
- •І.Ю. Проценко, л.В. Однодворець технологія одержання і фізичні властивості плівкових матеріалів та основи мікроелектроніки (практикуми)
- •Розділ 1 лабораторний практикум
- •1.1 Правила техніки безпеки під час виконаннЯ лабораторних робіт
- •1.2 Практикум «Технологія плівкових матеріалів»
- •Порядок виконання роботи
- •Контрольні запитання
- •Список літератури
- •Порядок виконання роботи
- •Контрольні запитання
- •Список літератури
- •Порядок виконання роботи
- •Контрольні запитання
- •Список літератури
- •Порядок виконання роботи
- •Контрольні запитання
- •Список літератури
- •Порядок виконання роботи
- •Порядок виконання роботи
- •Контрольні запитання
- •Список літератури
- •Порядок виконання роботи
- •Контрольні запитання
- •Список літератури
- •Порядок виконання роботи
- •Контрольні питання
- •Список літератури
- •Порядок виконання роботи
- •Контрольні запитання
- •Список літератури
- •1.4 Практикум «Прилади та методи дослідження плівкових матеріалів»
- •Порядок виконання роботи
- •Контрольні запитання
- •Список літератури
- •Порядок виконання роботи
- •Контрольні запитання
- •Список літератури
- •Порядок виконання роботи
- •Контрольні запитання
- •Список літератури
- •Порядок виконання роботи
- •Контрольні запитання
- •Список літератури
- •Порядок виконання роботи
- •Контрольні запитання
- •Список літератури
- •1.5 Практикум «основи опто- і мікроелектроніки»
- •Порядок виконання роботи
- •Контрольні запитання
- •Список літератури
- •Порядок виконання роботи
- •Контрольні запитання
- •Список літератури
- •Порядок виконання роботи
- •Контрольні запитання
- •Список літератури
- •Порядок виконання роботи
- •Контрольні запитання
- •Список літератури
- •Порядок виконання роботи
- •Контрольні запитання
- •Список літератури
- •Порядок виконання роботи
- •1. Режим прямого ввімкнення
- •2. Режим зворотного ввімкнення
- •Контрольні запитання
- •Список літератури
- •Порядок виконання роботи
- •Контрольні запитання
- •Список літератури
- •Порядок виконання роботи
- •Контрольні запитання
- •Список літератури
- •Порядок виконання роботи
- •Список літератури
- •Розділ 2 практичні заняття
- •2.1 Практикум «Фізичні явища в тонких плівках»
- •Список літератури
- •Список літератури
- •Список літератури
- •Список літератури
- •Список літератури
- •Питання семінару
- •Список літератури
- •Список літератури
- •Список літератури
- •Питання семінару
- •Список літератури
- •2.2 Практикум «Технологія наноструктурованих матеріалів»*
- •Питання семінару
- •Список літератури
- •Питання семінару
- •Список літератури
- •Задачі для розв'язування
- •Список літератури
- •Задачі для розв'язування
- •Список літератури
- •Задачі для розв'язування
- •Список літератури
- •2.3 Практикум «Датчики неелектричних величин»
- •Задачі для розв’язування
- •Задачі для розв’язування
- •Список літератури
- •Питання семінару
- •Список літератури
- •Задачі для розв’язування
- •Список літератури
- •Задачі для розв’язування
- •Список літератури
- •2.4 Практикум «Прилади і методи дослідження плівкових матеріалів»
- •Питання семінару
- •Список літератури
- •Задачі для розв’язування
- •Задачі для розв’язування
- •Список літератури
- •Запитання семінару
- •Список літератури
- •Задачі для розв’язування
- •Список літератури
- •2.5 Практикум «Основи мікроелектроніки»
- •Задачі для розв’язування
- •Список літератури
- •Задачі для розв’язування
- •Список літератури
- •Задачі для розв’язування
- •Список літератури
- •Задачі для розв’язування
- •Список літератури
- •Технологія одержання і фізичні властивості плівкових матеріалів та основи мікроелектроніки (практикуми)
Список літератури
1. Томас Г. Просвечивающая электронная микроскопия металлов/ Г.Томас, М.Дж. Гориндж.– М.:Наука, 1983. – 320 с.
2. Растровая электронная микроскопия и рентгеновский микроанализ. Т.1. – М.: Мир, 1984. – 303 с.
3. Растровая электронная микроскопия и рентгеновский микроанализ. Т.2. – М.:Мир, 1984. – 348 с.
4. Структура і фізичні властивості твердого тіла / За ред. Л.С. Палатника.- Київ: Вища школа, 1992.- С.116-122.
