
- •І.Ю. Проценко, л.В. Однодворець технологія одержання і фізичні властивості плівкових матеріалів та основи мікроелектроніки (практикуми)
- •Розділ 1 лабораторний практикум
- •1.1 Правила техніки безпеки під час виконаннЯ лабораторних робіт
- •1.2 Практикум «Технологія плівкових матеріалів»
- •Порядок виконання роботи
- •Контрольні запитання
- •Список літератури
- •Порядок виконання роботи
- •Контрольні запитання
- •Список літератури
- •Порядок виконання роботи
- •Контрольні запитання
- •Список літератури
- •Порядок виконання роботи
- •Контрольні запитання
- •Список літератури
- •Порядок виконання роботи
- •Порядок виконання роботи
- •Контрольні запитання
- •Список літератури
- •Порядок виконання роботи
- •Контрольні запитання
- •Список літератури
- •Порядок виконання роботи
- •Контрольні питання
- •Список літератури
- •Порядок виконання роботи
- •Контрольні запитання
- •Список літератури
- •1.4 Практикум «Прилади та методи дослідження плівкових матеріалів»
- •Порядок виконання роботи
- •Контрольні запитання
- •Список літератури
- •Порядок виконання роботи
- •Контрольні запитання
- •Список літератури
- •Порядок виконання роботи
- •Контрольні запитання
- •Список літератури
- •Порядок виконання роботи
- •Контрольні запитання
- •Список літератури
- •Порядок виконання роботи
- •Контрольні запитання
- •Список літератури
- •1.5 Практикум «основи опто- і мікроелектроніки»
- •Порядок виконання роботи
- •Контрольні запитання
- •Список літератури
- •Порядок виконання роботи
- •Контрольні запитання
- •Список літератури
- •Порядок виконання роботи
- •Контрольні запитання
- •Список літератури
- •Порядок виконання роботи
- •Контрольні запитання
- •Список літератури
- •Порядок виконання роботи
- •Контрольні запитання
- •Список літератури
- •Порядок виконання роботи
- •1. Режим прямого ввімкнення
- •2. Режим зворотного ввімкнення
- •Контрольні запитання
- •Список літератури
- •Порядок виконання роботи
- •Контрольні запитання
- •Список літератури
- •Порядок виконання роботи
- •Контрольні запитання
- •Список літератури
- •Порядок виконання роботи
- •Список літератури
- •Розділ 2 практичні заняття
- •2.1 Практикум «Фізичні явища в тонких плівках»
- •Список літератури
- •Список літератури
- •Список літератури
- •Список літератури
- •Список літератури
- •Питання семінару
- •Список літератури
- •Список літератури
- •Список літератури
- •Питання семінару
- •Список літератури
- •2.2 Практикум «Технологія наноструктурованих матеріалів»*
- •Питання семінару
- •Список літератури
- •Питання семінару
- •Список літератури
- •Задачі для розв'язування
- •Список літератури
- •Задачі для розв'язування
- •Список літератури
- •Задачі для розв'язування
- •Список літератури
- •2.3 Практикум «Датчики неелектричних величин»
- •Задачі для розв’язування
- •Задачі для розв’язування
- •Список літератури
- •Питання семінару
- •Список літератури
- •Задачі для розв’язування
- •Список літератури
- •Задачі для розв’язування
- •Список літератури
- •2.4 Практикум «Прилади і методи дослідження плівкових матеріалів»
- •Питання семінару
- •Список літератури
- •Задачі для розв’язування
- •Задачі для розв’язування
- •Список літератури
- •Запитання семінару
- •Список літератури
- •Задачі для розв’язування
- •Список літератури
- •2.5 Практикум «Основи мікроелектроніки»
- •Задачі для розв’язування
- •Список літератури
- •Задачі для розв’язування
- •Список літератури
- •Задачі для розв’язування
- •Список літератури
- •Задачі для розв’язування
- •Список літератури
- •Технологія одержання і фізичні властивості плівкових матеріалів та основи мікроелектроніки (практикуми)
Список літератури
1. Мейксин З.Г. Несплошные и керметные пленки / Физика тонких пленок, том VIII. – М.: Мир, 1978. – С. 106-179.
