
- •І.Ю. Проценко, л.В. Однодворець технологія одержання і фізичні властивості плівкових матеріалів та основи мікроелектроніки (практикуми)
- •Розділ 1 лабораторний практикум
- •1.1 Правила техніки безпеки під час виконаннЯ лабораторних робіт
- •1.2 Практикум «Технологія плівкових матеріалів»
- •Порядок виконання роботи
- •Контрольні запитання
- •Список літератури
- •Порядок виконання роботи
- •Контрольні запитання
- •Список літератури
- •Порядок виконання роботи
- •Контрольні запитання
- •Список літератури
- •Порядок виконання роботи
- •Контрольні запитання
- •Список літератури
- •Порядок виконання роботи
- •Порядок виконання роботи
- •Контрольні запитання
- •Список літератури
- •Порядок виконання роботи
- •Контрольні запитання
- •Список літератури
- •Порядок виконання роботи
- •Контрольні питання
- •Список літератури
- •Порядок виконання роботи
- •Контрольні запитання
- •Список літератури
- •1.4 Практикум «Прилади та методи дослідження плівкових матеріалів»
- •Порядок виконання роботи
- •Контрольні запитання
- •Список літератури
- •Порядок виконання роботи
- •Контрольні запитання
- •Список літератури
- •Порядок виконання роботи
- •Контрольні запитання
- •Список літератури
- •Порядок виконання роботи
- •Контрольні запитання
- •Список літератури
- •Порядок виконання роботи
- •Контрольні запитання
- •Список літератури
- •1.5 Практикум «основи опто- і мікроелектроніки»
- •Порядок виконання роботи
- •Контрольні запитання
- •Список літератури
- •Порядок виконання роботи
- •Контрольні запитання
- •Список літератури
- •Порядок виконання роботи
- •Контрольні запитання
- •Список літератури
- •Порядок виконання роботи
- •Контрольні запитання
- •Список літератури
- •Порядок виконання роботи
- •Контрольні запитання
- •Список літератури
- •Порядок виконання роботи
- •1. Режим прямого ввімкнення
- •2. Режим зворотного ввімкнення
- •Контрольні запитання
- •Список літератури
- •Порядок виконання роботи
- •Контрольні запитання
- •Список літератури
- •Порядок виконання роботи
- •Контрольні запитання
- •Список літератури
- •Порядок виконання роботи
- •Список літератури
- •Розділ 2 практичні заняття
- •2.1 Практикум «Фізичні явища в тонких плівках»
- •Список літератури
- •Список літератури
- •Список літератури
- •Список літератури
- •Список літератури
- •Питання семінару
- •Список літератури
- •Список літератури
- •Список літератури
- •Питання семінару
- •Список літератури
- •2.2 Практикум «Технологія наноструктурованих матеріалів»*
- •Питання семінару
- •Список літератури
- •Питання семінару
- •Список літератури
- •Задачі для розв'язування
- •Список літератури
- •Задачі для розв'язування
- •Список літератури
- •Задачі для розв'язування
- •Список літератури
- •2.3 Практикум «Датчики неелектричних величин»
- •Задачі для розв’язування
- •Задачі для розв’язування
- •Список літератури
- •Питання семінару
- •Список літератури
- •Задачі для розв’язування
- •Список літератури
- •Задачі для розв’язування
- •Список літератури
- •2.4 Практикум «Прилади і методи дослідження плівкових матеріалів»
- •Питання семінару
- •Список літератури
- •Задачі для розв’язування
- •Задачі для розв’язування
- •Список літератури
- •Запитання семінару
- •Список літератури
- •Задачі для розв’язування
- •Список літератури
- •2.5 Практикум «Основи мікроелектроніки»
- •Задачі для розв’язування
- •Список літератури
- •Задачі для розв’язування
- •Список літератури
- •Задачі для розв’язування
- •Список літератури
- •Задачі для розв’язування
- •Список літератури
- •Технологія одержання і фізичні властивості плівкових матеріалів та основи мікроелектроніки (практикуми)
Список літератури
1. Пинес Б.Я. Очерки по металлофизике. – Харьков: ХГУ, 1961. – С. 138-141.
2. Однодворець Л.В. Размерные примесные эффекты в кристаллической структуре тонких металлических пленок / Л.В.Однодворец, Н.И.Шумакова, Е.П.Ткач, И.Е.Проценко // Ж. нано- електрон. фіз. – 2009. – Т.1,№1. – С.25-36.
