
- •Прохождение электронов и ионов через вещество
- •Ионизационные потери и потери на излучение при прохождении электронов через вещество
- •Процессы смещения атомов при взаимодействии с высокоэнергетичными электронами
- •Влияние облучения на дефектную структуру кристалла
- •1.2 Закономерности нагрева, модификации и упрочнения поверхностного слоя сплава при электронном облучении
- •Коэффициенты радиационно-стимулированной диффузии точечных дефектов
- •Сегрегация примеси в условиях облучения пучком электронов
- •Сегрегация примеси на дефектах кристаллической решетки Экспериментальное изучение сегрегации примеси на дефектах кристаллической решетки
- •Модели радиационно-стимулированной сегрегации на дефектах кристаллической решетки
- •Сегрегация примеси на поверхности образца Экспериментальное изучение сегрегации примеси на поверхности образца
- •Модели радиационно-стимулированной сегрегации на поверхности образца
- •Коэффициенты радиационно-стимулированной диффузии
- •Массоперенос в гомогенных системах при облучении пучком электронов [Error: Reference source not found]
- •Массоперенос в гетерогенных системах при электронном облучении [Error: Reference source not found]
- •Экспериментальное изучение перераспределения компонентов на границах зерен [37].
- •Экспериментальное изучение массопереноса в многофазных системах [Error: Reference source not found].
- •1.2. Пространственное распределение температуры при облучении пучком электронов Профиль температурного поля в условиях облучения пучком электронов
- •Метод расчета пространственного распределения температуры в условиях облучения пучком электронов
- •Распределение температуры в материалах при облучении пучками электронов
- •Концентрационные профили точечных дефектов в условиях облучения пучком электронов
- •Концентрация точечных дефектов в условиях облучения
- •Распределение вакансий по глубине образца
- •Массоперенос в металлических системах на основе твердых растворов при облучении пучком электронов средних энергий
- •Кинетическая теория диффузии в бинарных системах в поле градиентов температуры и точечных дефектов
- •Численный метод решения кинетического уравнения диффузии. Принцип расщепления
- •Пространственное распределение элементов в твердых растворах при облучении пучком электронов
- •Гомогенная система
- •1.2.3 Внутренние напряжения в материале при электронном облучении
- •Структурно-фазовые изменения в материалах при облучении заряженными частицами
- •Применение пучков заряженных частиц для модификации поверхности материалов
- •Перераспределение элементов в сплавах при облучении пучком электронов средних энергий
- •1.2.4 Структурно-фазовые превращения при электронном облучении
- •1.3 Закономерности нагрева, модификации и упрочнения поверхностного слоя сплава при ионном облучении
- •1.3.1 Теоретические модели эффекта дальнодействия
- •1.3.2 Влияние напряжений на перераспределение вакансий при ионном облучении
- •1.3.4 Эволюции кластеров радиационных дефектов при ионном облучении твердых тел
- •1.4.1 Описание параметров состояния вещества в задачах моделирования процессов в сплавах при облучении электронами и ионами
- •1.4.2 Численное моделирования процессов теплопередачи при облучении пучками заряженных частиц.
- •Тема 1. Ионно-плазмешюе осаждение слоев ..5
- •Тема 2. Применение ионной имплантации 42
- •Тема 4. Литографические методы в микро- и наноэлектроникс 86
- •Тема 1. Ионно-плазменное осаждение
- •Тема 2. Применение ионной имплантации 2.1. Особенности ионной технологии
- •Тема 3. Особенности применения электронных процессов в электронике
- •Тема 4, литографические методы в микро- и наноэлектронике
- •Литература
1.4.1 Описание параметров состояния вещества в задачах моделирования процессов в сплавах при облучении электронами и ионами
Используя в качестве критерия возникновение фазовых превращений в объеме мишени при воздействии концентрированных потоков энергии, наиболее многопараметрической в диапазоне промежуточных плотностей мощности является система "концентрированный поток энергии – металл". На Рис. 9 представлено характерное распределение зон различного фазового состава в приповерхностной области металлической мишени на момент окончания импульса ионного тока (10−7 с) и флюенсом около 30 Дж/см2. Несмотря на относительно малые геометрические размеры зон фазовых превращений, эти процессы оказывают существенное влияние, как на формирование фазового состава, так и на генерацию и эволюцию импульса механических возмущений, распространяющегося вглубь мишени [29]. Последний может иметь сложную структуру (являться комбинацией упругих пластических и ударных волн) и определять модификацию свойств материала мишени далеко за пределами области теплового воздействия концентрированных потоков энергии (так называемый эффект дальнодействия [11−12]).
