5. Выводы

Влияние различных условий роста на окружающую среду связей Си в TiN-Cu фильмов нанокомпозитов изучали с помощью EXAFS-спектроскопии в Cu- K -краем. EXAFS результаты показывают, что Ti занимает Cu сайтов в ГЦК Cu и степени замещения уменьшается при р (N ₂ ) возрастает от 0 до 3,7 ⋅ 10 ^{- 3}  мбар. При р (N ₂ ) = 150 ⋅ 10 ^{- 3}  мбар, Cu только формируется. Cu-Cu bondlength равна соответствующей в Cu-фольга, зависит от условий роста, когда р (N ₂ )> 0. Однако, когда р (N ₂ ) = 0, значительные изменения как в Cu-Cu и Cu-Ti длин связей не обнаружено. Эти изменения могут быть связаны с различными кинетики роста, когда рост идет от элементного и интерметаллических целей. Напротив, в 1-м ближайшим соседом оболочки, Cu-Ti bondlength увеличивается по мере P (N ₂ ) возрастает, а наименьшее значение (0,246 нм) обнаружено в образце, выращенные из TiCu гранул с р (N ₂ ) = 0 . Образование (Cu, Ti) твердого раствора связано с образованием кристаллического олова: как р (N ₂ ) растет Ti потребляется в связи N ₂ , что приводит к уменьшению доли атомов Ti, которые заменяют Cu в ГЦК Cu.