
- •1) Поясніть залежність процесу дифузії від температури;
- •2) Поясніть як залежить глибина проникнення домішок у напівпровідник під час дифузії від тривалості та температури проведення дифузії;
- •3) Запишіть та поясніть закони Фіка;
- •5) Дайте визначення коефіцієнту дифузії, прокоментуйте його залежність від температури та матеріалу;
- •6) Поясніть вплив дифузії на точність виготовлення компонентів мікросхем. Що таке гранична розчинність домішок в кремнії?
- •7) Поясніть формулу, що описує розподіл концентрацій домішок в напівпровіднику після двостадійної дифузії:
- •8) Опишіть дифузію з необмеженого джерела (етап загонки домішок). Допоміжні формули:
- •9) Опишіть дифузію з обмеженого джерела (етап розгонки домішок). Допоміжні формули:
- •10) Для етапів загонки і розгонки намалюйте графіки залежності концентрації домішок в напівпровіднику від глибини та від часу дифузії. Поясніть чому графіки так виглядають;
- •11) Намалюйте інтегральний резистор на основі базової області в розрізі і в плані. Опишіть кожен компонент такого резистора.
- •12) Намалюйте інтегральний резистор на основі емітерної області в розрізі і в плані. Опишіть кожен компонент такого резистора.
- •13) Виконайте порівняльний аналіз інтегральних резисторів на основі емітерної та базової областей. Як визначити питомий поверхневий опір, якщо відомий питомий об’ємний опір?
- •14) Опишіть методику розрахунку інтегрального резистора;
- •15) Чим обумовлена похибка опору інтегрального резистора? Поясніть кожну складову цієї похибки.
- •18) Виконайте порівняльний аналіз інтегральних дифузійних та мдн конденсаторів;
- •19) Поясніть як залежить ємність інтегрального дифузійного конденсатора від концентрацій домішок в шарах-обкладках та від напруги, прикладеної до такого конденсатора;
- •20) Напишіть та поясніть формулу розрахунку ємності інтегрального дифузійного конденсатора;
- •21) Напишіть та поясніть формулу розрахунку ємності інтегрального мдн конденсатора;
- •22) Поясніть від чого залежить пробивна напруга інтегрального дифузійного та мдн конденсаторів. Поясніть чому на інтегральні дифузійні конденсатори потрібно подавати зворотне зміщення;
- •23 ) Чому по мірі просування від емітерної області до колекторної, питома ємність дифузійних конденсаторів зменшується, а пробивна напруга збільшується?
- •28) Намалюйте інтегральний багатоемітерний n-p-n транзистор в розрізі і в плані. Поясніть елементи його структури.
- •29) Поясніть ефект витіснення току емітера та особливості конструкції потужних транзисторів;
- •30) Намалюйте інтегральний p-n-p транзистор в розрізі і в плані. Поясніть елементи його структури.
- •31) Поясніть принцип функціонування та призначення транзистора Шотткі. Намалюйте такий транзистор в розрізі.
- •32) Поясніть принцип функціонування діода Шотткі.
- •33) Поясніть принцип функціонування біполярного транзистора;
- •Коэффициенты усиления биполярного транзистора
- •35) Від яких факторів залежить пробивна напруга переходу колектор-емітер в дифузійному інтегральному транзисторі, виготовленому за планарною технологією?
- •36) Поясніть формули та величини, які входять в ці формули:
- •38) Поясніть наведені нижче залежності:
- •39) Поясніть формули та величини, які входять в ці формули:
- •40) Поясніть формули та величини, які входять в ці формули:
- •41) Поясніть формули та величини, які входять в ці формули:
- •42) Поясніть які характеристики інтегрального біполярного транзистора залежать від товщини бази та характер цієї залежності;
- •43) Змістовно поясніть відмінності між дрейфовими та бездрейфовими транзисторами (відмінності у конструкції та у процесах, що протікають в базі);
- •44) Поясніть формули та величини, які входять в ці формули:
- •45) Частотні властивості транзистора. Пояснити які параметри транзистора залежать від частоти і який характер цієї залежності;
30) Намалюйте інтегральний p-n-p транзистор в розрізі і в плані. Поясніть елементи його структури.
p-n-p
транзисторы изготавливают одновременно
с n+-p-n транзисторами
по обычной технологии. Эмиттерный и
коллекторные слои получают на этапе
базовой диффузии, причем коллекторный
слой охватывает эмиттер со всех сторон.
