Добавил:
Upload Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:
технология изделий интегральной электроники___....docx
Скачиваний:
3
Добавлен:
01.05.2025
Размер:
4.58 Mб
Скачать

при этом значения // при изменении температуры убывают быстрее, чем значения μβ , ав точке перехода Тпер: μa(Р,Т) =μβ

(Р, Т).

1.2.4. Типы диаграмм состояния двойных систем

Прежде чем перейти к рассмотрению диаграмм состояния, приведем некоторые определения.

В термодинамике фаза (не путать с радиотехникой) — это совокупность частей системы, тождественных по химическому составу и термодинамическим свойствам; эти части системы находятся между собой в термодинамическом равновесии.

Гомогенная система однофазна, в ней отсутствуют внутрен­ние границы раздела. Гетерогенная система содержит как ми­нимум две фазы. Вода в тройной точке содержит три фазы: лед, жидкость, пар (см. рис. 1.2). Фазы отделены друг от друга поверхностями раздела. Вещество может существовать в виде различных фаз (например, агрегатных состояний, полиморфных модификаций и т.д.).

В общем виде правило фаз определяется соотношением Гиб­бса в виде:

(1.9)

где φ число фаз; v число степеней свободы, т.е. число независимых способов, которыми можно изменить состояние системы, при измене­нии параметров системы; k - число компонентов в системе, в качестве компонентов системы могут выступать не только химические элемен­ты, но и различные химические соединения; п - число параметров, определяющих равновесие.

Иногда пользуются для определения v термином вариант­ность системы. Обычно состояние системы определяется двумя параметрами Т и P. В этом случае правило фаз определяется следующим соотношением:

(1.10)

при φ - k = 2, v = 0 и систему называют нонвариантной или инвариантной; при φ - k = 1, v = 1 и систему называют моно­вариантной; при φ - k = 0, v= 2 и систему называют дивариан-тной и т.д.

Многие вещества при постоянном давлении имеют конк­ретную температуру плавления. При этом жидкая и твердая фазы таких веществ в определенном температурном интервале находятся в равновесии, т.е. в этом температурном интервале система является двухфазной.

Для двойных сплавов (А, B), например, таких, как приведен­ные на рис. 1.1, свободная энергия на 1 моль фазы при постоян­ном давлении Р = const полностью определяется температурой системы Т и свойствами ее компонентов А и B.

Зависимость молярной свободной энергии от состава мож­но изобразить графически (см. рис. 1.5). Значения свободной энергии сплава АВ составов NB(1) и NB(3) лежат на пунктир­ной линии S-L, зависимости свободной энергии Гиббса и или Гельмгольца G(F) от концентрации компонента B, NB (см. рис. 1.5, б).

Для жидкой фазы значение свободной энергии выше, чем для твердой фазы при температуре Т, при которой система на­ходится в двухфазном состоянии независимо от концентраций NA и NB компонентов А, Б. Если система состоит из твердой и жидкой фазы в точке с концентрацией компонентов NA(2) и NB(2), свободная энергия системы может быть понижена пре­вращением системы в твердую фазу состава NB(1) при пониже­нии температуры или жидкую фазу состава NB(3) при повыше­нии температуры (см. рис. 1.5, б).

Для жидкой фазы сплава АВ ниже температур плавления соответственно компонентов А и В при одинаковом соотноше­нии компонентов значение свободной энергии выше, чем для твердой фазы при всех температурах. На рис. 1.5 (а) приведе­ны значения свободной энергии G(F) при температуре плавле­ния компонента A G(F)A и их зависимости при увеличении кон­центрации NB компонента В.

Двойная диаграмма состояния (см. рис. 1.5, д) показывает, что при температуре выше T1 сплавы всех составов будут пред­ставлять собой равновесную жидкую фазу, обозначаемую бук­вой L. Сплав NB(3) при температуре Т2 находится только в жидком состоянии, при Т3 только в твердом состоянии. В промежутке от Т2 до Т3 сплав АВ с концентрацией NB(2) будет находиться в обоих состояниях (фазах): жидкость + твер­дое тело.

