Лабораторные работы по курсу "фхом"

1	Термографический анализ диаграммы состояния бинарных систем.
2	Измерение величины удельного сопротивления полупроводниковых материалов.
3	Изучение адгезии тонких металлических плёнок к различным типам подложек.
4	Измерение времени жизни неосновных носителей заряда в полупроводниках.

Рекомендуемая литература Основная литература

1. Епифанов Г. И., Мома Ю. А. Физические основы конструирования и технологии РЭА и ЭВA. M.: Сов. радио, 1979.

2. Епифанов Г. И., Мома Ю. А. Твердотельная электроника. M.; Высш. шк., 1986.

3. Епифанов Г. И. Физические основы микроэлектроники. M.: Сов радио, 1971.

5. Новиков В. В. Теоретические основы МЭ. - M.: Высш. шк., 1972.

6. Епифанов Г. И. Физика твердого тела. M.: Высш. шк., 1977.

7.Чистяков Ю.Д., Райнова Ю.П. Физико-химические основы технологии микроэлектроники. М.: Металлургия, 1979.- 408 с.

8. Технология полупроводниковых приборов и изделий микроэлектроники. В 10 кн.: кн. 2 Материалы/ А.И. Курносов.- М. Высшая школа, 1989.-96 с.

9. Штернов А.А. Физические основы конструирования, технологии РЭА и микроэлектроники. М.: Радио и связь, 1981.-248 с.

10. Бондарь Б.Г. Основы микроэлектроники. Киев.: Вища шк., 1987.-309 с.

11. Усс Л.В., Красько А.С., Климович Г.С. Общая электротехника с основами электроники. Мн.: Выш. шк., 1990.-415 с.

12. Микроэлектроника: учебн. пособие для втузов. В 9 кн. /Под ред. Л.А. Коледова. Кн.1. физические основы функционирования изделий микроэлектроники./ О.В. Митрофанов, Б.М. Симонов, Л.А. Коледов.-М.: Высш. шк.,1987.-168 с.

13. Ефимов И.Е., Горбунов Ю.И., Козырь И.Я. Микроэлектроника. Физические и технологические основы, надежность. Учебное пособие для вузов. М.:Высш. школа, 1977.-416 с.

14. Физико-химические основы микроэлектроники: Учеб.-метод. комплекс для студ. спец. I-39 02 01 / Сост. Д.А. Довгяло.– Новополоцк: ПГУ, 2006.–192 с.

Дополнительная литература

15. Бейлина Р.А., Юрцевич М.М., Молодечкина Т.В. Методические указания к лабораторным работам по курсу «Физико-химические основы микроэлектроники» для студентов специальности Т.08.01.00 (часть 1). Новополоцк,1996.-29 с.

16. Бейлина Р.А., Юрцевич М.М., Молодечкина Т.В. Методические указания к лабораторным работам по курсу «Физико-химические основы микроэлектроники» для студентов специальности Т.08.01.00 (часть 2). Новополоцк,1996.-21 с.

17. Бейлина Р.А., Юрцевич М.М., Молодечкина Т.В. Методические указания к лабораторным работам по курсу «Физико-химические основы микроэлектроники» для студентов специальности Т.08.01.00 (часть 3). Новополоцк,1996.-33 с.

18. Матсон Э.А., Крыжановский Д.В. Справочное пособие по конструированию микросхем.-Мн.: Выш.школа, 1982.-224 с.

19. Технология полупроводниковых приборов и изделий микроэлектроники. В 10 кн.: Учеб. Пособие для ПТУ. Кн. 4. Механическая и химическая обработка / С.Н. Никифорова-Денисова.- М.: Высш. шк., 1989.-95 с.

20. Технология полупроводниковых приборов и изделий микроэлектроники. В 10 кн.: Учебник для ПТУ. Кн. 1. Общая технология / И.Я. Козырь, Ю.И. Горбунов и др.- М.: Высш. шк., 1989.-233 с.

21. Матсон Э.А. Конструкции и технология микросхем. Мн.: Выш. шк., 1985.-207 с.

22. К.В. Шалимова Физика полупроводников. Учебное пособие для вузов. М.: «Энергия», 1971.-312 с.