3. Приборы, оборудование, учебные пособия

1. Сверхвысоковакуумная установка.

2. Образцы материалов и узлов, применяемых в вакуумной технике,

3. Учебные плакаты.

4. Порядок выполнения работы

ВНИМАНИЕ!

На установке используется высокое напряжение (свыше 1000 В).

При выполнении работы соблюдать организованность и осторожность.

Запрещено проводить какие-либо переключения, касаться токоведущих частей, даже если они изолированы.

1. Пользуясь данными методическими указаниями и учебными плакатами, ознакомиться с принципом работы применяемых насосов, их устройством и конструкцией других элементов установки.

2. Под наблюдением преподавателя осмотреть установку, ознакомиться с компоновкой отдельных частей установки и порядком включения насосов при откачке.

3. Записать основные характеристики применяемых насосов.

4. Пользуясь таблицей условных обозначений, начертить принципиальную схему установки.

5. Схема отчета

1. Названия и цель работы, основные определения.

2. Принципиальная схема установки.

3. Схема орбитронного насоса и его характеристики.

4. Схема адсорбционного насоса и его характеристики.

5. Порядок включения насосов при работе установки.

6. Контрольные вопросы.

7. Заключение.

6. Контрольные вопросы

1. Назовите основные характеристики любого вакуумного насоса. Каковы эти характеристики для изученных вами насосов?

2. Каков механизм откачки газов адсорбционным насосом?

3. Каковы механизмы откачки орбитронным геттеро-ионным насосом?

4. Какие геттерные и геттеро-ионные насосы вы еще знаете?

5. Что такое высокий и сверхвысокий вакуум?

6. Что такое безмасляный вакуум?

Список используемых источников

1. Розанов Л. Н. Вакуумная техника. - М. Высшая школа, 1990. - 320 с.

2. Вакуумная техника. Справочник /под ред. Фролова Е. С.,

Минайчева Р. С. - М.: Машиностроение, 1985. - 360 с.

3. Пипко А.И.и др. Основы вакуумной техники.-М.:Энергоиздат,1981-432 с.