ИДЗ / ИДЗ_3

МИНОБРНАУКИ РОССИИ

Санкт-Петербургский государственный

электротехнический университет

«ЛЭТИ» им. В.И. Ульянова (Ленина)

Кафедра МИТ

ИНДИВИДУАЛЬНОЕ ДОМАШНИЕ ЗАДАНИЕ №3

по дисциплине «Физические основы микро и наноэлектроники»

Тема: Катодное ионное распыление

Студент гр.
Преподаватель		Мельник В.И.

Санкт-Петербург

2019

Исходные данные

№	M1	M2
17	He	Sc

1. Рассчитать зависимость максимальной энергии, которая может быть передана нейтральному атому, от энергии налетающего иона для соответствующей пары ион-мишень.

Дано:	Решение:
Найти:

Заметим, что максимальная энергия зависит от энергии налетающего иона линейно.

2. Рассчитать значение угла падения ионов, при котором наблюдается максимальный коэффициент распыления материала, для той же пары мишень-ион. Ряд энергий ионов: 10, 20, 50, 100, 200, 500, 1000 и 2000 эВ.

Дано:	Решение:
Найти:

Максимальный угол стремится к девяноста градусам. Такой угол нежелателен, т.к. не работает в пользу упругости удара частицы.

3