни анализатора;
- •4 Приемник ионов
- •Масс-спектрометр мх-7304
- •5. Включение масс-спектрометра мх-7304
- •6. Запись масс-спектра
- •Испытание вакуумных систем на герметичность
- •Общие сведения
- •Типы течеискателей
- •Включение течеискателя
- •Выключение прибора
Масс-спектрометр мх-7304
Рис. 4. Блок-схема масс-спектрометра
МХ-7304
Превращение молекул ионизируемого вещества в ионы происходит в источнике ионов, где молекулы подвергаются бомбардировке электронами и ионизируются. Сфокусированный в источнике ионов пучок ионов поступает в поле анализатора масс.
Анализирующее
поле создается системой электродов,
состоящей из заземленного углового
электрода и цилиндрического стержня,
установленного внутри углового электрода
на изоляторах. При подаче на стержень
относительного углового электрода
переменного напряжения (
+
cos
t)
в пространстве между электродами
образуется поле, потенциал которого в
декартовой системе координат x и y
приближенно описывается уравнением
. (5)
В таком электрическом поле ионы, влетевшие вдоль оси z, описывают сложную траекторию, имеющую в плоскости yz форму полусинусоиды с периодом, зависящим от массы ионов, на которую наложены высокочастотные колебания с переменной амплитудой.
Уравнение движения ионов в поле анализатора запишется в следующем виде:
, (6)
, (7)
где
;
;
.
Развертка по
массе осуществляется изменением
амплитуды высокочастотного напряжения
V при постоянном отношении
.
Анализ
показывает, что при достаточно “длинном”
вдоль оси поле и при определенном
отношении
на коллектор поступают только однозарядные
ионы:
, (8)
где М – массовое число; V – амплитуда переменного напряжения; q – безразмерная постоянная, зависящая от отношения ; r0 – кратчайшее расстояние от стержня до вершины углового электрода анализатора, см; f – частота переменного напряжения, МГц.
Экспериментальным
путем устанавливается оптимальный
режим работы анализатора и чувствительность.
Этот режим соответствует
и q =
0.624; при
с расширением диапазона массовых чисел
и увеличением чувствительности ухудшается
разрешающая способность. Изменение
разрешающей способности можно осуществить
регулировкой режима работы источника
ионов, уменьшение ускоряющего напряжения
ведет к улучшению разрешающей способности.
Напряжения ионизирующее и отражателя
в источнике ионов служат для формирования
электронного пучка.
Коллектором для ионов, выходящих из анализатора, является первый динод вторично-электронного умножителя (ВЭУ). Ионы выбивают с поверхности первого динода умножителя электроны, которые, пройдя несколько ступеней умножителя, попадают на коллектор (анод) умножителя.
Ток электронов в цепи анода усиливается предварительным усилителем и усилителем постоянного тока (УПТ). Величина коэффициента усиления ВЭУ зависит от напряжения его питания, которое может изменяться в пределах от – 2 до – 4 кV.