Заняття 2. Фазовий розмірний ефект (плавлення тонких плівок та малих частинок)
Методичні вказівки. При розв’язуванні задач за цією темою користуються співвідношенням (1), яке перетворюється до вигляду
,
(5)
де
– теплота
плавлення;
– зменшення
тем-ператури плавлення плівки (TS)
порівняно з температурою плавлення
масивного зразка (T0).
З (5) можна одержати залежність температури
плавлення від товщини
.
(6)
Задача 4. Виходячи із співвідношення (1), показати, що критична товщина та радіус розплавленої плівки та малої частинки пов’язані між собою співвідношенням r* = 1,5d*.
Задача 5.
Одержати співвідношення (5) та (6), виходячи
з рівняння (1) та співвідношень:
,
.
Задача 6.
Виходячи з експериментальних даних
[1], (рис. 1), оцінити теплоту плавлення
срібла (Т0S = 1234 К,
σ(1133К) = 0,93
Дж/м2,
Дж/К·м2).
Задача 7. Виходячи з експериментальних даних [1] (рис. 1), оцінити різницю поверхневих питомих енергій для міді (Т0S = 1356 К, λ = 1,3·104 Дж/моль).
Задача 8. Виходячи з експериментальної залежності температури плавлення від радіуса частинки індію (таблиця 5), оцінити теплоту плавлення індію (Т0 = 428 К, σ(429 К) = 0,56 Дж/м2, Дж/К·м2).
Таблиця 5 - Залежність температури плавлення від радіуса частинки
r, нм |
Т, К |
r, нм |
Т, К |
r, нм |
Т, К |
75 100 |
350 375 |
125 150 |
390 400 |
175 200 |
405 410 |
Рисунок 1 - Залежність температури плавлення тонких плівок Cu (1) і Ag (2) від ефективної товщини
Список літератури
1. Комник Ю.Ф. Физика металлических пленок. – М.: Атомиздат, 1979. – С. 62-77.
2. Проценко І.Ю. Тонкі металеві плівки (технологія та властивості): навч. посібник / І.Ю.Проценко, В.А. Саєнко. – Суми: Вид-во СумДУ, 2002. – 187 с.
Заняття 3. Зміна параметра решітки в частинках малих розмірів
Методичні вказівки.Під впливом домішкових атомів із залишкової атмосфери, які утворюють тверді розчини проникнення, період гратки в суцільних плівках може мати більшу величину порівняно з масивними зразками. Поряд з цим відомі спостереження протилежного характеру: в острівцевих плівках період гратки виявляється меншим порівнянно із масивними зразками (а < а0). Зменшення параметра гратки відбувається під дією поверхневого (лапласового) тиску. Цей ефект буде мати місце і в плівках, які складаються із малих частинок (острівців), що дотикаються одна до одної.
Згідно з теорією Ю.Ф. Комника [1] відносну зміну об’єму гратки в частинці під дією лапласового тиску можна записати у вигляді
,
(1)
де
,
;
– ізотермічна
стисливість;
– коефіцієнт,
який враховує форму частинок (для
сферичних частинок
= 2);
2r
– поперечний розмір частинок.
У тому випадку, коли 2r = d, співвідношення (1) перетворюється до вигляду
.
(2)
Крім того, треба мати на увазі, що стисливість при відносно невеликих тисках можна вважати лінійною функцією тиску, тобто
,
(3)
де
– ізотермічна
стисливість при нормальних умовах; b –
коефіцієнт; P
– тиск, у даному випадку лапласів, що
дорівнює
.
Задача 9. Виходячи з експериментальної залежності параметра решітки від ефективної товщини плівки ванадію (таблиця 6), оцінити величину σ при температурі Т = 300 К ( = 0,62·10-11м2/H; a0 = 0,3028 нм).
Вказівка: експериментальні дані перебудувати в координатах ΔV/V0 від 1/d, скориставшись співвідношеннями (2) і (3).
Таблиця 6 - Залежність параметра решітки від ефективної товщини плівок ванадію
d, нм |
a, нм |
d, нм |
a, нм |
d, нм |
a, нм |
3,0 5,0 7,5 |
0,3010 0,3015 0,3016 |
10,0 12,5 15,0 |
0,3017 0,3018 0,3020 |
17,5 20,0 |
0,3021 0,3022 |
Задача 10.
Порівняти результат, одержаний у задачі
9, з літературними даними σ = 1,71 Дж/м2
при Т = 1993 К,
якщо
Дж/К·м2.
Задача 11. З літературних даних відомо, що в плівці хрому з ефективною товщиною 5 нм, одержаній при Т = 300 К, параметр решітки дорівнює a = 0,2874 нм. Скориставшись даними σ (1880 К)= 1,59 Дж/м2 та Дж/К·м2, оцінити величину ізотермічної стисливості при температурі 300 К.