Базовая область формируется на основе
эпитаксиального слоя с подлегированием
контактной области во время эмиттерной
диффузии. Перенос носителей в таком
p-n-p транзисторе протекает в
горизонтальном направлении.
Инжектированные
из боковых частей эмиттера в базу дырки
диффундируют к коллекторной области в
приповерхностном слое. Ширина базы
равна расстоянию между р-слоями ( 3
4 мкм ). Из-за
сравнительно большой ширины базы
частотные свойства p-n-p транзисторов
хуже, а усиление меньше. Такие транзисторы
применяют в аналоговых схемах, где
необходимо использовать транзисторы
двух типов проводимости.
31) Поясніть принцип функціонування та призначення транзистора Шотткі. Намалюйте такий транзистор в розрізі.
Транзисторы с диодом Шоттки (ДШ) находят широкое применение в цифровых ИМС благодаря более высокому быстродействию по сравнению обычными транзисторами. В отличие от обычного планарного транзистора у транзистора с диодом Шоттки базовое контактное отверстие расширено в сторону коллекторной области n-типа (рис. 1.10, а), в результате чего образуется общий алюминиевый вывод от базовой и коллекторной областей. Слой алюминия, расположенный на базовом слое р-типа, образует с ним обычный омический контакт, хорошо пропускающий ток в обоих направлениях, а слой алюминия, расположенный на относительно высокоомной коллекторной области n-типа создает с ней выпрямляющий контакт, хорошо пропускающий ток в направлении от металла к полупроводнику, и плохо пропускающий ток в противоположном направлении, т. е. контакт металла с высокоомным электронным полупроводником является диодом Шоттки, включенным между коллектором и базой, как это показано на рис. 1.10, б. На принципиальных схемах транзисторы с ДШ изображают так, как это показано на рис. 1.10, в. Применение транзисторов с ДШ позволяетповысить быстродействие цифровых ИС в 2...5 раз, так как ДШ имеющий пороговое напряжение U* = 0,2...0,3 В, открывается раньше, чем коллекторный переход транзистора (U* = 0,5...0,7 В) и не позволяет транзистору переходить в режим насыщения. В результате накапливаемый в транзисторе избыточный заряд и время рассасывания существенно уменьшаются.
32) Поясніть принцип функціонування діода Шотткі.
Диоды Шоттки. Важнейшей особенностью диодов Шоттки по сравнению c р—п-переходом является отсутствие инжекции неосновных носителей. Эти диоды работают на основных носителях. Отсюда следует, что y диодов Шоттки отсутствует диффузионная емкость, снязанная с накоплением и рассасыванием неосновных носителей в базе. Отсутствие диффузионной емкости существенно повышает быстродействие диодов при изменениях токов и напряжений, в том числе при переключениях c прямого направления на обратное и c обратного на прямое. Время таких переключений определяется только барьерной емкостью и y диодов с малой площадью может составлять десятые и сотые доли наносекунды. Соответствующие рабочие частоты лежат в пределах 3-15 ГГц. Не менее важной особенностью диодов Шоттки является значительно меньшее прямое напряжение по сравнению c напряжением на р—п переходе. Это объясняется тем, что ВАХ y диодов Шоттки описывается той же формулой , что и y р—n-переходов, но тепловой ток существенно больше, поскольку диффузионная скорость D/L, характерная для р п-перехода y диода Шоттки заменяется на среднюю тепловую скорость носителей . Последняя превышает величину D/L примерно на 3 порядка. В таком же отношении различаются и тепловые токи. Тогда из формулы следует, что прямое напряжение y диодов Шоттки будет примерно на 0,2 В меньше, чем р—п перехода. Типичным для диодов Шоттки являются прямые напряжения 0,4 В. Что касается обратных токов, то они могут составлять, в зависимости от площади, до (10) ^-11 – (10)^-12 А, т.е. близки к реальным обратным токам кремниевых р- п переходов, определяемым термогенерацией.
Еще одна особенность диодов Шоттки состоит в том, что их прямая ВАХ строго подчиняется зкспоненциальному закону в очень широком диапазоне токов - на протяжении нескольких декад, например, от 10^-12 до 10^-4 A. Качественные барьеры Шоттки образуются в кремнии при контакте c такими металлами, как молибден, нихром, золото, платина (точнее, сплав платины c кремнием — силицид платиннь, а также алюминий — основной материал для металлизации в ИC.