
- •І.Ю. Проценко, л.В. Однодворець технологія одержання і фізичні властивості плівкових матеріалів та основи мікроелектроніки (практикуми)
- •Розділ 1 лабораторний практикум
- •1.1 Правила техніки безпеки під час виконаннЯ лабораторних робіт
- •1.2 Практикум «Технологія плівкових матеріалів»
- •Порядок виконання роботи
- •Контрольні запитання
- •Список літератури
- •Порядок виконання роботи
- •Контрольні запитання
- •Список літератури
- •Порядок виконання роботи
- •Контрольні запитання
- •Список літератури
- •Порядок виконання роботи
- •Контрольні запитання
- •Список літератури
- •Порядок виконання роботи
- •Порядок виконання роботи
- •Контрольні запитання
- •Список літератури
- •Порядок виконання роботи
- •Контрольні запитання
- •Список літератури
- •Порядок виконання роботи
- •Контрольні питання
- •Список літератури
- •Порядок виконання роботи
- •Контрольні запитання
- •Список літератури
- •1.4 Практикум «Прилади та методи дослідження плівкових матеріалів»
- •Порядок виконання роботи
- •Контрольні запитання
- •Список літератури
- •Порядок виконання роботи
- •Контрольні запитання
- •Список літератури
- •Порядок виконання роботи
- •Контрольні запитання
- •Список літератури
- •Порядок виконання роботи
- •Контрольні запитання
- •Список літератури
- •Порядок виконання роботи
- •Контрольні запитання
- •Список літератури
- •1.5 Практикум «основи опто- і мікроелектроніки»
- •Порядок виконання роботи
- •Контрольні запитання
- •Список літератури
- •Порядок виконання роботи
- •Контрольні запитання
- •Список літератури
- •Порядок виконання роботи
- •Контрольні запитання
- •Список літератури
- •Порядок виконання роботи
- •Контрольні запитання
- •Список літератури
- •Порядок виконання роботи
- •Контрольні запитання
- •Список літератури
- •Порядок виконання роботи
- •1. Режим прямого ввімкнення
- •2. Режим зворотного ввімкнення
- •Контрольні запитання
- •Список літератури
- •Порядок виконання роботи
- •Контрольні запитання
- •Список літератури
- •Порядок виконання роботи
- •Контрольні запитання
- •Список літератури
- •Порядок виконання роботи
- •Список літератури
- •Розділ 2 практичні заняття
- •2.1 Практикум «Фізичні явища в тонких плівках»
- •Список літератури
- •Список літератури
- •Список літератури
- •Список літератури
- •Список літератури
- •Питання семінару
- •Список літератури
- •Список літератури
- •Список літератури
- •Питання семінару
- •Список літератури
- •2.2 Практикум «Технологія наноструктурованих матеріалів»*
- •Питання семінару
- •Список літератури
- •Питання семінару
- •Список літератури
- •Задачі для розв'язування
- •Список літератури
- •Задачі для розв'язування
- •Список літератури
- •Задачі для розв'язування
- •Список літератури
- •2.3 Практикум «Датчики неелектричних величин»
- •Задачі для розв’язування
- •Задачі для розв’язування
- •Список літератури
- •Питання семінару
- •Список літератури
- •Задачі для розв’язування
- •Список літератури
- •Задачі для розв’язування
- •Список літератури
- •2.4 Практикум «Прилади і методи дослідження плівкових матеріалів»
- •Питання семінару
- •Список літератури
- •Задачі для розв’язування
- •Задачі для розв’язування
- •Список літератури
- •Запитання семінару
- •Список літератури
- •Задачі для розв’язування
- •Список літератури
- •2.5 Практикум «Основи мікроелектроніки»
- •Задачі для розв’язування
- •Список літератури
- •Задачі для розв’язування
- •Список літератури
- •Задачі для розв’язування
- •Список літератури
- •Задачі для розв’язування
- •Список літератури
- •Технологія одержання і фізичні властивості плівкових матеріалів та основи мікроелектроніки (практикуми)
Задачі для розв'язування
Задача 1. Виходячи із величини діаметра С60 D 0,714 нм, оцінити величину параметра ГЦК- решітки фулериту. Отримані результати порівняти із результатом розрахунку на основі рентгенівських даних [1] (таблиця 1).
Таблиця 1 - Розрахунок рентгенограми від фулериту С60
Ном. |
d, нм |
hkl |
a, нм |
Ном. |
d, нм |
hkl |
a, нм |
1 |
0,820 |
111 |
|
3 |
0,428 |
311 |
|
2 |
0,502 |
220 |
|
4 |
0,410 |
222 |
|
а = асер асер
Задача 2. Пояснити відміність між фулеренами, фулеритами, фулеридами і ендофулеренами.
Задача 3. Пояснити суть схеми „шлях фулерену”.