Рис. 9. Распределение зон различного фазового состава. Области: 1) твердотельная; 1') твердотельная, подверженная пластическим деформациям; 2) газоплазменного облака, расширяющегося с облучаемой поверхности; 3) переходных состояний; 4) расплава; 5) бинарного состояния "жидкость - твердое тело"; 6) бинарного состояния "жидкость - пар"; 7) возможной модификации на тыльной поверхности при отражении импульса механической нагрузки.
Для формирования законченной модели упругопластической среды необходимо рассмотрение полного напряженно-деформированного состояния металла, его зарядового состояния и детализации описания термодинамических параметров на границах раздела сред и фаз.
При описании термодинамических функций давления p(,T) и внутренней энергии (,T) в широком диапазоне фазовой диаграммы, необходимо учитывать наличие сил межатомного взаимодействия и их преодоление при расширении вещества, что в значительной степени определяет закономерности фазовых превращений. Соответственно давление разделяется на две части: упругую составляющую ps, связанную исключительно с межатомным взаимодействием, зависящим от расстояния между атомами; тепловую составляющую pT. В свою очередь тепловая составляющая разделяется на слагаемые, соответствующие тепловому движению ионов pi и тепловому возбуждению электронов pe
Ионные составляющие давления и удельной внутренней энергии определяются тепловым движением ионов, которое является классическим. В различных агрегатных состояниях связь внутренней энергии с температурой определяется числом степеней свободы ионов, соответственно для:
.
Электронное давление и удельная тепловая энергия находится по свободной энергии из известных термодинамических соотношений:
.
Упругая составляющая давления связана с упругой составляющей энергии соотношением
Упругие составляющие давления и удельной внутренней энергии зависят только от плотности и равны полному давлению и удельной внутренней энергии при абсолютном нуле температуры. В этом случае равновесное состояние твердого тела характеризуется взаимной компенсацией межатомных сил притяжения и отталкивания, а соответственно минимуму потенциальной упругой энергии, который можно принять за начало отсчета εs =0 при этом плотность вещества ρ0, p=0, T=0 [29].
Анализ описанных дифференциальных уравнений дал приемлемые результаты в области тройной точки и интерполяционную зависимость
где x = ρ0/ρ; α, µ − подгоночные параметры формулы; B0 −модуль объемной адиабатической сжимаемости [29].
В статье [29] также представлены результаты расчетов термодинамических параметров по предложенной модели, которые сравнивались с экспериментальными данными, представленными в различных диапазонах плотности и температуры для различных металлов. Графически сопоставлены результаты расчетов изотерм меди, а также кривой плавления и линии равновесия жидкость – пар с аналогичными справочными данными из. Кроме того, указаны экспериментальные параметры критической точки из обзора. На основе сравнений расчетных и экспериментальных данных сделан вывод о том, что предложенная модель адекватно и термодинамически полно описывает параметры состояния металла в широкой области фазовой диаграммы. Приведенное сравнение результатов показывает приемлемую точность расчетов для задач моделирования динамики сплошной среды. Корректное описание напряженно-деформированного состояния позволило получить новые результаты. В частности, при рассмотрении задачи о выходе последовательности упругой и пластической волн на свободную границу обнаружено формирование в пограничном слое области вещества, не подверженной пластической деформации. Использование модели в расчетах динамики системы "концентрированный поток энергии – металл" дает возможность описания процессов фазовых превращений, в том числе однозначного определения границ областей различного фазового состава. Последнее не требует постановки специальных условий на внутренних границах раздела фаз и является свойством разработанной модели.