
- •Общие методические указания
- •Указания к выполнению контрольных работ
- •Программа курса "Физико-химические основы микроэлектроники"
- •Тема 1. Физико-химические процессы технологии микроэлектроники. Свойства полупроводниковых структур
- •Тема 2. Явления в контактах
- •Тема 3. Массоперенос в материалах электронной техники
- •Тема 4. Свойства сплавов, аморфных веществ, полимеров. Магнитные свойства твердых тел. Физические процессы в диэлектриках
- •Тема 5. Электрохимические процессы в технологии рэс. Деградационные процессы.
- •Тема 6. Физические явления в тонких пленках
- •Лабораторные работы по курсу "фхом"
- •Рекомендуемая литература Основная литература
- •Тема 1 основы статистики носителей заряда в металлах и полупроводниках Краткие теоретические сведения
- •Распределение электронов в металле
- •Концентрация носителей заряда и положение уровня Ферми в полупроводниках
- •Задачи для индивидуальной работы к теме 1
- •Теоретические вопросы к теме 1
- •34. Электропроводность полупроводников. Концентрация носителей заряда.
- •35. Подвижность носителей заряда. Рассеяние носителей.
- •36. Тепловые колебания решетки. Акустические и оптические колебания решетки. Температура Дебая.
- •Тема 2 электрические свойства контактов материалов Краткие теоретические сведения
- •Контакт металл-металл
- •Контакт металл-полупроводник
- •Контакт полупроводник - полупроводник
- •Задачи для индивидуальной работы к теме 2
- •Теоретические вопросы к теме 2
- •Задача к теме «Массоперенос в материалах электронной техники»
- •Приложение Основные физические постоянные
Тема 1 основы статистики носителей заряда в металлах и полупроводниках Краткие теоретические сведения
Количество
энергетических уровней
лежащих
в интервале от 0 до Е, в кристалле объемом
V
определяется выражением
(1)
В соответствии с принципом Паули на каждом энергетическом уровне может находиться по два электрона с разными ориентациями спина. Поэтому число квантовых состояний с энергиями от 0 до Е будет в два раза выше:
(2)
Пусть кристалл имеет единичный объем V=l. Обозначим через dN число разрешенных состояний, приходящихся на единицу объема и лежащих в пределах от Е до E+dE. Тогда число состояний, приходящихся на единичный интервал энергии dE, есть плотность энергетических состояний:
(3)
С учетом (2) плотность состояний будет равна
(4)
Таким
образом, плотность энергетических
состояний (уровней)
т.е. увеличивается с ростом Е и возрастает
с увеличением m*.
Распределение электронов в металле
Согласно зонной теории, последняя разрешенная зона металла заполнена электронами не полностью. При Т=0 К электроны последовательно заполняют энергетические уровни с низшего до уровня Ферми. Уровень Ферми отделяет занятые состояния от свободных, т.е. ЕF - это максимальная энергия, которой могут обладать электроны при Т=0 К.
Выражение (2) описывает число разрешенных квантовых состояний для электронов, имеющих энергии от 0 до E. Следовательно, число электронов в металле также можно определить, используя (2):
(5)
Отсюда получаем
(6)
Подставляя
в (6) константы, и принимая для металлов
получаем оценку для
эВ.
Это очень большая величина. Обычные
молекулы газа имели бы такую энергию
при
Максимальная скорость ферми-электронов
(7)
и
практически не зависит от температуры.
Например, при 300 К энергия тепловых
колебаний решетки (3/2)×kT
оказывается порядка 0,04 эВ, т.е. значительно
меньше, чем ЕF.
При
часть электронов под действием теплового
возбуждения переходит на уровни, лежащие
выше ЕF
Средняя энергия теплового возбуждения
одного электрона – порядка
.
Для всех температур, меньших температуры
плавления металла, величина kT
в сотни раз меньше ЕF.
Поэтому тепловому возбуждению подвергаются
только электроны, находящиеся в узком
слое уровней энергий толщиной порядка
,
расположенном непосредственно под
уровнем Ферми. Большая же часть электронов
остается на своих местах, так как для
них энергии теплового возбуждения
недостаточно, чтобы перескочить на
свободный уровень, лежащий выше уровня
Ферми, а все уровни с близкими значениями
энергии уже заняты другими электронами
и их дополнительное заполнение запрещено
принципом Паули. Оценим число термически
возбужденных электронов
.
При T=0
К в интервале значений энергии от 0 до
ЕF
находится N
электронов. При
К тепловому возбуждению подвергаются
только электроны, лежащие в полосе
вблизи уровня Ферми ЕF.
Число электронов, приходящихся на полосу
,
равно
.
Считая, что возбуждению подвергается
половина из них, получаем
(8)
Подставляя
константы и полагая, что ЕF=5эB,
(при T=3000C),
получаем, что
.
По тем же причинам участвовать в электропроводности могут только электроны с энергией, близкой к уровню Ферми. Различные процессы рассеяния при токопереносе препятствуют переводу ферми-электронов на свободные энергетические уровни, расположенные значительно выше ЕF, что не позволяет участвовать в электроперескоке электронам с низших уровней, поэтому в случае металлов следует различать свободные электроны и электроны проводимости, число которых значительно меньше.
Таким образом, распределение электронов в металле при любой температуре мало отличается от распределения при температуре, равной нулю, т.е. концентрация носителей в металле от температуры практически не зависит.