
- •І.Ю. Проценко, л.В. Однодворець технологія одержання і фізичні властивості плівкових матеріалів та основи мікроелектроніки (практикуми)
- •Розділ 1 лабораторний практикум
- •1.1 Правила техніки безпеки під час виконаннЯ лабораторних робіт
- •1.2 Практикум «Технологія плівкових матеріалів»
- •Порядок виконання роботи
- •Контрольні запитання
- •Список літератури
- •Порядок виконання роботи
- •Контрольні запитання
- •Список літератури
- •Порядок виконання роботи
- •Контрольні запитання
- •Список літератури
- •Порядок виконання роботи
- •Контрольні запитання
- •Список літератури
- •Порядок виконання роботи
- •Порядок виконання роботи
- •Контрольні запитання
- •Список літератури
- •Порядок виконання роботи
- •Контрольні запитання
- •Список літератури
- •Порядок виконання роботи
- •Контрольні питання
- •Список літератури
- •Порядок виконання роботи
- •Контрольні запитання
- •Список літератури
- •1.4 Практикум «Прилади та методи дослідження плівкових матеріалів»
- •Порядок виконання роботи
- •Контрольні запитання
- •Список літератури
- •Порядок виконання роботи
- •Контрольні запитання
- •Список літератури
- •Порядок виконання роботи
- •Контрольні запитання
- •Список літератури
- •Порядок виконання роботи
- •Контрольні запитання
- •Список літератури
- •Порядок виконання роботи
- •Контрольні запитання
- •Список літератури
- •1.5 Практикум «основи опто- і мікроелектроніки»
- •Порядок виконання роботи
- •Контрольні запитання
- •Список літератури
- •Порядок виконання роботи
- •Контрольні запитання
- •Список літератури
- •Порядок виконання роботи
- •Контрольні запитання
- •Список літератури
- •Порядок виконання роботи
- •Контрольні запитання
- •Список літератури
- •Порядок виконання роботи
- •Контрольні запитання
- •Список літератури
- •Порядок виконання роботи
- •1. Режим прямого ввімкнення
- •2. Режим зворотного ввімкнення
- •Контрольні запитання
- •Список літератури
- •Порядок виконання роботи
- •Контрольні запитання
- •Список літератури
- •Порядок виконання роботи
- •Контрольні запитання
- •Список літератури
- •Порядок виконання роботи
- •Список літератури
- •Розділ 2 практичні заняття
- •2.1 Практикум «Фізичні явища в тонких плівках»
- •Список літератури
- •Список літератури
- •Список літератури
- •Список літератури
- •Список літератури
- •Питання семінару
- •Список літератури
- •Список літератури
- •Список літератури
- •Питання семінару
- •Список літератури
- •2.2 Практикум «Технологія наноструктурованих матеріалів»*
- •Питання семінару
- •Список літератури
- •Питання семінару
- •Список літератури
- •Задачі для розв'язування
- •Список літератури
- •Задачі для розв'язування
- •Список літератури
- •Задачі для розв'язування
- •Список літератури
- •2.3 Практикум «Датчики неелектричних величин»
- •Задачі для розв’язування
- •Задачі для розв’язування
- •Список літератури
- •Питання семінару
- •Список літератури
- •Задачі для розв’язування
- •Список літератури
- •Задачі для розв’язування
- •Список літератури
- •2.4 Практикум «Прилади і методи дослідження плівкових матеріалів»
- •Питання семінару
- •Список літератури
- •Задачі для розв’язування
- •Задачі для розв’язування
- •Список літератури
- •Запитання семінару
- •Список літератури
- •Задачі для розв’язування
- •Список літератури
- •2.5 Практикум «Основи мікроелектроніки»
- •Задачі для розв’язування
- •Список літератури
- •Задачі для розв’язування
- •Список літератури
- •Задачі для розв’язування
- •Список літератури
- •Задачі для розв’язування
- •Список літератури
- •Технологія одержання і фізичні властивості плівкових матеріалів та основи мікроелектроніки (практикуми)
Задачі для розв’язування
Задача 8. Отримати барометричне рівняння висоти, яке використовується для градуювання електронного датчика висоти. Вважати, що температура стовпа повітря стала.
Відповідь:
,
де
.
