
- •Печатается по решению редакционно-издательского совета Челябинского государственного университета.
- •Введение
- •Лабораторная работа 1 контактные явления на границе раздела между полупроводником и металлом
- •Описание метода и установки
- •Задание
- •Контрольные вопросы
- •Список рекомендуемой литературы
- •Лабораторная работа 2 изучение выпрямляющего действия электронно-дырочного перехода
- •Описание метода и установки
- •Задание
- •Контрольные вопросы
- •Список рекомендуемой литературы
- •Лабораторная работа 3 изучение температурной зависимости характеристик биполярного транзистора
- •Описание метода и установки
- •Задание
- •Контрольные вопросы
- •Список рекомендуемой литературы
- •Лабораторная работа 4 исследование ёмкостных свойств полупроводниковых диодов
- •Описание метода и установки
- •Задание
- •Контрольные вопросы
- •Список рекомендуемой литературы
- •Лабораторная работа 5 туннельный эффект в р-n-переходе вырожденных полупроводников
- •Описание метода и установки
- •Задание
- •Контрольные вопросы
- •Список рекомендуемой литературы
- •Лабораторная работа 6 изучение фотопроводимости полупроводников
- •Описание метода и установки
- •Задание
- •Контрольные вопросы
- •Список рекомендуемой литературы
- •Лабораторная работа 7 фотоэлектрические свойства электронно-дырочного перехода
- •Описание метода и установки
- •Задание
- •Контрольные вопросы
- •Список рекомендуемой литературы
- •Лабораторный практикум по физике твердого тела и твердотельной электронике
- •Гоувпо «Челябинский государственный университет»
- •454021 Челябинск, ул. Братьев Кашириных, 129
- •454021 Челябинск, ул. Молодогвардейцев, 57б
Лабораторная работа 4 исследование ёмкостных свойств полупроводниковых диодов
ПРИБОРЫ И ПРИНАДЛЕЖНОСТИ: планшет с электронной схемой колебательного контура с варикапом, генератор гармонических колебаний типа ГЗ-112, осциллограф типа С1-107, источник питания.
ЦЕЛЬ РАБОТЫ: исследование зависимости барьерной ёмкости варикапа от обратного напряжения. Изучение концентрационного профиля р-n-перехода.
ТЕОРИЯ
Варикап – полупроводниковый диод, применяемый в качестве электрического конденсатора, управляемого напряжением. В варикапе используется зависимость емкости р-n-перехода от величины обратного напряжения.
Емкостные свойства плоскостного диода обусловлены наличием внутреннего электрического поля в р-n-переходе. Рассмотрим причины образования этого поля. Пусть концентрация акцепторной Na и донорной примесей Nd на границе областей р и n изменяется скачком (резкий р-n-переход). На границе электронной и дырочной областей существует градиент концентрации носителей заряда, вызывающий диффузионный ток: дырок из р-области в n-область и электронов из n-области в р-область. Диффузионный перенос заряженных частиц сопровождается нарушением электрической нейтральности полупроводника в непосредственной близости от границы областей: в р-области вследствие ухода дырок возникает нескомпенсированный отрицательный заряд, а в n-области вследствие ухода электронов – положительный заряд (рис. 1). При отсутствии внешнего поля диффузионный ток в переходе должен уравновешиваться встречным дрейфовым током, обусловленным собственным электрическим полем в переходе.
Рис. 1
Из области перехода подвижные носители заряда выталкиваются сильным электрическим полем. Поэтому их концентрация по мере продвижения вглубь перехода резко падает. По этой причине р-п-переход называют обеднённым слоем. Поскольку из-за действия сильного электрического поля концентрация подвижных зарядов в переходе значительно ниже концентрации неподвижных зарядов, можно считать, что нескомпенсированный заряд в переходе определяется концентрацией доноров и акцепторов.
Из равенства суммарных зарядов на каждом из граничных участков следует соотношение для глубин проникновения областей объемного заряда
,
(1)
где dn и dp – глубины проникновения области объемного заряда в n и p области p-n-перехода.
Общая толщина резкого электронно-дырочного перехода d=dn+dp определяется соотношением
,
(2)
где φк – контактная разность потенциалов р-n-перехода. Вне р-n-перехода, то есть в толще областей p и n электрического поля нет: в области n положительные заряды доноров скомпенсированы зарядами свободных электронов, а в области р отрицательные заряды акцепторов скомпенсированы зарядами дырок.
Рассмотрим явления, происходящие в диоде, к которому приложена разность потенциалов от внешнего источника смещения. Смещение, при котором плюс источника подсоединен к n-области, а минус – к p-области (рис. 2), называют обратным.
