ИДЗ / ИДЗ_4
.doc
МИНОБРНАУКИ РОССИИ
Санкт-Петербургский государственный
электротехнический университет
«ЛЭТИ» им. В.И. Ульянова (Ленина)
Кафедра МИТ
ИНДИВИДУАЛЬНОЕ ДОМАШНИЕ ЗАДАНИЕ №4
по дисциплине «Физические основы микро и наноэлектроники»
Тема: Ионно-плазменное распыление
Студент гр. |
|
|
Преподаватель |
|
Мельник В.И. |
Санкт-Петербург
2019
Исходные данные
№ |
M2 |
J1 |
S |
d |
17 |
Ta |
0,01 |
0,01 |
5 |
Рассчитать скорость распыления v при ионно-плазменном распылении для ионов аргона и соответствующей мишени М2 для плотности тока J1 (А/см2) и коэффициента распыления S. Сколько времени может непрерывно использоваться мишень, учитывая толщину d?
Данные:
|
Решение:
|
|
|
Ответ: |
|
Найти:
|
Очень большое значение времени (около полутора лет). Это и есть показатель того, что мишень можно использовать очень долго. Это даёт предсказуемость процессу.