4.4 Расчёт резонансной частоты микрозеркала.

Момент инерции зеркального элемента включающего слой Au и Si, определяется суммой

где и – массы слоя металлического покрытия и слоя поликремния.

Суммарный момент инерции зеркального элемента равен

Резонансная циклическая частота зеркального элемента определяется по формуле (17)

Момент инерции микрозеркала определится как:

где , – момент инерции зеркального элемента и рамы.

Рис.11. Схема рамы (а) и разбиение её на прямоугольники (б) при расчёте момента инерции рамы.

Момент инерции рамы определим разбиением рамы на прямоугольники (см. рис. 11).

где

Отсюда:

Общий вид инерции микрозеркала определим как

Резонансная частота микрозеркала равна

Рис.12. Двухкоординатное микрозеркало. (Вариант 26.)

Список литературы.

1. Энциклопедия неорганических материалов. т. 1.2. Киев, ГРУСЭ, 1977, 812 с.

2. Прикладная механика в микроэлектронике. Конспект лекций. ч. 1. Механика твердого тела. Под ред. Проф. Тимофеева В.Н.: МИЭТ, 1997. 180 с.

3. Осипова С.Д., Погалов А.И., Тимофеев В.К., Угольников С.В. Методические указания к курсовой работе по дисциплине «Прикладная механика в микроэлектронике» и «Микромеханика» М.: МИЭТ, 2001., 72 с.

4. Беляев Н.М. Сопротивление материалов. М.: ГИТЛ, 1951, 850 с.

5. Феодосьев В.И. Сопротивление материалов. М.: Наука, 1986, 505 с.

6. Бояршинов С.В. Основы строительной механики машин. М.: Машиностроение, 430 с.

7. Тимошенко СП. Колебания в инженерном деле. М.: Наука, 1967, 430 с.

8. Тарг СМ. Краткий курс теоретической механики. М.: ГИФМЛ, 1961, 400 с.

27