ИУРЭ 2007-2008 (Интегральные устройства радиоэлектроники) / IURE_KP_2007-08 / 6.2.1 / Приложение1_(табл.тонкоплен.рез_6.2.1)

i

Ri, Ом

Ri, кОм

гр. I, кОм

гр. II, кОм

гр. III, кОм

γr, %

Pi, мВт

γКФ доп, %

КФ, кв

условие

b точн. мкм

b P мкм

b расч. мкм

b , мкм

L точн., мкм

L P, мкм

L расч., мкм

L , мкм

L полн., мкм

γ'КФ , %

γ'R , %

P' 0 ,Вт/см2

Проверка

S, мм2

резистор

1

75000

75,000

75,000

10

1,080

1,40000

15,00000

10<=Кф<50

762

60

762

800

10<=Кф<50

10<=Кф<50

12000

10<=Кф<50

10<=Кф<50

10<=Кф<50

10<=Кф<50

10<=Кф<50

10<=Кф<50

10<=Кф<50

R1

2

33000

33,000

33,000

10

2,450

1,40000

6,60000

1<=Кф<10

823

136

823

850

1<=Кф<10

1<=Кф<10

5610

5600

5800

1,34888

9,95

0,050

выполнена

4,93

R2

3

12000

12,000

12,000

10

0,120

1,40000

2,40000

1<=Кф<10

1012

50

1012

1050

1<=Кф<10

1<=Кф<10

2520

2500

2700

1,32275

9,92

0,004

выполнена

2,84

R3

4

560

0,560

0,560

2

0,140

-5,56000

2,00000

1<=Кф<10

-270

59

100

100

1<=Кф<10

1<=Кф<10

200

200

подстр.

15,00000

22,56

0,700

подстр.

подстр.

R4

5

18000

18,000

18,000

20

4,500

11,40000

3,60000

1<=Кф<10

112

250

250

250

1<=Кф<10

1<=Кф<10

900

900

1100

4,90909

13,51

1,636

выполнена

0,28

R5

6

150

0,150

0,150

10

0,037

2,44000

0,53571

0,1<=Кф<1

0,1<=Кф<1

0,1<=Кф<1

1213

1250

629

31

629

650

850

1,97647

9,54

0,003

выполнена

1,06

R6

7

82

0,082

0,082

10

0,240

2,44000

0,29286

0,1<=Кф<1

0,1<=Кф<1

0,1<=Кф<1

1878

1900

530

59

530

550

750

1,85965

9,42

0,017

выполнена

1,43

R7

8

3300

3,300

3,300

10

4,180

1,40000

0,66000

0,1<=Кф<1

0,1<=Кф<1

0,1<=Кф<1

1818

1850

1186

371

1186

1200

1400

1,25483

9,85

0,161

выполнена

2,59

R8

9

6800

6,800

6,800

10

11,900

1,40000

1,36000

1<=Кф<10

1239

661

1239

1250

1<=Кф<10

1<=Кф<10

1700

1700

1900

1,32632

9,93

0,501

выполнена

2,38

R9

10

470

0,470

0,470

10

1,360

2,44000

1,67857

1<=Кф<10

654

201

654

700

1<=Кф<10

1<=Кф<10

1175

1200

1400

2,14286

9,70

0,139

выполнена

0,98

R10

11

8200

8,200

8,200

10

9,610

1,40000

1,64000

1<=Кф<10

1150

541

1150

1150

1<=Кф<10

1<=Кф<10

1886

1900

2100

1,34576

9,95

0,398

выполнена

2,42

R11

12

100

0,100

0,100

10

40,000

2,44000

0,35714

0,1<=Кф<1

0,1<=Кф<1

0,1<=Кф<1

2380

2400

556

845

845

850

1050

1,36905

8,93

1,587

выполнена

2,52

R12

13

4700

4,700

4,700

20

17,230

11,40000

0,94000

0,1<=Кф<1

0,1<=Кф<1

0,1<=Кф<1

957

1000

170

900

900

900

1100

1,90909

9,91

1,566

выполнена

1,10

R13

14

470

0,470

0,470

20

172,000

12,44000

1,67857

1<=Кф<10

128

2263

2263

2300

1<=Кф<10

1<=Кф<10

3861

3850

4050

0,68170

10,24

1,846

выполнена

9,32

R14

15

1000

1,000

1,000

20

81,000

12,44000

3,57143

1<=Кф<10

103

1065

1065

1100

1<=Кф<10

1<=Кф<10

3929

3950

4150

1,15005

9,15

1,774

выполнена

4,57

R15

Тmax,°С

I Rmax/Rmin

II Rmax/Rmin

85

914,63

22,73

γρ0,%

R I гр., кОм

R II гр., кОм

R III гр., кОм

4

2,108

75,000

нет III гр.

γRст, %

ρ I, Ом/кв

ρ II, Ом/кв

ρ III, Ом/кв

2

281

12901

нет III гр.

ρS I, Ом/кв (из табл.2.3, с.10)

ρS II, Ом/кв (из табл.2.3, с.10)

280

5000

ТКС I (х10^4 град-1)

ТКС II (х10^4 град-1)

2,4

-4

матер. I гр.

матер. II гр.

МЛТ-3м

Кермет-К-50С(5000)

γRt I , %

γRt II , %

1,56000

2,60000

γRк I, % (подсл. б/подсл.)

γRк II, % (подсл. б/подсл.)

0

0

P0 I, Вт/см2

P0 II, Вт/см2

2

2