
- •Кафедра «Микро- и нанотехники» Утверждаю
- •Лабораторная работа № 6 по дисциплине «Материалы микро- и наносистемной техники» «Получение мономолекулярных слоев на кремнии с использованием технологии Ленгмюра-Блоджетт»
- •1 Теоретическая часть
- •1.1 Амфифильные молекулы
- •1.2 Межмолекулярное взаимодействие внутри жидкости и на поверхности раздела фаз
- •1.3 Роль поверхностного натяжения в образовании мономолекулярного слоя
- •1.4 Поверхностно-активные вещества (пав)
- •1.5 Механизм действия пав
- •1.6 Изотерма поверхностного натяжения. Типы изотерм
- •1.7 Процесс образования монослоя. Фазовые переходы в монослое
- •1.8 Нанесение монослоя на поверхность подложки
- •1.9 Установка Ленгмюра-Блоджетт
- •1.10 Факторы, влияющие на качество пленок Ленгмюра-Блоджетт
- •1.11 Получение многослойных пленок лб
- •2. Устройство для нанесения мономолекулярных пленок lt-103
- •2.2 Датчик поверхностного давления
- •2.3 Механизм погружения/подъема
- •3 Программное обеспечение управления lt-103
- •3.1 Главное окно
- •3.2 Панель параметров эксперимента
- •3.4 Окно визуализации
- •3.5 Панели конфигурации
- •4 Порядок выполнения лабораторной работы
- •5 Содержание отчета
1.8 Нанесение монослоя на поверхность подложки
Для получения пленок Ленгмюра-Блоджетт используются жидкие и твердо-кристаллические монослои.
Они обладают упорядоченным расположением молекул в монослое и стабильны при высоких значения поверхностного давления. Сформированный монослой переносится на движущуюся вверх-вниз через поверхность воды твердую подложку.
Рисунок 6 -Перенос монослоя на твердую подложку вертикальным лифтом
1.9 Установка Ленгмюра-Блоджетт
В состав установки для изучения пленок Ленгмюра и получения пленок Ленгмюра-Блоджетт входят следующие основные блоки:
- емкость, в которой находится жидкость (субфаза), называемая ванной,
- поверхностные барьеры, движущиеся встречно-согласованно по краям ванны,
- электронные весы Вильгельми, для измерения величины поверхностного давления в монослое,
устройство перемещения подложки
Рисунок 7 -Установка для получения пленок Ленгмюра-Блоджетт: 1- ванна, 2 - поверхностные барьеры, 3- подложка, 4- весы Вильгельми, 5 - поверхность воды с ПАВ, 6 - поверхность воды без ПАВ.
Пластинка Вильгельми – датчик, определяющий поверхностное давление.
Рисунок 8 – Параметры пластинки Вильгельми: W, l, t – ширина, длина и толщина пластинки Вильгельми соответственно; h – глубина погружения в воду
Результирующая сила, действующая на пластинку Вильгельми, состоит из трех составляющих:
Сила=вес-сила Архимеда+поверхностное натяжение (1)
F=ρglwt-ρ’ghwt+2σ (t+w)cosθ , (2)
где ρ, ρ’ – плотность пластинки и субфазы соответсвенно, θ- контактный угол смачивания, g – ускорение свободного падения.
Материал пластинки Вильгельми выбирается таким образом, чтобы θ=0
Поверхностное давление – есть разность между силой действующей на пластинку погруженную в чистую воду и силой действующей на пластинку погруженную в воду, поверхность которой покрыта монослоем:
ΔF=2(σ’- σ)(t+w), (3)
где σ’ – поверхностное натяжение чистой воды
Для пластинки Вильгельми характерно t<<w, а разность (σ’- σ) – называется поверхностным давлением и обозначается -π .
Тогда поверхностное давление
π =ΔF/2t=Δmg/2t [Н/м], (4)
где m – измеряемая весами Вильгельми величина.
1.10 Факторы, влияющие на качество пленок Ленгмюра-Блоджетт
Фактор качества пленок Ленгмюра-Блоджетт можно выразить:
К = f( Коб, Ктех, Кв, Кмс, Кп ) , (5)
где: Коб - оборудование (исполнительные устройства и “активные” средства контроля - измерительные устройства);
Ктех - технологическая чистота;
Кв - физико-химическая природа ПАВ;
Кмс - фазовое состояние монослоя на поверхности субфазы;
Кп - природа и тип подложки.
Первые два фактора относятся к конструкторско-технологическим, а остальные - к физико- химическим
В группу конструкторско-технологические входят факторы технологической чистоты и оборудования
Для получения пленок высокого структурного совершенства необходим контроль следующих параметров:
- поверхностное натяжение в монослое,
- уровень субфазы,
- коэффициент переноса, характеризующий наличие
дефектов в ПЛБ;
- температура, давление и влажность окружающей среды,
- pH-субфазы.
В группу физико-химических входят факторы:
- Кв, учитывающий физико-химическую природу поверхностно-активного вещества;
- Кмс, учитывающий фазовое состояние монослоя на поверхности субфазы;
- Кп, определяющий взаимосвязь между природой подложки, микрошероховатостью ее поверхности и качеством формируемой мультиструктуры.
Фактор Кв характеризует такие индивидуальные свойства вещества (ПАВ), как:
- структура (геометрия) молекулы, определяющая соотношение гидрофильных и гидрофобных взаимодействий между молекулами самого ПАВ и молекулами ПАВ и субфазы;
- растворимость ПАВ в воде;
- химические свойства ПАВ (например, способность к образованию межмолекулярных ковалентных связей при внешнем энергетическом воздействии, приводящем к полимеризации ПАВ, которая изменяет его механические и физические свойства);
- способность к образованию связей с металлами