Расчет распределения примесей
В КРЕМНИИ ПРИ
КРИСТАЛЛИЗАЦИОННОЙ ОЧИСТКЕ
И диффузионном легировании
Курсовая работа
по учебной дисциплине
«Физическая химия
материалов и процессов электронной
техники»
по направлению
210100 Электроника и наноэлектроника
Руководитель
Профессор кафедры
ФТТМ
___________ М.А.Захаров
«____»______________20 г.
Студент группы
2031
___________ А.С.Сергеев
«____»______________20 г.
Приложение
Б
(рекомендуемое)
Оформление
титульного листа
Министерство
образования и науки Российской Федерации
Федеральное
государственное бюджетное образовательное
учреждение
высшего
профессионального образования
«Новгородский
государственный университет имени
Ярослава Мудрого»
Институт электронных
и информационных систем
Кафедра физики
твердого тела и микроэлектроники
Тема проекта
Курсовой проект
по учебной дисциплине
«Элементная база
сверхбольших интегральных схем»
Пояснительная
записка к курсовому проекту по направлению
210100 Электроника и наноэлектроника
НУФМ.000000.000 ПЗ
Руководитель
Профессор кафедры
ФТТМ
___________ М.Н.Петров
«____»______________20 г.
Студент группы
6031
___________ М.Л.Федоров
«____»______________20 г.