Рис. 2
После
замыкания ключа к омическим контактам
диода по внешней цепи притекают заряды,
создающие в объеме диода электрическое
поле ЕВН.
Это поле вызывает дрейф основных
носителей тока в направлениях, указанных
стрелками на рис. 2,
а. Таким
образом, вся масса электронов n-области
и дырок р-областей
отходит от р-n-перехода,
обнажая при этом новые слои ионизированных
доноров и акцепторов, то есть расширяя
область объемного заряда до размеров
.
Перетекание электронов и дырок к омическим контактам происходит до тех пор, пока они практически полностью не скомпенсируют заряды, созданные внешним источником э.д.с. После этого всё приложенное напряжение U падает на р-n-переходе, сопротивление которого на много порядков выше сопротивления р- и n-областей и омических контактов. Высота потенциального барьера р-n-перехода при этом увеличивается до значения φk+U.
При прямом смещении, когда плюс источника напряжения подсоединяется к p-области, а минус – к n-области (рис. 3), возникающее в объеме n- и p-областей
p n
Рис. 3
электрическое поле вызывает приток основных носителей к области объемного заряда р-n-перехода. Этот процесс продолжается до тех пор, пока контактная разность потенциалов на р-п-переходе не уменьшится до значения φk–U.
Таким образом, когда к диоду прикладывается внешняя разность потенциалов, во внешней цепи в первый момент времени возникает импульс тока, обеспечивающий в конечном счете увеличение или уменьшение объемных зарядов у границ р-п-перехода. Поэтому переход ведет себя подобно емкости. Эту емкость называют барьерной (или зарядовой), так как она связана с изменением высоты потенциального барьера между р- и n-областями. Ее величина составляет
,
(3)
где dQ – изменение заряда р-n-перехода, а dU – соответствующее изменение разности потенциалов. Из рис. 2 и 3 видно, что плоский р-n-переход подобен плоскому конденсатору. Поэтому значение барьерной емкости можно определить по формуле для плоского конденсатора:
(4)
где S – площадь р-n-перехода; ε – диэлектрическая проницаемость полупроводника; d – толщина слоя объемного заряда, игравшая роль расстояния между обкладками конденсатора. Отличие от обычного конденсатора здесь состоит в том, что d в выражении (4) не является величиной постоянной, а зависит от внешнего смещения:
.
(5)
Таким образом, барьерная емкость р-п-перехода является нелинейной. Это означает, что выражение (4) можно применять лишь для малых сигналов, не изменяющих существенно значения <2 . Такой сигнал может быть, в частности, наложен на постоянное внешнее смещение.
Подставив (5) в (4) получим
.
(6)
Выражение (6) получено для резкого р-п-перехода. Для плавного (диффузионного) перехода изменение концентрации примеси в переходе протекает плавно. Считая, что это изменение происходит по линейному закону (рис. 4), для толщины слоя объемного заряда
Рис. 4
получается следующее соотношение:
,
(7)
где а – коэффициент пропорциональности в выражении линейного закона изменения концентрации нескомпенсированной примеси Na–Nd в переходе:
.
(8)
Для таких переходов барьерная емкость равна
.
(9)
Обратный ток запертого полупроводникового диода мал, т.е. мала проводимость, шунтирующая барьерную емкость, поэтому добротность барьерной емкости может быть высокой.
При переходе в область прямых направлений возрастает не только барьерная емкость диода, но и емкость, обусловленная накоплением заряда неравновесных носителей в p- и n-областях структуры, называемая диффузионной. При прямом смещении происходит икжекция дырок из р- в n-область и инжекция электронов из n- в р-область. Одновременно из внешней цепи через омический контакт поступает такое же количество электронов, чем обеспечивается сохранение электрической нейтральности этой области. Таким образом, в n-области появляется накопленный положительный заряд неравновесных дырок и равный ему по абсолютной величине отрицательный заряд электронов. При изменении величины прямого смещения оба эти заряда изменяются, оставаясь равными друг другу по абсолютной величине. Если же переход заперт и ток не течёт, то оба эти заряда равны нулю. Аналогичные процессы происходят и в р-области. Таким образом, при протекании прямого тока появляется диффузионная емкость, обусловленная накоплением заряда в областях р и n и изменением этих зарядов при изменении смещения. Диффузионная емкость нелинейна: она резко возрастает при увеличении прямого напряжения. Диффузионная емкость шунтирована малым прямым сопротивлением отпертого перехода, поэтому ее добротность мала (для диода она всегда меньше единицы). Из-за низкой добротности, а также других недостатков (сильная зависимость от температуры, высокий уровень шумов) диффузионная емкость почти не используется в электронных схемах.