4. Заключение
В
целом, меди было обнаружено оказывают
существенное влияние на структуру и
свойства пленок нитрида титана. Когда
очень низким содержанием Cu (<2 ат.%) Была
добавлена в TiN, фильм показал, очевидно
повышения твердости. Фильмы
с низким содержанием Cu также отображается
высокой упругой характеристики (91%
упругого восстановления по
наноиндентировании). Напротив,
фильмы с> 2 ат.% Меди были мягкими, до
53% от деформации под отступа может быть
пластиковая в этом случае.
Твердость
поведения TiN-Cu фильмы подтвердил концепцию
nc-nitride/metal композитные для поиска высокой
твердости. Тем
не менее, искажения решетки объясняется
как механизм повышения твердости которая
отличается от nc-/nc- или nc-/a-
нанокомпозитов [8] , [9] , [10] и [14] . Кроме
того, добавление меди был найден, чтобы
настроить размер зерен TiN с 25 до 5 нм, а
тем временем вызвать переход от сильной
ориентацией (111) случайные поликристаллический.
