Добавил:
Upload Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:
izm_tol.doc
Скачиваний:
0
Добавлен:
01.05.2025
Размер:
1.91 Mб
Скачать

4. Задание

1. Ознакомится с устройством и принципом работы микроинтерферометра Линника МИИ-4.

2. Произвести настройку микроинтерферометра МИИ-4 согласно инструкции по настройке микроинтерферометра (п. 5.1).

3. Произвести измерение ступеньки на границе раздела пленка-подложка.

4. Выполнить расчет высоты микронеровностей.

5. Выполнение работы

5.1. Настройка микроинтерферометра мии-4.

Включить лампу и положить па столик микроинтерферометра объект исследуемой поверхностью вниз (к объективу).

Произвести настройку освещения, для чего перемещением патрона установить нить лампы так, чтобы ее изображение было резко видно в зрачке объектива; изображение нити лампы и зрачок объектива хорошо видны при вынутом окуляре. С помощью центрировочных винтов 30 отцентрировать изображение нити лампы относительно зрачка объектива, апертурная диафрагма при этом должна быть полностью открыта.

Вставить окуляр в переходную втулку 41, которую установить на тубус микроинтерферометра. Повернуть рукоятку 34 так, чтобы стрелка на ней стояла вертикально. С помощью микрометрического винта 28 сфокусировать микроинтерферометр на исследуемую поверхность.

Поворотом рукоятки 34 включить правую часть интерференционной головки (стрелка на рукоятке должна быть в горизонтальном положении); при этом в поле зрения должны быть видны интерференционные полосы (см. рис. 9а).

а б

Рис. 9. Интерференционные полосы, наблюдаемые в объектив.

а – до наведения на царапину;

б – после наведения на ступеньку (увеличено по отношению к 9а).

С помощью микрометрического винта 28 добиться наиболее резкого изображения полос и исследуемой поверхности. Если при резкой фокусировке на объект наиболее резкие и контрастные интерференционные полосы получились не в центре поля зрения, то следует отвернуть контргайку 42 и, вращая винт 36, привести полосы в центр ноля зрения. Затем проверить фокусировку по исследуемой поверхности и закрепить винт 36 контргайкой 42.

Винтом 36 и контргайкой 42 разрешается пользоваться только в случае, описанном выше; в других случаях трогать винт и контргайку не рекомендуется. Для получения большей контрастности полос нужно поворотом кольца 33 несколько уменьшить отверстие апертурной диафрагмы.

Вращением винта 35 вокруг его оси установить необходимый для работы интервал между полосами. Поворотом винта 35 вокруг оси интерференционной головки установить интерференционные полосы перпендикулярно к штрихам на исследуемой поверхности. Для работы с монохррматическим светом включить один из светофильтров перемещением до упора пластинки 32.

5.2. Измерение высоты микронеровностей

Измерение глубины канавок (следов от инструмента) можно производить двумя способами: на глаз и с помощью винтового окулярного микрометра.

При правильной настройке микроинтерферометра в его поле зрения должны быть, видны одновременно исследуемая поверхность и интерференционные полосы (рис. 9а), изогнутые в местах, где проходят канавки или царапины (рис. 9б), причем интерференционные полосы должны быть ориентированы перпендикулярно к направлению царапин или рисок.

При измерении глубины царапины или риски на глаз следует определить, на какую долю интервала между полосами или на сколько интервалов изгибается полоса в месте прохождения царапины.

При работе с белым светом глубина царапины или риски определяется по следующей формуле:

Н = 0,27 N (мкм), (3)

при работе с монохроматическим светом по формуле Н = (/2)N (мкм),

где Н – глубина канавки;

Nвеличина изгиба полосы в долях интервала;

длина волны света, указанная в паспорте.

Для измерения с помощью винтового окулярного микрометра MOB-1-15х следует установить его на тубус микроинтерферометра до упора, затем повернуть так, чтобы одна из нитей перекрестия совпала с направлением интерференционных полос, а другая – с направлением царапин на исследуемой поверхности (рис. 9б).

При работе в белом свете искривление в одну интерференционную полосу соответствует высоте неровности на исследуемой поверхности, равной 0,27 мкм. В таком случае измеренная высота неровности Н вычисляется по формуле:

Н = 0,27 n, (мкм), (4)

где Нвысота измеряемой ступеньки;

h – расстояние в делениях винтового окулярного микрометра 26

между полосой до наложения ее на ступеньку и после (рис. 10);

H – расстояние в делениях винтового окулярного микрометра 26

между полосами (см. рис. 10);

n – число интервалов между полосами.

Погрешность измерений на МИИ-4 составляет не более 30 нм.

Для определения Нср необходимо снять с исследуемого участка поверхности серию из 5-ти замеров.

Рис. 10. Определение высоты ступеньки

с помощью делений микрометра.

Соседние файлы в предмете [НЕСОРТИРОВАННОЕ]