Литература

Основная литература

1. Достанко А. П. Технология интегральных схем. – Мн.: Вышэйшая школа, 1982. – 207 с.

2. Парфенов О. Д. Технология микросхем. – М.: Высшая школа, 1986. – 320 с.

3. Аваев Н. А., Наумов Ю. Ф., Фролкин В. Т. Основы микроэлектроники. – М.: Радиосвязь, 1991.

4. Гурский Л. И., Степанец В. Я. Проектирование микросхем. – Мн.: Н-ка i тэх-ка, 1991. – 295 с.

5. Маршрутная технология производства кристаллов СБИС. Методическое пособие / Под общей ред. проф. А. П. Достанко. Часть I. – Мн.: – 1994 – 23 с.; Часть II. – Мн.: – 1994 – 28 с.; Часть III. – Мн.: – 1995. – 33 с.; Часть IV. – Мн.: – 2000. – 24 с.

6. Ормонт Б. Ф. Введение в физическую химию и кристаллохимию полупроводников. – М.: Высшая школа, 1973.

7. Физическое металловедение / Под редакцией Кана Р., вып. 2. Фазовые превращения. Металлография. – М.: Мир, 1968.

Дополнительная литература

8. Болтакс Б. И. Диффузия и точечные дефекты в полупроводниках. – М.: Наука, 1972. – 430 с.

9. Курносов А. И. Материалы для полупроводниковых приборов и интегральных микросхем. – М.: Высшая школа, 1980. – 450 с.

10. Чистяков Ю. Д., Райкова Ю. П. Физико-химические основы технологии микроэлектроники. –М.: Металлургия, 1979. – 230 с.

11. Гурский Л. И., Румак Н. В., Куксо В. В. Зарядовые свойства МОП-структур. – Мн.: Наука и техника, 1980. – 200 с.

12. Достанко А. П., Грушецкий С. В., Киселевский Л. И., Пикуль М. И., Ширипов В. Я. Плазменная металлизация в вакууме. - Мн.: Наука и техника, 1983. – 279 с.

13. Гурский Л. И., Зеленин В. А., Жебин А. П., Вахрин Г. Л. Структура, топология и свойства тонкопленочных резисторов. - Мн.: Наука и техника, 1987. – 369 с.