6. Оформление результатов

^{1. Введение..........................................................................................................}

^{2. Методы измерения толщин............................................................................}

^{2.1. Эллипсометрия...................................................................................}

^{2.2. Рентгеновские методы.......................................................................}

^{2.3. Оптические методы контроля...........................................................}

^{2.3.1. Интерферометрия.................................................................}

^{2.3.2. Методы оптической интерференции...................................}

^{3. Микроинтерферометр Линника.....................................................................}

^{3.1. Назначение.........................................................................................}

^{3.2. Технические данные..........................................................................}

^{3.3. Принцип действия..............................................................................}

^{3.4. Оптическая система...........................................................................}

^{3.5. Устройство микроинтерферометра...................................................}

^{4. Задание.............................................................................................................}

^{5. Выполнение работы........................................................................................}

^{5.1. Настройка микроинтерферометра МИИ-4.......................................}

^{5.2. Измерение высоты микронеровностей.............................................}

^{6. Оформление результатов................................................................................}

^{7. Контрольные вопросы.....................................................................................}

^{8. Литература.......................................................................................................}

³

³

⁵

⁷

⁸

⁸

¹⁰

¹²

¹²

¹²

¹²

¹⁶

¹⁸

²¹

²¹

²¹

²³

²⁵

²⁵

²⁵