
- •Технологія одержання і застосування плівКових матеріалів
- •Проценко і.Ю., Шумакова н.І.
- •© І.Ю.Проценко, н.І Шумакова, 2008
- •Передмова...................................................................................... 7
- •Конструкції термовипарників та їх застосування……… 19
- •Передмова
- •1 Основи термодинаміки та кінетичної теорії газів
- •Рівноважний тиск пари
- •1.2 Розподіл атомів пари за швидкостями
- •1.3 Механізми випаровування рідин та твердих тіл
- •2 Конструкції термовипарників та їх застосування
- •2.1 Загальна інформація
- •2.2 Випаровування із дротів та металевої фольги
- •2.3 Випаровування із тиглів, матеріали тиглів
- •2.4 Випаровування матеріалів електронно-променевими методами
- •3 Вакуумно-плазмова технологія
- •4 Плазмові випарники
- •4.1 Випарники з випаровуванням матеріалу катода
- •4.2 Вакуумно-дугові випарники
- •4.3 Випарники з випаровуванням матеріалу анода
- •4.4 Електронно-променеві випарники
- •5 Метод іонного та реактивного розпилення
- •5.1 Іонне розпилення
- •5.2 Реактивне розпилення
- •6 Особливості випаровування сплавів та хімічних сполук
- •7 Методи контролю товщини плівок
- •7.1 Мікрозважування
- •7.2 Метод кварцового резонатора
- •7.3 Оптичні методи
- •7.4 Інші методи
- •8 Характеристика елемента карбону
- •9 Класифікація алотропів карбону
- •10 Фізичні властивості алотропів карбону
- •11 “Метастабільність алмазу” та шляхи його одержання
- •12 Хімічний синтез алмазу
- •13 До історії розвитку хімічного синтезу алмазу
- •14 Методи одержання алмазоподібних плівок
- •14.1 Термохімічні методи осадження
- •14.2 Електророзрядні методи
- •14.3 Комбіновані розряди
- •14.4 Методи одержання апп на атмосфері
- •15 Методи одержання гідрогенезованих
- •16 Методи одержання ультрадисперсних алмазів (уда) і наноалмазів (на)
- •17 Методи одержання
- •18 Хімічний склад і кристалічна структура
- •18.1 Нітрид титану
- •18.2 Карбід вольфраму
- •Задачі та вправи
- •19 Уявлення про адатом, кластер та критичний зародок
- •20 Залежність розміру критичного зародка від матеріалу плівки та підкладки
- •21 Механізми конденсації плівок, їх узагальнена діаграма
- •22 Чотири стадії росту плівки
- •22.1 Утворення острівців
- •22.2 Коалесценція острівців
- •22.3 Утворення каналів
- •22.4 Утворення суцільної плівки
- •23 Критична товщина і критична температура конденсації
- •24 Утворення дефектів у процесі росту плівки
- •24.1 Дислокації
- •24.2 Межі зерен
- •24.3 Шорсткість та пористість конденсатів
- •25 Епітаксіальний ріст плівок
- •25.1 Зародження епітаксіальних частинок
- •25.2 Механізми епітаксіального росту
- •26 Змінювання параметра решітки, псевдоморфний ріст плівок
- •27 Види спряжень кристалів при епітаксіальному рості
- •28 Субструктура полікристалічних плівок
- •29 Нанокристалічні та аморфні матеріали
- •30 Внутрішні макронапруження в конденсатах
- •30.1 Вплив температури підкладки
- •30.2 Причина виникнення макронапружень у
- •30.3 Вплив товщини плівок, швидкості конденсації та термообробки
- •30.4 Розрахунок величини st
- •30.5 Методи вимірювання s
- •Вплив іонного бомбардування підкладки на властивості плівок
- •32 Процес старіння в тонких плівках
- •Датчики температури із платини та нікелю
- •Термопари
- •Терморезистори із від’ємним і додатним
- •Кремнієві датчики
- •37 Датчики на основі металевої плівки
- •38 Термокондуктометричні та термохімічні
- •39 Тонкоплівкові газові датчики
- •40 Датчики вологості
- •41 Уявлення про тензоефект
- •42 Перетворення деформації тензорезистором
- •43 Передача деформації чутливому елементу
- •44 Металеві тензодатчики
- •45 Напівпровідникові та полімерні тензорезистори
- •46 Магніторезистивні датчики
- •47 Датчики Холла
- •Технологія одержання і застосування плівкових матеріалів
8 Характеристика елемента карбону
Алмаз є однією із алотропних модифікацій елемента карбону (С). Карбон - це хімічний елемент IV групи періодичної системи (2 період), порядковий номер якого 6. У природі існує два стабільні нукліди (ізотопи): 12С(98,89%) і 13С(1,11%). Під впливом космічних променів у земній атмосфері утворюється деяка кількість -радіоактивного нукліда (ізотопу) 14С. За вмістом 14С у рослинах роблять висновок про їх вік.
