Коэффициенты преобразования

1А=10¹⁰м=*10^-8см=0,1нм

1эВ=1,602*10^-19Дж

1Дж=10⁷эрг

Некоторые характеристики электродных материалов

Материал	Удельное сопротивление, 10-8 Ом*см	Удельная теплопроводность, Вт/(м* ˚С)
Алюминий	2,65	217
Золото	2,44	310
Никель	7,24	-
Олово	11,5	63
Молибден	5,14	147
Вольфрам	5,51	172
Индий	8,38	113

Физические характеристики пленок нитрида кремния

Плотность, кг/м2	3170…3440
Температурный коэффициент расширения, ˚С	2,7*10-6
Удельное сопротивление при Т=300К, Ом*см	1012…1013
Относительная диэлектрическая проницаемость	6…10
Электрическая прочность, В/м	1,5*105

БИБЛИОГРАФИЧЕСКИЙ СПИСОК

1. 3и С. Физика полупроводниковых приборов: В 2 кн. : Пер. с англ. - 2-е перераб. и доп. ИЗД. - М.: Мир, 1984.

2. Соклоф С. Аналоговые интегральные схемы: Пер. с англ, - М.: Мир, 1988. - 583 с.

3. Тилл У., Лаксон Дж. Интегральные схемы: Материалы, приборы, изготовление: Пер. с англ. - М.: Мир, 1985. - 501 с.

4. Тутов Н.М., Глебов КА., Чарыков Н.А Полупроводниковые приборы.

Учебник для вузов; Под ред. В.А Лабунцова. - М.: Энергоатомиздат, 1990. - 576 с.