4. Задание

^{1. Ознакомится с устройством и принципом работы микроинтерферометра Линника МИИ-4.}

^{2. Произвести настройку микроинтерферометра МИИ-4 согласно инструкции по настройке микроинтерферометра (п. 5.1).}

^{3. Произвести измерение ступеньки на границе раздела пленка-подложка.}

^{4. Выполнить расчет высоты микронеровностей.}

5. Выполнение работы

5.1. Настройка микроинтерферометра мии-4.

^{Включить лампу и положить па столик микроинтерферометра объект исследуемой поверхностью вниз (к объективу).}

^{Произвести настройку освещения, для чего перемещением патрона установить нить лампы так, чтобы ее изображение было резко видно в зрачке объектива; изображение нити лампы и зрачок объектива хорошо видны при вынутом окуляре. С помощью центрировочных винтов 30 отцентрировать изображение нити лампы относительно зрачка объектива, апертурная диафрагма при этом должна быть полностью открыта.}

^{Вставить окуляр в переходную втулку 41, которую установить на тубус микроинтерферометра. Повернуть рукоятку 34 так, чтобы стрелка на ней стояла вертикально. С помощью микрометрического винта 28 сфокусировать микроинтерферометр на исследуемую поверхность.}

^{Поворотом рукоятки 34 включить правую часть интерференционной головки (стрелка на рукоятке должна быть в горизонтальном положении); при этом в поле зрения должны быть видны интерференционные полосы (см. рис. 9а).}

^{а б}

^{Рис. 9. Интерференционные полосы, наблюдаемые в объектив.}

^{а – до наведения на царапину;}

^{б – после наведения на ступеньку (увеличено по отношению к 9а).}

^{С помощью микрометрического винта 28 добиться наиболее резкого изображения полос и исследуемой поверхности. Если при резкой фокусировке на объект наиболее резкие и контрастные интерференционные полосы получились не в центре поля зрения, то следует отвернуть контргайку 42 и, вращая винт 36, привести полосы в центр ноля зрения. Затем проверить фокусировку по исследуемой поверхности и закрепить винт 36 контргайкой 42.}

^{Винтом 36 и контргайкой 42 разрешается пользоваться только в случае, описанном выше; в других случаях трогать винт и контргайку не рекомендуется. Для получения большей контрастности полос нужно поворотом кольца 33 несколько уменьшить отверстие апертурной диафрагмы.}

^{Вращением винта 35 вокруг его оси установить необходимый для работы интервал между полосами. Поворотом винта 35 вокруг оси интерференционной головки установить интерференционные полосы перпендикулярно к штрихам на исследуемой поверхности. Для работы с монохррматическим светом включить один из светофильтров перемещением до упора пластинки 32.}

5.2. Измерение высоты микронеровностей

^{Измерение глубины канавок (следов от инструмента) можно производить двумя способами: на глаз и с помощью винтового окулярного микрометра.}

^{При правильной настройке микроинтерферометра в его поле зрения должны быть, видны одновременно исследуемая поверхность и интерференционные полосы (рис. 9а), изогнутые в местах, где проходят канавки или царапины (рис. 9б), причем интерференционные полосы должны быть ориентированы перпендикулярно к направлению царапин или рисок.}

^{При измерении глубины царапины или риски на глаз следует определить, на какую долю интервала между полосами или на сколько интервалов изгибается полоса в месте прохождения царапины.}

^{При работе с белым светом глубина царапины или риски определяется по следующей формуле:}

^{Н = 0,27 N (мкм), (3)}

^{при работе с монохроматическим светом по формуле Н = (/2)N (мкм),}

^{где Н – глубина канавки;}

^{N – величина изгиба полосы в долях интервала;}

^{ – длина волны света, указанная в паспорте.}

^{Для измерения с помощью винтового окулярного микрометра MOB-1-15х следует установить его на тубус микроинтерферометра до упора, затем повернуть так, чтобы одна из нитей перекрестия совпала с направлением интерференционных полос, а другая – с направлением царапин на исследуемой поверхности (рис. 9б).}

^{При работе в белом свете искривление в одну интерференционную полосу соответствует высоте неровности на исследуемой поверхности, равной 0,27 мкм. В таком случае измеренная высота неровности Н вычисляется по формуле:}

^{Н = 0,27 n, (мкм), (4)}

^{где Н – высота измеряемой ступеньки;}

^{h – расстояние в делениях винтового окулярного микрометра 26}

между полосой до наложения ее на ступеньку и после (рис. 10);

^{H – расстояние в делениях винтового окулярного микрометра 26}

между полосами (см. рис. 10);

^{n – число интервалов между полосами.}

^{Погрешность измерений на МИИ-4 составляет не более 30 нм.}

^{Для определения Нср необходимо снять с исследуемого участка поверхности серию из 5-ти замеров.}

^{Рис. 10. Определение высоты ступеньки}

^{с помощью делений микрометра.}