Рекомендована література

1. Прищепа М. М. Мікроелектроніка. В 3 ч. Ч. 1. Елементи мікроелектроніки [Текст]: навч. посіб. / М. М. Прищепа, В. П. Погребняк./ Під ред. М. М. Прищепи. – К.: Вища шк., 2004. – 431 с.: іл.

2. Прищепа М. М. Мікроелектроніка. В 3 ч. Ч. 2. Елементи мікросхемотехніки [Текст]: навч. посіб. /М. М. Прищепа, В. П. Погребняк./ Під ред.. М. М. Прищепи. – К.: Вища шк., 2006. – 503 с.: іл.

3. Прищепа М. М. Мікроелектроніка. В 3 ч. Ч. 3. Основи мікротехнології [Текст]: навч. посіб. /М. М. Прищепа, В. П. Погребняк/ Під ред. М. М. Прищепи. – Х.: Нац. аерокосм. ун – т ім.. М. Є. Жуковського “Харк. Авіац. ін – т”, 2011. – 738 с.

4. Прищепа М. М. Мікроелектроніка. Елементи мікросхем. Збірник задач [Текст]: навч. посіб. / М. М. Прищепа, В. П. Погребняк/ Під ред. М. М. Прищепи. – К.: Вища шк., 2005. – 167 с.: іл.

5. Аваев Н. А. и др. Основы микроэлектроники: Учебное пособие для вузов / Н. А. Аваев, Ю. Е. Наумов, В. Т. Фролкин. – М.: Радио и связь, 1991. – 288 с.: ил.

6. Воженин И. Н. и др. Микроэлектронная аппаратура на бескорпусных интегральных микросхемах. / И. Н. Воженин, Г. А. Блинов, Л. А. Коледов и др. Под ред. И. Н. Воженина. – М.: Радио и связь, 1985. – 264 с., ил.

7. Мурога С. Системное проектирование сверхбольших интегральных схем: В 2 – х кн. Пер. с англ. – М.: Мир, 1985. – Кн. 1 – 288 с., ил., Кн. 2 – 290 с., ил.

8. Пономарев М. Ф., Коноплев Б. Г. Конструирование и расчет микросхем и микропроцессоров: Учеб. пособие для вузов. – М.: Радио и связь, 1986. – 176 с.: ил.

9. Соклоф С. Аналоговые интегральные схемы: Пер. с англ. – М.: Мир, 1988. – 583 с., ил.

10. Черняев В. Н. Технология производства интегральных микросхем и микропроцессоров: Учебник для вузов. – 2 – е изд., перераб. и доп. – М.: Радио и связь 1987. – 464 с.: ил.

ЗМІСТ

РОЗДІЛ 1. ТЕХНОЛОГІЧНІ ПРОЦЕСИ ВИРОБНИЦТВА ІНТЕГРОВАНИХ 14

МІКРОСХЕМ 14

1.1. Технологічні особливості виробництва інтегрованих мікросхем 14

1.2. Технологічні процеси виробництва біполярних ІМС 17

1.2.1. Технологічні процеси виробництва біполярних мікросхем із ізоляцією елементів обернено зміщеними p - n – переходами 18

1.2.2. Технологічні процеси виробництва біполярних мікросхем із ізоляцією елементів діелектриком 35

1.2.3. Технологічні процеси виробництва біполярних мікросхем із комбінованою ізоляцією елементів 44

1.3. Технологічні процеси виробництва МДН ІМС 54

1.3.1. Технологічні процеси виробництва p-канальних мікросхем 58

1.3.2. Технологічні процеси виробництва n-канальних мікросхем 79

1.3.3. Технологічні процеси виробництва комплементарних МДН - мікросхем 113

1.4. Особливості конструкцій і технологій динамічних елементів пам’яті 137

1.5. Особливості конструкцій і технологій мікросхем на польових транзисторах з керувальним переходом метал - напівпровідник 140

1.6. Сучасні технології мікроелектроніки і перспективи їх розвитку 142

1.7. Технологічні процеси виробництва гібридних мікросхем і мікрозбірок 164

1.8. Технологічні процеси виробництва комутаційних плат 179

Рекомендована література 184

185