
- •Симонов б.М. Лабораторный практикум по курсу «Физические основы микроэлектроники»
- •Утверждено редакционно-издательским советом института
- •Москва 2007
- •Аппаратура
- •Теоретические сведения
- •Полевые транзисторы с управляющим р–n переходом.
- •Прибор для снятия вах полупроводниковых приборов
- •Лабораторное задание
- •Методика выполнения работы
- •Порядок выполнения работы
- •Требования к отчету
- •Контрольные вопросы
- •Рекомендуемая литература
- •Лабораторная работа №9
- •Аппаратура
- •Теоретические сведения Термины и определения.
- •Иерархическая структура конструкции пмс.
- •Резисторы пмс
- •Конденсаторы пмс
- •Элементы коммутации
- •Диоды пмс
- •Биполярные транзисторы пмс
- •Полевые транзисторы с управляющим р-п переходом пмс.
- •Тестовые элементы, фигуры совмещения, базовые кристаллы
- •Способы изоляции элементов в пмс
- •Лабораторное задание
- •Методика выполнения работы
- •Порядок выполнения работы
- •Требования к отчету
- •Контрольные вопросы
- •Рекомендуемая литература
Полевые транзисторы с управляющим р–n переходом.
Принцип работы полевого транзистора с управляющим р – n – переходом (ПТУП) основан на модуляции площади поперечного сечения, а значит, и сопротивления проводящего канала в области полупроводника под воздействием эффекта поля.
Структура полевого транзистора с р–n переходом в качестве затвора схематически показана на рис. 6. Полевой транзистор состоит из n – или р – полупроводника с двумя омическими контактами (истоком и стоком) и p+– или n+– областей, выполняющих функции затворов, и называется соответственно n – канальным или p – канальным.
Рис. 6. Структура и схема включения полевого транзистора с управляющим р – n переходом в качестве затвора.
Выходным (управляемым) током является
ток стока
,
входным (управляющим) током – ток затвора
,
который для обратно смещенных кремниевых
переходов небольшой площади составляет
примерно
и менее. На p+– n
переход затвора подаётся обратное
напряжение, обедненный слой перехода
расширяется практически только в менее
легированную область n.
С повышением величины обратного
напряжения на переходе толщина обедненного
слоя увеличивается. При этом изменяется
площадь поперечного сечения канала, а,
следовательно, и его сопротивление.
Поэтому полевой транзистор представляет
собой резистор, управляемый напряжением
на затворе. Модуляция входного напряжения
на затворе (входного напряжения) вызывает
модуляцию тока канала (выходного тока).
Усиление по мощности в полевых транзисторах
реализуется за счет малого значения
входного тока.
Рис. 7. Статические ВАХ полевого транзистора с управляющим р – n переходом: а – выходные; б – передаточные.
На рис. 7, а, б приведены выходные и передаточные ВАХ полевого транзистора с управляющим р-п переходом, а модель этого транзистора в равновесном состоянии и в режиме отсечки канала представлена на рис. 8. С приложением к стоку положительного относительно истока напряжения по каналу будет протекать ток, и обратное напряжение на переходе будет изменяться
Рис. 8. Модель полевого транзистора с управляющим р-п переходом в равновесном состоянии (а) и в режиме отсечки канала (б-г). UСИ=0 (а, б); UСИ>0 (в, г).
вдоль оси
,
возрастая в направлении к стоку. Поэтому
толщина обедненного слоя начнет
увеличиваться, а толщина канала
уменьшаться по сравнению с равновесными
значениями в направлении к стоку, и при
достаточно большом напряжении
,
произойдет отсечка канала.
. (10)
В результате отсечки канала и
образования "горловины" происходит
насыщение тока стока подобно таковому
в МДП–транзисторах. В дальнейшем, при
"горловина" канала смещается в
направлении к истоку, а длина канала
уменьшается.
Из выражения (10) можно определить напряжение насыщения:
.