5. Проценко І.Ю. Прилади та методи дослідження плівкових матеріалів: навч. посібник з грифом МОНУ / І.Ю. Проценко, А.М. Чорноус, С.І. Проценко. – Суми: Вид-во СумДУ, 2007. – 264 с.
Заняття 2. Основи кристалографії
Методичні вказівки. При розв’язуванні задач використовуються такі поняття: параметри гратки – найближча відстань між сусідніми атомами вздовж осей x, y і z; типи гратки і елементарні комірки Браве; міжплощинні відстані; індекси Міллера та коефіцієнт компактності.
Задачі для розв’язування
Задача 1. Знайти параметр гратки NaCl, густина якого ρ = 2,17·103 кг/м3 і молярна маса μ = 58,45·10-3 кг/моль.
Задача 2. Обчислити молярну масу алюмінію (ГЦК- решітка), параметр гратки якого а = 4,04 Å.
Задача 3. α-залізо має ОЦК (аα = 2,86 Å), а γ-залізо – ГЦК- гратку (аγ = 3,56 Å). Як зміниться густина заліза при його переході з α- в γ-фазу?
Задача 4. Обчислити коефіцієнти пакування (компак-тності) ПК-, ОЦК- та ГЦК- граток.
Задача 5. Знаючи сталу кубічної решітки а, обчислити d100 і d110 для ПК-, ОЦК- та ГЦК- кристалів .
Задача 6. Скільки площин типу {111} має кубічна решітка? Показати їх на рисунку.
Заняття 3. Дифракційні методи дослідження структури кристалів
Методичні вказівки. При розв’язуванні задач використовуються такі поняття та фізичні співвідношення:
1) параметри решітки – найближча відстань між сусідніми атомами вздовж осей x, y і z;
2) формула
Бреггів
,
де
– міжплощинна відстань для площини з
індексами Міллера h,
k,
l;
–
кут ковзання, n
– порядок відбивання, λ – довжина
хвилі; індекси інтерференції h* = nh,
k* = nk,
l* = nl;
3) формула зв’язку з параметром кубічної решітки
;
4) формула зв’язку сталої приладу (електронографа) С з діаметром (D) і міжплощинною відстанню
,
де
в
Å.
Задачі для розв’язування
Задача 7. Обчислити
довжину хвилі рентгенівських променів,
які відбиваються в другому порядку від
системи площин (100) кристала NaCl
під кутом ковзання 2
= 17°22′.
Задача 8. Знайти сталу решітки кристала AgBr (структура типу NaCl), якщо відомо, що відбивання рентгенівських променів з довжиною хвилі λ = 2,52 Å в першому порядку від системи площин (100) відбивається під кутом ковзання = 25,9° .
Задача 9. Для пучка рентгенівських променів з довжиною хвилі λ = 1,537 Å, який падає на кристал алюмінію, спостерігається бреггівське відбиття першого порядку від площин (111) під кутом ковзання 19°20′. Обчислити за цими експериментальними даними число Авогадро NA, якщо густина алюмінію 2,7·103 кг/м3, а молярна маса дорівнює 27·10-3 кг/моль.
Відповідь:
6,1.1023
моль-1,
де z
– число атомів на комірку.
Задача 10. Записати міллерівські індекси h, k, l площин, відбивання від яких дає три перших лінії рентгенограм для ОЦК- та ГЦК- граток.
Задача 11. Обчислити кути дифракції 2 для перших двох ліній дебаєграми, знятої на зразку алюмінію (а = 4,04 Å) і ванадію (а = 3,03 Å), якщо довжина хвилі λ = 1,54 Å.
Задача 12. Визначити індекси інтерференції h*, k*, l* та відповідні їм міжплощинні відстані для трьох ліній дебайєграми алюмінію, яким відповідають кути дифракції 2 = 17°30′; 33°50′; 54°20′ при λ = 0,71 Å.
Вказівка. спочатку знаходиться сума h* + k* + l*, а потім методом підбору - h, k, l.
Задача 13. Пучок електронів з кінетичною енергією 25 кВ проходить через тонку полікристалічну плівку ГЦК- кристала і утворює на екрані на відстані L = 200 мм систему дифракційних кілець. Діаметр першого кільця D = 13 мм. Обчислити приблизно сталу гратки.
Задача 14. В електронограмі дебаєвського типу від кристала з кубічною граткою відношення діаметрів перших двох дифракційних кілець дорівнює 0,855. Визначити тип решітки кристала.