1. Соблюдение производственной чистоты

Исходя из вышеперечисленных задач, все операции с полупроводниковыми материалами должны проводиться в производственных помещениях, отвечающих жестким требованиям по чистоте и микроклимату. Известно, что в городе концентрация пыли в воздухе составляет более 10⁵ л^-1. Пыль обладает высокой адсорбционной способностью и при повышении температуры выделяет адсорбированные вещества. Поэтому при организации производства необходимо обеспечить правильное расположение, как самого производства, так и правильный выбор конструкции производственных помещений, и их взаимное расположение. Полупроводниковые предприятия удобно размещать в зеленых зонах. Конструкция здания должна обеспечивать герметизацию производственного помещения.

По категории чистоты производственные помещения разделены на 5 классов. Для полупроводникового производства пригодны помещения первых трех классов (табл. 2.):

Таблица 2.

Классы чистоты производственных помещений полупроводниковых предприятий

Класс чистоты	Содержание пылинок размером d>0,5мкм, л-1
1 (особо чистое производство)	4
2	35
3	350
4	3500
5	По санитарным нормам

2. Обеспечение микроклимата

Помещения по микроклимату для каждого класса чистоты должны отвечать определенным требованиям (табл.3.).

Таблица 3.

Климатические нормы для помещений разных классов чистоты

Категория микроклимата	Температура, 0С		Относительная влажность, %
	Зима	Лето
1	21 1	23 1	45 5
2	20 2	23 2	45 15
3	По санитарным нормам

Для осуществления ответственных технологических операций с полупроводниковыми материалами на предприятиях организуются гермозоны (помещения 2 класса чистоты и 2 категории микроклимата) в которые подается очищенный воздух с избыточным давлением P_изб.=20÷50 Па. Создаваемый подпор чистого воздуха предотвращает подсос грязного воздуха в помещение.

Температурно-влажностный режим обеспечивается кондиционированием воздуха, подаваемого в помещение.

Подаваемый в гермозону воздух проходит три ступени очистки:

• грубая очистка – в месте забора воздуха;

• тонкая очистка;

• специальная очистка (электростатическая, сорбционная).

Вход в гермозону осуществляется по специальным пропускам. Персонал снимает общезаводскую одежду в помещении 1, проходит по тамбуру 2 в комнату личной гигиены с душем 3, потом в помещении 4 надевает чистую одежду и по обдуваемому тамбуру 5 направляется в чистую комнату 6. Дверь между помещениями 5 и 6 раздвижная. Выход осуществляется в обратном порядке.

Поскольку в гермозонах из-за их большой площади не удается создать необходимые условия для помещений 1 класса чистоты, то внутри гермозоны создаются чистые комнаты (помещения 1 класса чистоты) (рис. 2,а) от остального пространства они также отделены системой вспомогательных помещений, аналогичной системе изоляции гермозоны. Основное отличие – отсутствие душа в комнате личной гигиены. В чистых комнатах производятся самые ответственные операции (загрузка и выгрузка пластин в технологические установки, фотолитография и т.п.). Через чистую комнату продувается очищенный воздух. Режим движения воздушных потоков должен быть ламинарным, а их скорость 0,2-0,5 м/с. В чистой комнате давление воздуха несколько выше, чем в окружающем помещении для предотвращения подсоса из него.

В чистой комнате воздухообмен организуется по схеме, представленной на рис. 2,б.

Рис. 2. Чистая комната: а – расположение чистой комнаты в гермозоне (вид сверху), б – организация в ней вентиляции и в – внешний вид чистой комнаты. Гардеробы для общезаводской (1) и чистой (4) спецодежды, 2,5 – обдуваемые сверху тамбуры, 3 – комната личной гигиены, 6 – рабочее помещение чистой комнаты, 7 – тамбуры связи для подачи материалов, 8 – фильтры тонкой очистки воздуха в фальшпотолке, 9 – рециркуляционный насос, 10 – окно для пристыковки оборудования, 11 – фальшпол, 12 – окно для выхода воздуха.

Фальшпол выполняется в виде перфорированной поверхности.

Конструкционные материалы чистых комнат должны быть пылеотталкивающими, пожаро- и водостойкими и т.д.

Иногда экономичнее организовать в гермозоне «чистые места», используя пылезащитные камеры или скафандры (оформленные по принципу чистой комнаты), при этом оператор находится вне «чистого места», и через специальные шлюзы вводит в него только руки.

В производственных помещениях проводятся влажные уборки – мытье полов (1 раз в смену) и стен (1 раз в неделю).