Семейства выходных ВАХ ПТУП и МДП–транзисторов во многом аналогичны. Передаточные характеристики отличаются прежде всего тем, что у ПТУП выходной ток протекает при нулевом напряжении на затворе, и напряжение на затворе может иметь только одну полярность, в данном случае (для n – канального) – отрицательную. При положительной полярности на затворе он будет инжектировать в область канала неосновные носители заряда, и полевой транзистор будет работать как биполярный в peжиме двойной инжекции. ПТУП часто изготавливают в одном кристалле с биполярными транзисторами. Конструкции ПТУП интегральных микросхем приведены на рис. 9, 10. Затвор n – канального транзистора представляет собой область p –типа, выполненную на этапе базовой диффузии, n+– слои для создания омических контактов – на этапе проведения эмиттерной диффузии (см. рис. 9). Поскольку затвор выполнен в виде рамки, то ток между истоком и стоком может протекать только через управляемый канал. Скрытый слой в n –кармане, в котором выполнен полевой транзистор, имеет не n+–, а p+– тип электропроводности. Назначение скрытого слоя – уменьшить начальную толщину канала и тем самым снизить напряжение отсечки.
Выполнение скрытого p+– слоя связано с необходимостью проведения дополнительных технологических операций фотолитографии и диффузии. Чтобы он проник в эпитаксиальный n – слой достаточно глубоко, в качестве акцепторной примеси используют диффузанты с большим коэффициентом диффузии (бор или галлий). На подложку и p+– слой подают постоянный отрицательный потенциал, для обеспечения начального значения ширины канала.
Рис. 9. Конструкция n – канального полевого транзистора с управляющим р – n переходом.
Структура p – канального
полевого транзистора совпадает со
структурой обычного n+–
p– n
биполярного транзистора (см. рис. 10).
Роль канала выполняет участок базового
слоя между n+– и n–
слоями. Если не использовать дополнительные
технологические операции при совмещенном
изготовлении биполярных и полевых
транзисторов, то толщина канала будет
равна ширине базы биполярного транзистора
(от 0,3 до 1,0 мкм). При такой малой толщине
канала имеет место большой разброс
параметров и малое
полевого транзистора. Для исключения
этих недостатков целесообразно р –
область (канал) полевого транзистора
изготавливать отдельно от базы биполярного
транзистора таким образом, чтобы толщина
канала составляла 1-2 мкм; n+–
слой делают более длинным, чем ширина
p – области, с тем чтобы
области истока и стока соединялись
только через канал. Слой n+–
по краям находится в границах
эпитаксиального n – слоя,
контактирует с ним. Таким образом, эти
два слоя (n+ и n)
образуют как бы верхний и нижний затворы
(контакт показан на рис. 10 условно
штриховой линией). Это обстоятельство
повышает эффективность управления
шириной канала.
Особенности МДП–транзисторов и ПТУП.
Важнейшими особенностями ПТУП является малый уровень собственных шумов и стабильность параметров во времени. По этим характеристикам они превосходят МДП–транзисторы, которые являются основными элементами современных микросхем - больших, сверхбольших, ультрабольших (БИС, СБИС, УБИС).
Это объясняется тем, что выходной ток ПТУП протекает в объеме монокристалла, на него не влияют поверхностные дефекты кристаллической структуры, вызывающие у МДП–транзисторов шумовые флуктуации тока, нестабильность параметров и снижение подвижности носителей заряда.
В силу своей структуры и принципа работы ПТУП защищены от перегрузок по току значительно лучше, чем биполярные и МДП–транзисторы.
ПТУП не чувствительны к дефектам накопления неосновных носителей заряда, поэтому в принципе имеют высокие граничные частоты (десятки гигагерц) и скорости переключения.
Практически длину канала у ПТУП не удается сделать такой же малой, как у МДП–транзисторов интегральных схем. Поэтому в настоящее время их быстродействие значительно ниже, чем у МДП-транзисторов.
Естественно, что ПТУП уступают
МДП–транзисторам и по величине входного
сопротивления, которое определяется у
них обратным током р –n
перехода и обычно не превышает
,
с ростом температуры оно быстро
уменьшается и при Т = 125°С может иметь
значения 10 Ом и менее.
Рис. 10. Конструкция р – канального полевого транзистора с управляющим р – n переходом.