Елемент
карбон
має на останній оболонці 4 електрони:
(електронна формула 1s22s22p2).
Для карбону можлива sp3-,
sp2- i
sp-гібридизація, внаслідок
чого карбон має чотири модифікації
(алмаз, графіт, карбін і фулерен). Алотропні
модифікації карбону відрізняються
будовою кристалічних решіток і
гібридизацією атомів. Так, у незбудженому
стані такий розподіл електронів у атома
карбону: 1s22s22p2.
Атом карбону у валентному (збудженому)
стані 1s22s2px2py2pz
містить чотири неспарених електрони і
не має ні вільних орбіталей, ні неподільних
пар електронів. Залежно від числа
-зв’язків координаційне
число атома карбону може дорівнювати
чотирьом (sp2-гібридизація)
і двом (sp-гібридизація).
Така електронна будова атома карбону
і положення його на шкалі електронегативності
(середина) зумовлюють унікальні
властивості цього елемента. Саме цим
зумовлене існування декількох алотропних
форм карбону та чисельної кількості
різноманітних органічних сполук. Майже
всі модифікації карбону мають неметалевий
характер.
9 Класифікація алотропів карбону
Тип гібридизації карбону визначає структурну форму відповідного алотропу, що ілюструє таблиця 1.4. Залежно від того, в якому стані перебувають атоми вуглецю у вуглецевій речовині, можуть існувати як моновалентні (чисті) форми, в яких вуглець перебуває тільки в sp3- (наприклад, алмаз), в sp2- (графіт) або в sp- (карбін) стані (табл.1.5), так і змішані форми (наприклад, алмазоподібний вуглець, який розглянемо пізніше у вигляді суміші форм із sp3-, sp2- і sp- гібридизацією).
Можуть бути і проміжні форми - цикловуглець, фулерени, нанотрубки тощо. У природі у вільному стані карбон існує у вигляді графіту й алмазу.
Таблиця 1.4 – Алотропні форми карбону
|
Карбон |
|
|
||||||||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
|
||||||||||||||
sp3 sp2 |
Sp |
|
|||||||||||||
Алмаз |
|
Графіт |
|
Карбін |
|
||||||||||
|
|
|
|
||||||||||||
Кубічний, гекса-гональний (лонсдейліт) |
|
Гексагон-нальний, ромбо-едричний |
|
α-карбін
β-карбін |
|
||||||||||
sp3, sp2, sp |
|
spn (1<n<3) |
|
||||||||||||
Змішані форми карбону |
|
Проміжні форми карбону |
|
||||||||||||
|
|
|
|
|
|
|
|||||||||
Аморфний вуглець, скловуглець, сажа, алмазоподіб-ний вуглець |
|
1<n<2 Цикло[N] – вуглеці N = 18, 24, 30, ... |
|
2<n<3 Фулерени Сх, х = 60, 70, 84, ... Вуглецеві цибулини, вуглецеві нанотрубки |
|||||||||||
|
|
Коли N∞, n1 |
|
Коли х∞, n2 |
|
Таблиця 1.5 – Структурні типи моновалентних
атомів вуглецю
Алотропна форма речовини |
Молекулярна структура речовини |
Молекулярна структура кристалічної речовини |
Тип гібридизації |
Алмаз |
|
Просторова сітка |
sp3 |
Графіт |
|
Шари плоских сіток |
sp2 |
α-карбін β - карбін |
-С≡С-С≡С- =С=С=С=С=
|
Пучки лінійних ланцюгів |
sp |