- •Понятие о терминах «технология», «технологическая операция», «технологический процесс». Виды технологических операций.
- •Виды техпроцессов
- •Общая схема технологии производства микросхем. Подготовительные операции.
- •Подготовка подложек
- •Сущность метода осаждения пленок термическим вакуумным испарением. Упрощенная схема подколпачного устройства. Термическое вакуумное испарение (тви)
- •Критическая температура конденсации. Зависимость структуры пленки от температуры подложки.
- •6. Испарители. Виды и конструкции испарителей. Требования к материалам. Способы нагрева.
- •7. Испарение сложных материалов и сплавов. Реактивное испарение.
- •8. Сущность метода распыления материалов ионной бомбардировкой. Понятие о пороговой энергии.
- •9.Схема катодного распыления. Скорость распыления. Коэффициент распыления.
- •10.Схема вакуумной системы установки для напыления тонких пленок. Средства контроля вакуума. Ионизационный и термопарный вакуумметры.
- •Резистивный и кварцевый методы контроля параметров пленок. Назначение. Принцип действия. Применение.
- •12.Общая схема литографического процесса. Виды литографии
- •13.Позитивные и негативные фоторезисторы. Разрешающая способность. Фоточувствительность. Стойкость к воздействию агрессивных факторов.
- •1) Фоточувствительность
- •2) Разрешающая способность – r
- •14.Методы нанесения фоторезистивных покрытий. Операции совмещения и экспонирования. Контактная, бесконтактная и проекционная печать.
- •Центрифугирование Пульверизация
- •15.Формирование фоторезистивной маски. Операции проявления и термообработки. Удаление фотомаски. Особенности для негативного и позитивного фоторезиста.
- •17. Многопозиционные вакуумные установки для получения тонких пленок термическим вакуумным испарением
- •18 Технология изготовления толстопленочных микросхем. Схема технологического процесса.
- •19 Пасты для получения толстопленочных элементов микросхем. Трафаретная печать, вжигание элементов толстопленочных микросхем
- •20 Технология изготовления полупроводниковых интегральных микросхем
- •21. Транзисторы (биполярные и униполярные ). Назначение. Технология изготовления.
- •В зависимости от корпуса мс и других различных факторов число этих операций доходит до 200.
- •22. Эпитаксия. Методы получения эпитаксиальных слоев.
- •23. Термическая диффузия примесей. Методы диффузии.
- •24. Ионное легирования. Преимщества и недостатки.
- •Тема 13
- •25. Особенности металлизации поверхности кремниевых структур.
Понятие о терминах «технология», «технологическая операция», «технологический процесс». Виды технологических операций.
Произошло о греч техно – искусство умение мастерство и логос – наука.
Технология – наука об умении что либо делать.
Технология – наука выясняющая сущности и закономерности тех процессов
Технология – описание технологических процессов состоящих из технологических карт инструкции и так далее.
Технологическая операция – законченная часть тех процесса выполняемая на одном рабочем месте.(ТО) В результате выполнения ТО происходит качественное изменение обрабатываемых объектов.
ТО (технологич обработка) – могут быть последовательными или параллельными
В зависимости от обрабат. Объекта различают основные и вспомогательные технологические операции.
Основные – те В результате выполнения которых объекты становятся готовым изделием.
Вспомогательные операции выполняются над вспомогательными объектами и являются неотъемлемой частью тех процесса. От их качества выполнения зависит качество выполнение основных операции и качество готовых изделий.
Для повышения качества готовых изделий после выполнение технологич операций рекомендуется проводить контроль. Количество контрольных операций определяется типом и сложностью изделий.
Технологические операции состоят из технологических переходов – законченная часть ТО выполняемая одним инструментом и связанное с обработкой одной поверхности, выполняемая при одном технологическом режиме.
Технологический метод
Разные методы характеризуются определенной сущностью происходящих явлений и совокупности рабочих приемов. Технологические методы классифицируются по след признакам:
В соответствии с разделением производства на тех участки различают
Химические
Термические
Фотолитографические методы обработки, сборки, герметизации и др
В соответствии с назначением:
Входного и выходного контроля
Резки шлифовки сушки травления и др
По количеству обрабатываемых единиц:
групповые и индивидуальные методы обработки.
Технологический процесс- часть производственного процесса, содержащая действия по изменению состояния предмета производства.
Построение технологического процесса определяется количеством выпускаемых изделий, в зависимости от количества различают:
1) единичные производства
2)серийное
3)массовое производства
При единичном производстве – изделия выпускаются в единичных экземплярах; применяют спец оборудование и инструменты общего назначения, квалификация рабочих очень высокая.
В серийном производстве – изделия изготавливают чередующимися партиями.
Используется оборудование спец назначения, а квалификация рабочих средняя.
В массовом производстве – характеризуется узкой специализацией и детальной разработкой тех процессов; применяется поточный метод, а рабочий низкой квалификации.
Виды техпроцессов
В зависимости от применения в производственном процессе для решения одной и той же задачи различных приёмов и оборудования различают следующие виды техпроцессов:
Единичный технологический процесс (ЕТП). Разрабатывается индивидуально для конкретной детали.
Типовой технологический процесс (ТТП). Создается для группы изделий, обладающих общностью конструктивных признаков. Разработку типовых технологических процессов осуществляют на общегосударственном и отраслевом уровнях, а также на уровнях предприятия в соответствии с общими правилами разработки технологических процессов.
Групповой технологический процесс (ГТП).
В промышленности и сельском хозяйстве описание технологического процесса выполняется в документах, именуемых операционная карта технологического процесса (при подробном описании) или маршрутная карта (при кратком описании).
Маршрутная карта — описание маршрутов движения по цеху изготовляемой детали.
Операционная карта — перечень переходов, установок и применяемых инструментов.
Технологическая карта — документ, в котором описан: процесс обработки деталей, материалов, конструкторская документация, технологическая оснастка.
Технологические процессы делят на типовые и перспективные.
Типовой техпроцесс имеет единство содержания и последовательности большинства технологических операций и переходов для группы изделий с общими конструкторскими принципами.
Перспективный техпроцесс предполагает опережение (или соответствие) прогрессивному мировому уровню развития технологии производства.
Управление проектированием технологического процесса осуществляется на основе маршрутных и операционных технологических процессов.
Маршрутный технологический процесс оформляется маршрутной картой, где устанавливается перечень и последовательность технологических операций, тип оборудования, на котором эти операции будут выполняться; применяемая оснастка; укрупненная норма времени без указания переходов и режимов обработки.
Операционный технологический процесс детализирует технологию обработки и сборки до переходов и режимов обработки. Здесь оформляются операционные карты технологических процессов.