4 Порядок выполнения лабораторной работы
1. Закрепить новую пластинку фильтровальной бумаги на кронштейне датчика поверхностного натяжения.
2. Заполнить ванну дистиллированной водой.
3. Очистить поверхность воды от пылинок с использованием водоструйного насоса.
4. Откалибровать датчик.
5. Нанести на поверхность воды осаждаемое вещество.
6. Построить изотерму осаждаемого вещества, выбрать по ней значения «жидкой» и «твердой» фаз.
7. Удалить водоструйным насосом пленку вещества с поверхности воды, добиваясь значения 72,8 мН/м.
8. Нанести на поверхность воды осаждаемое вещество.
9. Закрепить кремниевую подложку в держателе ванны с помощью пинцета.
10. Задать нужное значение поверхностного натяжения и количество циклов.
11. Получить требуемую пленку.
12. Извлечь подложку с пленкой из держателя с помощью пинцета, дать высохнуть.
13. Поместить пленку на подложке в АСМ.
14. Задать силу прижатия (Set Point) 60 %, выполнить сканирование участка площадью 5 х 5 мкм в центре поля.
15. Отвестись немного от поверхности, задать силу прижатия (Set Point) 20 - 40 %, выполнить сканирование участка 10 х10 мкм вокруг углубления.
5 Содержание отчета
5.1 Цель работы
5.2 Теоретическая часть
Краткое изложение материала теоретической части
5.3 Результаты выполнения работы
Результаты измерений представляют в виде изотермы материала, из которого получена пленка, изображения участка поверхности с углубленикм, полученным механической нанолитографией и профиля сечения ,позволяющего определить толщину пленки. В подрисуночной подписи следует указывать величину поверхностного давления, при котором была получена пленка и количество циклов.
Пример экспериментального определения толщины ЛБ-пленки приведен на рисунке 25.
5.4 Вывод
Получены практические навыки нанесения моно- и мультимолекулярных пленок поливинилкарбазола методом Ленгмюра–Блоджетт на полированный кремний. Осаждение выполняли при поверхностном давлении __________________ мН/м за __________циклов. Методом атомно-силовой микроскопии с использованием методики механической нанолитографии определена толщина ЛБ-пленки. Она составила___________нм.
а)
б)
в)
а) изотерма поливинилпиридина; б) 2D изображение поверхности со следом механической нанолитографии; в) профиль толщины пленки
Рисунок 25 – ЛБ-пленка поливинилпиридина, полученная при поверхностном давлении 20 мН/м за 10 циклов, толщина плёнки 8,7 нм