Приложение 1
Таблица 1. Функция дополнения интервала erfc Z.
Z |
Erfc Z |
Z |
Erfc Z |
0 |
1.00000 |
2 |
0.00468 |
0.10 |
0.88754 |
2.10 |
0.00298 |
0.20 |
0.77730 |
2.20 |
0.00186 |
0.30 |
0.67137 |
2.30 |
0.00114 |
0.40 |
0.57161 |
2.40 |
0.000689 |
0.50 |
0.47950 |
2.50 |
0.000407 |
0.60 |
0.39614 |
2.60 |
0.000236 |
0.70 |
0.32220 |
2.70 |
0.000134 |
0.80 |
0.25790 |
2.80 |
0.000075 |
0.90 |
0.20309 |
2.90 |
0.000041 |
1 |
0.15730 |
3 |
0.00002209 |
1.10 |
0.11960 |
3.10 |
0.00001165 |
1.20 |
0.08969 |
3.20 |
0.00000603 |
1.30 |
0.06599 |
3.30 |
0.00000306 |
1.40 |
0.04772 |
3.40 |
0.00000152 |
1.50 |
0.03390 |
3.50 |
0.000000743 |
1.60 |
0.02365 |
3.60 |
0.000000356 |
1.70 |
0.01621 |
3.70 |
0.000000167 |
1.80 |
0.01091 |
3.80 |
0.000000077 |
1.90 |
0.00721 |
3.90 |
0.000000035 |
Рис 1.Функции erfc Z (1) и exp(-z2) (2): а - в полулогарифмическом масштабе, б – в линейном
Масштабе
a) б)
1.0
1.0
10-1 0.8
10-2 0.5
10-3 0.4
10-4 0.2
10-5
0 1 2 3 Z 0 1 2 Z
Рис 2. Растворимость атомов примесей в кремнии при различной температуре.
T,°C
Sb
O
As Ga Mn
Co
B Bi
Au
S
Al
P Zn
Cu
Fe
Sn
` Pb Li
1500
1400
1300
1200
1100
1000
900
800
700
600
500
8 6 4 2 8 6 4 2 8 6 4 2 8 6 4 2 8 6 4 2 8 6 4 2 8 6 4 2
1022 1021 1020 1019 1018 1017 1016 1015
Таблица 2. Коэффициенты диффузии, энергия активации и растворимость примесей в кремнии
элемент |
Do,см2/с |
^E,эВ |
Nmax при 13000С,см-3 |
элемент |
Do,см2/с |
^E,эВ |
Nmax при 13000С см-3 |
B |
11.5 |
3.7 |
1020 |
Li |
2.5*10-3 |
0.66 |
5*1019 |
Al |
10 |
3.5 |
1019 |
Zn |
---- |
---- |
5.5*1019 |
Ga |
3.3 |
3.5 |
1019 |
Fe |
8*10-3 |
0.9 |
2.5*1016 |
In |
16 |
3.9 |
1019 |
Cu |
---- |
---- |
1.3*1018 |
Te |
16 |
3.9 |
1017 |
Au |
9.5*10-3 |
1.1 |
1*1016 |
P |
1400 |
4.4 |
1020 |
H |
9.6*10-3 |
0.45 |
---- |
As |
0.44 |
3.6 |
---- |
O |
------ |
3.5 |
---- |
Sb |
4.0 |
3.9 |
1020 |
Bi |
770 |
4.6 |
1017 |