Задача 4. Визначити зміну густини фулериту С60 при переході при Т=260 К від ГЦК - (а=1,416 нм) до ПК - гратки (а=1,410 нм). Густина ГЦК - фази = 1,7·103 кг/м3.
Задача 5. Пояснити фізичну природу температур Т0, Тg і ТПКГЦК для фулериту С60 .
Задача
6.
Виходячи із температурної залежності
[2] опору плівки Cu@С60
(d=1
мкм,
:
=
0,5) (таблиця 2), установити тип провідності
і визначити енергію активації
електропровідності.
Таблиця 2 - Залежність опору від температури плівки Cu@С60
-
Ном.
R,Ом
T,К
Ном.
R,Ом
T,К
Ном.
R,Ом
T,К
1
330
300
3
310
330
5
300
350
2
320
313
4
305
340
6
300
370
Список літератури
Созин Ю.И. Фуллериты и влияние на них высоких температур и давлений / Ю.И.Созин, М.Я. Кицай // Сверхтвердые материалы.- 1995.- №5.- С. 54-56.
Шпилевский Э.М. Металл-фуллереновые пленки: получение, свойства, применение //Алмазные пленки и пленки родственных материалов.- Харьков: ННЦХФТИ, 2003.- С. 242-263.
Проценко І.Ю. Технологія одержання і застосування плівкових матеріалів: навч. посібник з грифом МОНУ/ І.Ю.Проценко, Н.І.Шумакова. – Суми: Вид-во СумДУ, 2008.– 198 с.
Заняття 5. Фізичні властивості нанотрубок та нанодротів
Методичні вказівки. 1991 рік ознаменувався не тільки відкриттям Г.Крото, Р.Саллі та Р.Керлом фулеренів, але і відкриттям В.Кретчменом ще більш складного вуглецевого каркасного об’єкта циліндричної форми під назвою “нанотрубка” (ВНТ). Необхідно відмітити, що це експериментальне відкриття, оскільки теоретики його не передбачали. ВНТ можуть бути закритими і відкритими, одностінними, двостінними і багатостінними з відстанню між стінками 0,35 нм, а також прямими або спіральними.
На кінцях закритої одностінної ВНТ (ОНТ), крім шестикутних елементів, типових для графіту, є також і п’ятикутні. ВНТ можуть бути порожниcтими або заповненими ланцюжками ендофулеренів. ВНТ – це унікальний елемент електроніки майбутнього. Залежно від геометрії ВНТ (це називається „хіральністю”) електричні властивості можуть змінюватися в 105 разів (від н/п до металу). Із ВНТ можна виготовляти високоефективні холодні катоди, плоскі дисплеї, основою яких буде матриця із ВНТ (розмір елемента зображення – 1 мкм), пристрої для запису та зчитування інформації густиною 250 Гбіт/см2. Сучасні методи дозволяють отримувати не тільки окремі НТ, але і їх упорядковані пучки (снопи), колонії і троси. НТ мають дуже високу міцність як на розтягування, так і згинання. Модуль Юнга ОНТ має величину 1-5 ТПа, що в 10 разів більше, ніж у сталі. НТ вже використовуються як голки для атомно-силових мікроскопів, якими можна підхоплювати атоми або молекули і переносити їх з місця на місце. Незвичайні їх електричні властивості роблять НТ одним із основних матеріалів наноелектроніки. Уже зараз створені лабораторні зразки польових транзисторів на основі однієї НТ (за допомогою напруги запирання у декілька вольт провідність НТ змінюється у 105 разів). Багатостінні нанотрубки (БНТ) складаються від декількох до десятків ОНТ, вставлених коаксіально одна в одну. Відстань між стінками близька до міжшарової відстані в графіті (0,34 нм). З цієї причини мінімальний діаметр ОНТ dmin = 0,7 нм, а d2, d3 і т.д. задаються величиною d1. У результаті внутрішній і зовнішній діаметри БНТ мають відповідно величини 0,7-4 нм і 5-40 нм.
При інжекції металевого розплаву в наноканали мембрани (d ~ 200 нм, l ~ 50 мкм, ~ 510 12 1/м2) шляхом підвищення тиску на розплав заповнюються пори мембрани і формуються нанодроти (НД). Таким методом отримали НД із In, Sn, Al, Se, Te, GaSb, Bi2Te3 та інші.
Найбільші досягнення в технології НД має швейцарська група Д. - Ф. Ансермета та його співробітників. Група працює в Політехнічній федеральній школі Інституту експеримен-тальної фізики м.Лозанна (Швейцарія). Основну свою увагу вони приділяють дослідженню гальваномагнітних властивостей (зокрема, магнітоопір, гігантський магнітний опір) у плівкових і гранульованих НД. Рис.2 схематично ілюструє морфологію електрохімічно осаджених НД, які найбільш широко досліджує група Ансермента.