Задачі для розв’язування

Задача 21. Розрахувати температурний коефіцієнт опору плівкового резистора на основі танталу, якщо в інтервалі температур 300 – 500 К його опір змінюється від 60 до 55 Ом.

Задача 22. Визначити коефіцієнт форми резистивної смужки прямокутної форми, виготовленої із ніхрому, опір квадрата якої дорівнює 300 Ом/, а номінальний опір– 600 Ом. Пояснити, що означає одержана величина.

Задача 23. Визначити опір плівкового резистора ГІМС, який складається із чотирьох резистивних смужок шириною 0,5 мм, довжиною 1 мм, товщиною 5 нм, виготовлених із ніхрому ( 10^-6 Ом^.м).

Задача 24. Розрахувати індуктивність плоскої спірали круглої форми в ГІМС, у якої внутрішній та зовнішній діаметри дорівнюють 0,01 та 0,05 мм відповідно, число витків – 10.

Задача 25. Розрахувати індуктивність плоскої спірали квадратної форми, у якої внутрішній та зовнішній діаметри дорівнюють 0,1 та 0, 4 мм відповідно, число витків – 20.

Задача 26. Порівняти максимально можливу ємність конденсатора розміром 100х100 мкм, виконану у вигляді МОН-конденсатора з ємністю конденсатора такого самого розміру на зворотно зміщеному p-n- переході в n-Si з N_D = 1^.10¹⁶ см^-3. Врахувати, що поле пробою оксиду E = 8.106 В / см, робоча напруга конденсатора U = 5 В (з урахуванням коефіцієнта запасу «2»: U = 10 В).

Задача 27. Для інтегральної схеми проектується резистор p-типу з двома сильнолегованими областями p-типу, контактуючими з резистивною смужкою. Ширина смужки W = 6 мкм, відстань між контактами L = 24 мкм. Смужка має глибину переходу x_j = 6 мкм. Необхідне значення опору R = 1 кОм. Визначити поверхневий опір R_s та середнє значення питомого опору ρ_ср для даного резистора. Дифузією в горизонтальному напрямку можна знехтувати.

Задача 28. З’єднувальна доріжка з полікристалічного кремнію з питомим опором ρ = 500 мкОм⋅см має ширину W = =5 мкм і товщину d = 0,5 мкм. Струм пропускається через таку доріжку довжиною L = 1 мм, щоб зарядити конденсатор площею S = 0,1х0, 5 мм², що має обкладки з двох сторін шару двоокису кремнію, товщина якого дорівнює d_ox = 100 нм. Чому дорівнює стала часу RC для результуючого послідовно включеного ланцюжка опір - конденсатор? (Опір полікристалічного кремнію - мінімальний).

Список літератури

1. Прищепа М.М. Мікроелектроніка. Ч.1. Елементи мікроелектроніки / М.М. Прищепа, В.П. Погребняк. - Київ: Вища школа, 2004. - 432 с.

2. Степаненко И.П. Основы микроэлектроники. - М.: Лаборатория базових знаний, 2001. - 488 с.

Навчальне видання

Проценко Іван Юхимович

Однодворець Лариса Валентинівна

Технологія одержання і фізичні властивості плівкових матеріалів та основи мікроелектроніки (практикуми)

Навчальний посібник

Дизайн обкладинки Л.В. Однодворець

Редактор Н.В. Лисогуб

Комп’ютерне верстання: О.В. Синашенко, О.С. Лободюк

Формат 60х84/16. Ум.друк. арк.13,48. Обл.-вид. арк.11,07. Тираж 300 пр. Зам.№

Видавець і виготовлювач

Сумський державний університет,

вул. Римського-Корсакова, 2, м.Суми, 40007

Свідоцтво суб’єкта видавничої справи ДК № 3062 від 17.12.2007.

2