Задача 9. Перевірити відповідність барометричного рівняння висоти й експериментальних даних (таблиця 1).
Таблиця 1 - Залежність тиску повітря від висоти
h, м |
0 |
100 |
200 |
500 |
1000 |
20000 |
Р, мм Hg |
760 |
751 |
742 |
716 |
675 |
41 |
Задача 10. Отримати залежність опору плівкового датчика тиску як функцію зовнішнього тиску.
Відповідь:
,
де
- барометричний коефіцієнт опору.
Задача 11. Скориставшись експериментальними даними (таблиця 2) для датчика тиску мембранного типу з двошаровим тонкоплівковим резистором Cu/Cr, отримати рівняння R(Р).
Таблиця
2 - Залежність
від тиску у вакуумній камері
, % |
3,0 |
2,7 |
1,7 |
1,0 |
р, Па |
10 |
20 |
30 |
35 |
Список літератури
1. Виглеб Г. Датчики.- М.: Мир, 1989.-С.14-50.
2. Проценко І.Ю. Тонкі металеві плівки (технологія та властивості): навч. посібник з грифом МОНУ / І.Ю.Проценко, В.А.Саєнко. - Суми: Вид-во СумДУ, 2002.-С.141-147.
3. Проценко І.Ю. Датчики неелектричних величин: навч. посібник з грифом МОНУ/ І.Ю.Проценко, Н.І. Шумакова. – Суми: Вид-во СумДУ, 2003.– 80 с.
Заняття 5. Тензодатчики
Методичні вказівки. При розв’язуванні задач використовуються нижчезазначені поняття, теоретичний матеріал і співвідношення.
Принцип вимірювання деформації за допомогою тензорезистора полягає в тому, що при деформації змінюється електричний опір. Якщо довжина резистора l, площа перерізу S = ad (а – ширина; d - товщина), то електричний опір резистора пов’язаний з його питомим опором (ρ) співвідношенням
.
Якщо тензорезистор перебуває у вільному стані, то отримуємо
,
де К і m – коефіцієнт тензочутливості, виражений через R або відповідно.
Для масивного тензорезистора, приклеєного до конструкції, можна записати
,
де Kпрт= 1 + 2 + m – коефіцієнт перетворення деформації конструкції () за допомогою тензорезистора.
Між
коефіцієнтами К
і Кпрт
існує
зв’язок К
= Кпер.чКпрт,
тоді К
= Кпрт
лише за умови, що коефіцієнт передачі
деформації є
зв’язувальную
речовиною до чутливого елемента Кпер.ч
(Кпер.ч
=
,
де
- істинна деформація чутливого елемента
дорівнює одиниці.
Рівняння
перетворення відносної лінійної
деформації чутливого елемента у відносну
змінну його електричного опору можна
записати так:
.
Передача деформації до масивного
тензорезистора характеризується
функцією розподілу деформації ч
вздовж довжини (бази) чутливого елемента:
=
/Кпер.ч
.
Задачі для розв’язування
Задача
12.
Отримати співвідношення для плівкового
резистора великої товщини (фольга) в
області пружної деформації:
,
де Кпрт
–
коефіцієнт перетворення деформації.
Довести, що в області пластичної
деформації резистора Кпрт=2.
Задача
13.
Дати фізичне трактування таким
метрологічним характеристикам
тензорезисторів:
,
Кпер,
Кпрт.,
Кпер.ч,
,
m,
.
Задача
14.
Отримати граничний випадок функції
перетворення деформації для однорідного
чутливого елемента у вигляді
,
де
- істинна деформація чутливого елемента
(резистора).
Задача 15. Використовуючи результати задачі 14, отримати функцію перетворення у вигляді
.
Задача 16. Залежність опору тензодатчика у вигляді тонкої монокристалічної голки TlInTe2 від поздовжньої деформації наведена в таблиці 3.10. Використовуючи ці дані, визначити коефіцієнти Кпрт і К.
Таблиця 1 – Залежність опору від деформації
-
R, Ом
49,1
51,0
52,5
54,0
·104
1
2
3
4
Задача
17.
Функція перетворення деформації для
вільної плівки скандію
()
має лінійний характер: при 1=0,
,
а при 2=0,01,
(І деформаційний цикл) і
(ІІ деформаційний цикл). Знайти відношення
та
.