Классификация

1. По конструктивному исполнению датчики перемещений подразделяются на линейные и круговые. Погрешности датчиков стандартизированы по классам точности. Соотношения класса точности и величины погрешности сведены в табл. 1.

Табл. 1. Погрешности круговых датчиков

Вид погрешности	Классы точности датчиков перемещений (цена дискреты датчика в угловых единицах)
	1(10)	2(5)	3(2)	4(1)	5(0,5)	6(0,5)
1. Систематическая в пределах 1 оборота	50	20	8	4	2	1
2. Нестабильность показаний датчиков в течении 16 часов	10	5	3	1,5	0,7	0,3

Табл. 2 Погрешность линейных датчиков ( цена дискреты в микронах)

Интервал перемещений в мм	1(10)	2(5)	3(2)	4(1)	5(0,5)	6(0,1)
125 500 1250 5000	16 25 35 60	8 12 16 30	4 6 9 16	2 3 4,5 -	1 1,5 2,5 -	0,5 0,8 1 -

2. По физическому принципу действия ЧЭ измерительные преобразователи перемещений (ИПП) подразделяются:

   1. фотоэлектрические, основанные на эффекте периодической  освещенности

   2. электростатические - емкостные – выходной сигнал - С_чэ;

-пьезоэлектрические – используется эффект возникновения электрического заряда=f (деформации ЧЭ).

3. Электромагнитные – основаны на эффекте L или  взаимной индуктивности L ЧЭ.

4. Электроакустические – принцип действия основан на эффекте  энергии поверхностной волны ЧЭ.

5. Электромеханические (электроконтактные).

6. реостатные – принцип действия основан на эффекте  сопротивления при перемещении ЧЭ.

7. Механотронные – принцип действия основан на механическом управлении электронным током электровакуумного прибора путем непосредственного перемещения его электрода.

Краткий сравнительный анализ по точности

1. электростатические емкостные датчики:

   1. имеют высокую чувствительность и добротность измерений нелинейности. Вход характеристики датчика  U_вых составляет 10^-4..10^-5%

   2. обладают малыми тепловыми потерями

недостатки: -низкая мощность выходного сигнала;

-имеются жесткие условия по герметизации корпуса датчика;

-на погрешность датчика оказывают влияние паразитные емкости.

2. электромагнитные (индукционные) датчики

   1. уступают по чувствительности и линейности статической характеристики, но превосходят по мощности выходного сигнала, помехозащищенности и надежности работы в условиях производства.

3. электромеханические

   1. имеют простую конструкцию

   2. могут обеспечить большую мощность выходного сигнала

   3. но обладают худшими метрологическими характеристиками (и статическими и динамическими)

4. фотоэлектрические

   1. могут обладать наивысшей точностью и разрешающей способностью

   2. имеют высокую чувствительность и быстродействие измерений

   3. отсутствует механическая связь контролируемым объектом, что тоже положительно сказывается на точности.

Недостатки:

- повышенная чувствительность к посторонним источникам излучений;

• менее защищены от вибраций и запыленности окружающей среды.