
- •1) Поясніть залежність процесу дифузії від температури;
- •2) Поясніть як залежить глибина проникнення домішок у напівпровідник під час дифузії від тривалості та температури проведення дифузії;
- •3) Запишіть та поясніть закони Фіка;
- •5) Дайте визначення коефіцієнту дифузії, прокоментуйте його залежність від температури та матеріалу;
- •6) Поясніть вплив дифузії на точність виготовлення компонентів мікросхем. Що таке гранична розчинність домішок в кремнії?
- •7) Поясніть формулу, що описує розподіл концентрацій домішок в напівпровіднику після двостадійної дифузії:
- •8) Опишіть дифузію з необмеженого джерела (етап загонки домішок). Допоміжні формули:
- •9) Опишіть дифузію з обмеженого джерела (етап розгонки домішок). Допоміжні формули:
- •10) Для етапів загонки і розгонки намалюйте графіки залежності концентрації домішок в напівпровіднику від глибини та від часу дифузії. Поясніть чому графіки так виглядають;
- •11) Намалюйте інтегральний резистор на основі базової області в розрізі і в плані. Опишіть кожен компонент такого резистора.
- •12) Намалюйте інтегральний резистор на основі емітерної області в розрізі і в плані. Опишіть кожен компонент такого резистора.
- •13) Виконайте порівняльний аналіз інтегральних резисторів на основі емітерної та базової областей. Як визначити питомий поверхневий опір, якщо відомий питомий об’ємний опір?
- •14) Опишіть методику розрахунку інтегрального резистора;
- •15) Чим обумовлена похибка опору інтегрального резистора? Поясніть кожну складову цієї похибки.
- •18) Виконайте порівняльний аналіз інтегральних дифузійних та мдн конденсаторів;
- •19) Поясніть як залежить ємність інтегрального дифузійного конденсатора від концентрацій домішок в шарах-обкладках та від напруги, прикладеної до такого конденсатора;
- •20) Напишіть та поясніть формулу розрахунку ємності інтегрального дифузійного конденсатора;
- •21) Напишіть та поясніть формулу розрахунку ємності інтегрального мдн конденсатора;
- •22) Поясніть від чого залежить пробивна напруга інтегрального дифузійного та мдн конденсаторів. Поясніть чому на інтегральні дифузійні конденсатори потрібно подавати зворотне зміщення;
- •23 ) Чому по мірі просування від емітерної області до колекторної, питома ємність дифузійних конденсаторів зменшується, а пробивна напруга збільшується?
- •28) Намалюйте інтегральний багатоемітерний n-p-n транзистор в розрізі і в плані. Поясніть елементи його структури.
- •29) Поясніть ефект витіснення току емітера та особливості конструкції потужних транзисторів;
- •30) Намалюйте інтегральний p-n-p транзистор в розрізі і в плані. Поясніть елементи його структури.
- •31) Поясніть принцип функціонування та призначення транзистора Шотткі. Намалюйте такий транзистор в розрізі.
- •32) Поясніть принцип функціонування діода Шотткі.
- •33) Поясніть принцип функціонування біполярного транзистора;
- •Коэффициенты усиления биполярного транзистора
- •35) Від яких факторів залежить пробивна напруга переходу колектор-емітер в дифузійному інтегральному транзисторі, виготовленому за планарною технологією?
- •36) Поясніть формули та величини, які входять в ці формули:
- •38) Поясніть наведені нижче залежності:
- •39) Поясніть формули та величини, які входять в ці формули:
- •40) Поясніть формули та величини, які входять в ці формули:
- •41) Поясніть формули та величини, які входять в ці формули:
- •42) Поясніть які характеристики інтегрального біполярного транзистора залежать від товщини бази та характер цієї залежності;
- •43) Змістовно поясніть відмінності між дрейфовими та бездрейфовими транзисторами (відмінності у конструкції та у процесах, що протікають в базі);
- •44) Поясніть формули та величини, які входять в ці формули:
- •45) Частотні властивості транзистора. Пояснити які параметри транзистора залежать від частоти і який характер цієї залежності;
28) Намалюйте інтегральний багатоемітерний n-p-n транзистор в розрізі і в плані. Поясніть елементи його структури.
Конструкция МЭТ, широко используемых в цифровых ИМС транзисторно-транзисторной логики (ТТЛ), приведена на рисунке. Число эмиттеров нередко доходит до 8. МЭТ можно рассматривать как совокупность транзисторов с общими базами и коллекторами. При их конструировании необходимо учитывать следующие обстоятельства. Для подавления паразитных горизонтальныхn+-p-n+-транзисторов расстояние между краями соседних эмиттеров должно превышать диффузионную длину носителей заряда в базовом слое. Если структура легирована золотом, то диффузионная длина не превышает 2–3 мкм, и указанное расстояние достаточно сделать равным 10–15 мкм.