Большинство веществ и химических элементов при посто­янном давлении имеют определенную температуру плавления, (см. рис.1.5(a)). В точке плавления конкретного вещества (хи­мического элемента, на рисунке компонента А) значения сво­бодной энергии G(F)A для твердой и жидкой фаз одинаковы. Концентрация компонента А (см. рис. 1.5) в точке А - 100 %, NA = 100 %, а концентрация компонента В, NB = 0 %), концен­трация компонента В в точке В - 100 %, NB = 100 %, а концен­трация компонента A, NA = 0 %), При этом в зависимости от концентраций элементов А и Б в сплаве АВ с концентрациями по мере увеличения компонента В: NB((1), NB(2), NB(3)) жид­кая и твердая фаза таких веществ в определенном температур­ном интервале будут находиться в равновесии (между точками S и L для конкретных температур T1, Т2, Т3, Т4, п - соответ­ственно 1, 2, 3, 4 и т. д.) (см. рис. 1.5, б, в, г, д).

Твердые растворы двойных сплавов АВ могут иметь в зави­симости от конкретных компонентов и их концентрации раз­ные кристаллические решетки, т.е. разные фазы, так, при оди­наковой 50 % концентрации компонентов А и В решетка спла­ва АВ может быть, например, гексагональной, а при составе ком­понентов, соответствующих формуле А3В, — кубической и т .д.

Рис. 1.6. Равновесная диаграмма состояния при неограниченной растворимости компонентов А и В в жидком и твердом состояниях: L + а - область, в которой в равновесии находятся жидкая фаза L и твердая фаза S в виде твердого раствора модификаций

Термодинамический потенциал или свободная энергия Гиб- бса дается соотношением

При стремлении произведения PV к 0, соотношение приоб­ретает вид F = Е - TS, которое известно как соотношение для свободной энергии Гельмгольца, F - свободная энергия Гельм-гольца.

Рассмотрим кривые свободной энергии для жидких и твер­дых растворов в системе с неограниченной растворимостью ком­понентов в жидком и твердом состоянии. На рис.1.5(д) пока­зано равновесие жидкой и твердой фаз при температурах T1, Т2, Т3, Т4. В результате может быть построена равновесная диаг-

29

рамма состояния, соответствующая кривым свободной энергии при температурах Т1, Т2, Т3, Т4 и т.д., т.е. при изменениях тем­пературы от температуры плавления ТА компонента А до темпе­ратуры плавления ТА компонента В. Типичная диаграмма со­стояния при неограниченном растворении компонентов как в жидком, так и в твердом состояниях показана на рис. 1.6. Со­ставы твердой и жидкой фаз, находящихся в равновесии друг с другом, определяются точками касания общей касательной к обеим кривым свободной энергии (см. рис. 1.5, б, в, г). Если использовать свободную энергию Гельмгольца, то условие рав­новесия имеет вид в точке X:

(1.12)

При температуре ТА для компонента А твердая и жидкая фаза имеют одно и то же значение свободной энергии Гиббса (Гельмгольца) G(F)A (рис. 1.6), а при температуре ТB для ком­понента В твердая и жидкая фаза будут иметь также одно и то же, но другое по величине, значение свободной энергии G(F)B .

Состав твердой и жидкой фаз, находящихся в равновесии друг с другом при различных температурах, можно нанести на диаграмму в координатах температура - состав. При таком по­строении получается фазовая, или равновесная, диаграмма со­стояния, которая обобщает все сведения, вытекающие из прове­денного анализа кривых свободной энергии. На рис. 1.6 эти по­строения показаны для температур Т3 и Т4 и конкретных соста­вов сплавов от NB(1) до NB(2) и от NB(3) до NB(4), которые, как это принято в материаловедении, обозначены соответствен­но как от р до q и от р2 до q2.