2. Петренко С.В. Эффект тензочувствительности в дисперсних металлических пленках/ С.В. Петренко, И.Е. Проценко, В.Г. Шамоня //Металлы.–1989. – № 1. – С. 180-186.
3. Проценко І.Ю. Тонкі металеві плівки (технологія та властивості): навч. посібник з грифом МОНУ / І.Ю.Проценко, В.А. Саєнко. – Суми: СумДУ, 2002. – 187 с.
Заняття 10. Письмова робота на тему “Електропровідність та тензочутливість металевих плівок”
2.2 Практикум «Технологія наноструктурованих матеріалів»*
Мета занять – поглибити знання про фізичні методи осадження, хімічний склад та структуру алмазоподібних та споріднених із ними матеріалів.
Заняття 1. Семінар на тему “Алмазні та алмазоподібні матеріали на основі вуглецю”
Питання семінару
1. Будова та структурні характеристики полікристалічних алмазних плівок.
2. Синтез безводневих плівок вуглецю.
3. Емісійні властивості алмазоподібних плівок.
4. Одержання алмазоподібних покриттів.
Методичні вказівки. У процесі підготовки до семінару звернути увагу на такі моменти.
Алмазні та алмазоподібні плівки (АПП), які одержуються методами хімічного осадження із газоподібних вуглеводнів, активованих різними видами плазми (радіочастотна, мікрохвильова), містять значну кількість водню і складаються із декількох фаз (дрібнодисперсної алмазної, графітової, полімерної), але за рядом властивостей близькі до алмазу (їх називають алмазоподібними гідрогенізованими плівками (АПГП) і позначають а-С:Н). У загальному випадку в АПГП може реалізуватися в різному співвідношенні sp3-, sp2- та sp-гібридизація, що відповідає алмазному, графітовому або карбіновому зв’язкам. Варто зазначити, що відношення Н/С не може бути критерієм віднесення плівок до типу АПП чи АПГП, оскільки поряд із величиною Н/С необхідно враховувати співвідношення типу зв’язків sp3:sp2:sp. Якщо sp3-гібридизація дає малий внесок, то одержані плівки
_____________________________________
Підрозділ 2.1 підготувала доц. Шумакова Н.І.
можуть бути графітовими або карбіновими.
Ультрадисперсні алмази (УДА) – це композиційні матеріали нового покоління із особливими трибологічними й оптичними властивостями, матеріали для монохроматорів рентгенівських променів та ін. При зменшенні температури підкладки (Тп) збільшується пересичення пари і, як результат цього, - зменшення розмірів УДА. Існує оптимальна температура, при якій ростуть кристали алмазу.
Поряд із монокристалічними алмазними плівками (АП), отриманими при низькому тиску із газової фази, становлять інтерес для електроніки і полікристалічні алмазні плівки (ПАП). Тонкі шари алмазних та алмазоподібних речовин на різних підкладках, як правило, використовуються в мікроелектроніці як напівпровідники (н/п) та ізолятори завдяки їх специфічним електричним, хімічним і фізичним властивостям.
Синтез алмазу – не просто фізичне укладання атомів карбону у певному порядку, це ще й утворення ковалентних σ-зв’язків атомів С, які перебувають у стані sp3-гібридизації, тобто хімічний процес.
При синтезі алмазу та графіту в умовах надвисокого тиску відбуваються не тільки перебудова однієї кристалічної решітки в іншу, а ще й зміна типу гібридизації валентних електронів карбону (sp2→sp3), що супроводжується розривом π-зв’язків та утворенням нових ковалентних σ-зв’язків між атомами карбону.