
- •Кафедра «Микро- и нанотехники» Утверждаю
- •Лабораторная работа № 6 по дисциплине «Материалы микро- и наносистемной техники» «Получение мономолекулярных слоев на кремнии с использованием технологии Ленгмюра-Блоджетт»
- •1 Теоретическая часть
- •1.1 Амфифильные молекулы
- •1.2 Межмолекулярное взаимодействие внутри жидкости и на поверхности раздела фаз
- •1.3 Роль поверхностного натяжения в образовании мономолекулярного слоя
- •1.4 Поверхностно-активные вещества (пав)
- •1.5 Механизм действия пав
- •1.6 Изотерма поверхностного натяжения. Типы изотерм
- •1.7 Процесс образования монослоя. Фазовые переходы в монослое
- •1.8 Нанесение монослоя на поверхность подложки
- •1.9 Установка Ленгмюра-Блоджетт
- •1.10 Факторы, влияющие на качество пленок Ленгмюра-Блоджетт
- •1.11 Получение многослойных пленок лб
- •2. Устройство для нанесения мономолекулярных пленок lt-103
- •2.2 Датчик поверхностного давления
- •2.3 Механизм погружения/подъема
- •3 Программное обеспечение управления lt-103
- •3.1 Главное окно
- •3.2 Панель параметров эксперимента
- •3.4 Окно визуализации
- •3.5 Панели конфигурации
- •4 Порядок выполнения лабораторной работы
- •5 Содержание отчета
1.11 Получение многослойных пленок лб
Последовательным переносом монослоев можно приготовить многослойную наноразмерную пленку из мономолекулярных (по толщине) слоев.
В зависимости от способа переноса и типа подложки (гидро-фильной или гидрофобной), формируются структуры с различной укладкой молекул в смежных слоях, так называемые X-, Y-, Z-структуры
Многослойные структуры X-, Z- и Y-типов отличаются ориентацией молекул относительно подложки.
Структуры X- и Z-типов полярны, так как все молекулы «смотрят» согласованно в одну сторону (хвосты – к подложке или от подложки для X- и Z-типов соответственно).
Y-структура соответствует неполярной двухслойной упаковке, напоминающей устройство биологической мембраны
Рисунок 9 – Типы многослойных пленок Ленгмюр – Блоджетт
Получение различных типов ЛБ-пленок в двухсекционной ванне. Структуры типа Х и Z могут быть получены на специальной установке, имеющей двухсекционную ванну.
Если гидрофильная подложка опускается через поверхность воды, покрытую монослоем, а поднимается через чистую поверхность воды, то формируется Х-структура.
В случае поднятия гидрофильной подложки через поверхность, покрытую монослоем, и погружения через чистую поверхность воды, образуется Z-структура.
Y-структура образуется в результате поднятия и погружения через поверхность, покрытую монослоем.
Рисунок 9 – Процесс полученияе различных типов ЛБ-пленок в двухсекционной ванне
Получение различных типов структур пленок Ленгмюра – Блоджетт в зависимости от скорости осаждения. При нанесении пленок типа X подложка медленно движется вниз через монослойную пленку при определенном давлении и затем быстро вверх.
При нанесении пленок типа Z – наоборот, подложка быстро движется вниз через монослойную пленку при определенном давлении и затем медленно вверх.
Бислойные центросимметричные Л-Б пленки могут быть сформированы при различных скоростях перемещения подложки через свободную поверхность жидкости в ванне.
Рисунок 10 – Процесс полученияе различных типов ЛБ-пленок в двухсекционной ванне за счет различных скоростей осаждения
2. Устройство для нанесения мономолекулярных пленок lt-103
Установка предназначена для нанесения моно- и мультимолекулярных органических пленок методом Ленгмюра–Блоджетт на твердые поверхности.
|
|
Рисунок -11 Общий вид установки для нанесения моно- и мультимолекулярных пленок методом Ленгмюра–Блоджетт: Л-Б ванна (справа) и блок электроники (слева).
В комплект установки для нанесения моно- и мультимолекулярных пленок методом Ленгмюра–Блоджетт (Л-Б ванна) (рисунок 11) входят следующие блоки:
Л-Б ванна;
Механизм погружения/подъема;
Датчик поверхностного давления;
Блок электроники с соединительными кабелями.
В комплект установки для нанесения моно- и мультимолекулярных пленок методом Ленгмюра–Блоджетт (Л-Б ванна) входят следующие блоки:
1.Л-Б ванна;
2.Механизм погружения/подъема;
3.Датчик поверхностного давления;
4.Блок электроники с соединительными кабелями.
2.1 ЛБ-ванна
Схема Л-Б ванны приведена на рисунке 12. Собственно ванна изготовлена из блочного фторопласта. Площадь свободной поверхности жидкости в ванне – 400 см2 (290x138 мм), глубина 30 мм. Герметизируемый круглый колодец, дополнительно установленный в левой части, позволяет погружать в ванну подложки длиной до 60 мм, имеет собственный диаметр 60 мм и глубину 45 мм. Ванна вмещает около 1 л жидкости.
Барьер для ограничения свободной поверхности жидкости изготовлен из фторопласта в виде бруска и скользит по выступу вверху ванны. С учетом «мертвой» зоны, максимальная площадь свободной поверхности жидкости составляет около 370 см2. Изменяемая (рабочая) площадь свободной поверхности жидкости (разница между площадями при крайнем правом и крайнем левом положениях барьера) составляет около 253 см2.
Рисунок 12. Схема (в плане) установки для нанесения моно- и мультимолекулярных пленок методом Ленгмюра–Блоджетт
Фторопластовая ванна крепится на раме из алюминиевого сплава, на которой с тыльной стороны установлен механизм горизонтального перемещения барьера. Вращение ведущего вала осуществляется шаговым двигателем, обеспечивающим точное горизонтальное позиционирование барьера. Слева расположены вертикальные стойки для крепления механизма погружения/подъема и датчика поверхностного давления. Дополнительно на раме слева может размещаться вертикальная стойка с консолью для фторопластового кольца, позволяющего при необходимости ограничивать свободную поверхность жидкости вокруг образца. Данное кольцо может быть использовано для нанесения мультимолекулярных пленок путем предотвращения контакта поверхности образца с наносимым образцом при повторных погружениях его в жидкость. Внутренний диаметр кольца составляет 44 мм, и данный размер ограничивает габариты образца, предназначенного для нанесения мультимолекулярных пленок.
С нижней стороны к штуцеру в днище колодца присоединяется гибкий шланг, обеспечивающий слив жидкости из ванны. Рубашка для термостатирования со стороны основания также оборудована двумя штуцерами для впуска и выпуска жидкого теплоносителя.