29) Поясніть ефект витіснення току емітера та особливості конструкції потужних транзисторів;
Прохождение больших токов через транзистор сопровождается рядом физических явлений:
1. Прохождение через транзистор больших токов (точнее — токов с большой плотностью) часто сопровождается высоким уровнем инжекции. Здесь следует вспомнить, что это такое. Можно представить себе ситуацию, когда концентрация инжектируемых электронов примерно равна концентрации собственных дырок в базе. Но, оказывается, что если их даже будет в десять раз меньше, чем собственных дырок, транзистор это почувствует (Федотов — Основы физики полупроводниковых приборов, с. 261).
Практически в транзисторах, работающих в активном режиме, высокий уровень инжекции может наблюдаться только в базе. Действительно, эмиттер транзистора изготавливают из сильнолегированного материала, поэтому получить высокий уровень инжекции в нем довольно трудно. К тому же, в общем токе эмиттера доля носителей заряда, инжектируемых из базы, невелика. В режиме насыщения высокий уровень инжекции возможен и в коллекторе.
2. Прохождение больших токов через транзистор связано с перераспределением напряжений в нем из-за падений на объемных сопротивлениях.
3. При больших токах могут изменяться условия как на выпрямляющих, так и на невыпрямляющих контактах (последнее существенно в режиме насыщения).
4. Прохождение больших токов приводит к перераспределению потенциала в ОПЗ
электронно-дырочных переходов.
Что же означает для транзистора высокий уровень инжекции?
Во-первых, уменьшается удельное сопротивление базы (больше подвижных зарядов). Кроме того, возникает электрическое поле, способствующее переносу инжектированных ННЗ через базу (как следствие первого). Значит, повышается скорость пролета ННЗ через базу и налицо снижение поверхностной рекомбинации, что приводит к возрастанию коэффициента переноса . Что касается коэффициента инжекции (из курса ФОЭП вы знаете, как он определяется), то он при увеличении уровней инжекции падает. Таким образом, в результате противоположного влияния этих изменений и в функции от потока носителей в базе коэффициент передачи тока при постепенном увеличении тока будет проходить через максимум. Для эта зависимость будет еще более заметной (можно дать график в функции от тока).
Эффект оттеснения тока эмиттера. Данное явление характерно именно для интегральных планарных транзисторов — таких, у которых вся рабочая (электрическая)
часть
выполнена в приповерх-ностном слое
кремниевой плас-тины, и все контакты —
Э, Б и К расположены с одной и той же
стороны. Никто об этом эффекте не
подозревал, пока не было замечено, что
в мощных инте-гральных транзисторах,
имеющих дело с большими токами,
коэффи-циент передачи тока
оказывается существенно меньше (в два
и более раз), чем ожидалось.
Заметьте, что толщина базы в направлении у очень мала, и сопротивление ее в этом направлении может быть довольно большим. А теперь посмотрим, как распределяется ток от контакта базы к контакту эмиттера и наоборот. Общее падение напряжения UБЭ складывается из суммы падения на распределенном сопротивлении какого-то участка базы и на Э – Б переходе. (Правда, есть еще падение на распределенном сопротивлении эмиттерного слоя, но оно совсем мало, и им обычно пренебрегают.) Так вот: между краем эмиттера и контактом базы падение минимально, а между серединой эмиттера и контактом базы — максимально — там на р-n-переход останется меньше. Хоть эта разница и не очень велика, но по ВАХ диода четко видно, что крайние части эмиттера будут намного сильнее открыты, чем средняя его часть. Пока ток невелик, это не очень чувствуется (при малом iэ падение на сопротивлении базы невелико). Увеличиваем инжекцию — сразу ухудшаются характеристики транзистора: плотность эмиттерного тока экспоненциально зависит от напряжения UБЭ. Если падение потенциала вдоль базы превышает 2Т, плотности тока в центре и на периферии эмиттера отличаются на порядок, и практически весь ток протекает через периферийную часть эмиттера. Следствие — падение коэффициента передачи тока эмиттера при меньших токах, чем мы ожидали.
Для уменьшения влияния эффекта оттеснения уменьшают размеры эмиттера. В планарных транзисторах эмиттер (достаточно мощного транзистора) делают в виде многополосковой гребенчатой структуры. Для маломощных транзисторов это не обязательно — эффект слабый.