ИДЗ / ИДЗ_5

МИНОБРНАУКИ РОССИИ

Санкт-Петербургский государственный

электротехнический университет

«ЛЭТИ» им. В.И. Ульянова (Ленина)

Кафедра МИТ

ИНДИВИДУАЛЬНОЕ ДОМАШНИЕ ЗАДАНИЕ №4

по дисциплине «Физические основы микро и наноэлектроники»

Тема: Ионно-плазменное распыление

Студент гр.
Преподаватель		Мельник В.И.

Санкт-Петербург

2019

Исходные данные

№	M1	M2
17	Pt	W

1. Рассчитать длину пробега для обеих мишеней при соответствующих энергиях электронов 10, 20, 70, 100, 200, 700, 1000, 2000 и 7000 эВ.

Приведённые значения энергий требуется перевести в кэВ, чтобы использовать в формуле!

Дано:	Решение:
	Для платины:	Для вольфрама:
Найти:

То есть пробег больше у вольфрама при любой энергии. Причём он не должен таковым быть исходя из молярной массы и атомного номера вольфрама. Однако плотность меняет результат в пользу вольфрама. Т.о. даже если атом массивен, небольшая плотность даёт больше шансов, что падающий электрон проникнет как можно глубже.

2. Рассчитать коэффициент отражения электронов для заданных материалов мишени.

Дано:	Решение:
	Для платины:	Для вольфрама:
Найти:

Не удивительно, что коэффициент больше для платины, потому как коэффициент отражения зависит от атомного номера, который отражает массивность того или иного атома. Чем больше его массивность, тем больше шансов, что электрон упруго удариться об него и полетит в сторону прилёта (вверх по проекции на вертикальную ось)

3