При температурах выше кривой ТА N ТB называемой кри­вой ликвидуса, сплавы различного состава находятся только в жидком состоянии.

При температурах ниже кривой ТА Р ТB, называемой кри­вой солидуса, все сплавы находятся только в твердом состоя­нии и представляют собой твердые растворы, на данной диаг­рамме модификации а.

В области между кривыми TA N ТB и ТА Р ТB система пред­ставляет собой смесь жидкой и твердой фаз, находящихся в равновесии друг с другом. В этой области система характеризу-

ется одной термодинамической степенью свободы, В областях выше кривой ТА N ТB и ниже кривой ТА Р ТB система характе­ризуется двумя термодинамическими степенями свободы.

Компоненты А и B могут иметь различные кристаллические решетки, и, естественно, различные физико-химические свой­ства. Такие компоненты неограниченно растворяются друг в друге в жидком состоянии и ограничено в твердом.

На рис. 1.7 приведены кривые свободной энергии при тем­пературах T1 для двух типов систем с ограниченной раствори­мостью компонентов в твердом состоянии. Как видно, для слу­чая а минимум для кривой свободной:

Рис. 1.7. Кривые свободной энергии при температурах T1 для систем с ограниченной растворимостью компонентов в твёрдом состоянии: а - минимум для кривой свободной энергии жидкой фазы находит­ся между минимумами свободной энергии для твердых фаз А и В; б - интервалы для минимумов свободной энергии в твердом и жидком состояниях не совпадают

Энергия Гельмгольца жидкой фазы находится между ми­нимумами свободной энергии для твердых фаз А и В. Для слу­чая б интервалы для минимумов свободной энергии в твердом и жидком состояниях не совпадают.

В результате построения свободных энергий для различных температур для случая а получим равновесную диаграмму со­стояния с ограниченной растворимостью компонентов в твер­дом состоянии эвтектического типа (см. рис. 1.8). А для случая б

Сплав состава точки Е называют эвтектическим. Жидкость этого состава кристаллизуется при эвтектической температуре ТЕ образуя смесь кристаллов двух твердых растворов составов р2 и t2. Отношение весовых количеств этих твердых фаз изме­ряется отношением отрезков е t2/ р2 е на оси А - В.

Для диаграмм перитектического типа, в которых минимум для свободной энергии жидкой фазы находится за пределами интервала для минимумов свободной энергии для твердых фаз, имеется особая температура Тр, при которой в равновесии на­ходятся три фазы: жидкая, состава р0 и твердые растворы а - и состава р2 и t2 соответственно.

Точку Р называют перитектикой. Значение этой диаграм­мы состояния заключается в том, что при температуре Тр жид­кость состава р0 реагирует с кристаллами a - твердого раствора состава р2, в результате чего образуются кристаллы β - твердого раствора состава t2.

В равновесных условиях температура остается постоянной и равной Тр до тех пор, пока не закончится перитектическая реакция; такая система является нонвариантной (три фазы на­ходятся в равновесии и нет степеней свободы).

Рассмотрим двойные диаграммы состояния (диаграммы состояния двойных систем), которые представляют состояния систем с двумя компонентами. На таких диаграммах по оси ординат откладывается температура, по оси абсцисс — процент­ное соотношение компонентов смеси (обычно это или процент от общей массы (вес. %), или процент от общего числа атомов (ат. %). Давление обычно полагается равным 1 атм. Если рас­сматривается жидкая и твердая фазы, измерением объема пре­небрегают. На рис. 1.10 представлена типичная двухфазная ди­аграмма состояний эвтектического типа для компонентов А и В с использованием весового или атомного процента.

Рис. 1.10. Двухфазная диаграмма состояний эвтектического типа

Буквой а обозначена фаза вещества А с растворенным ве­ществом В, β означает фазу вещества В с растворенным в нем веществом А, а а + β означает смесь этих фаз. Буква L (от