1.4. Техника электроэрозионной и токовой подгонки тонкопленочных резисторов

Схема установки для электроэрозионной и токовой подгонки показана на рис. 1.6.

Она состоит из блока питания, цифрового вольтметра В7-27 и зондового устройства. Кнопка Кн2 служит для выбора режима подгонки; ЭП – электроэрозионная; ТП – токовая. Кнопка Кн1 служит для включения схемы измерения или подгонки. Сопротивление R ограничивает ток при электроэрозионной подгонке. В конденсаторе С происходит накопление энергии для импульса при электроэрозионной подгонке.

1.4. Процесс подгонки тпр

1. Электроэрозионная подгонка:

а) установить на контактные площадки резистора зонды; замерить номинал резистора;

б) поставить кнопки Кн2 в положение "ЭП";

в) установить напряжение блока питания (20-40 В);

г) нажать на кнопку Кн1 и одновременно коснуться электродом 3 поверхности резистивной пленки;

д) отпустить кнопки и замерить номинал резистора. При необходимости дальнейшего увеличения номинала резистора повторить процесс подгонки.

2. Токовая подгонка:

а) установить зонды на контактных площадках резистора;

б) поставить кнопки в положение "ТП";

в) установить необходимое напряжение (40-60 В);

г) нажать кнопки и выдержать в течение 5-30 с;

д) после охлаждения резистора измерить его сопротивление.

1.5 Порядок выполнения работы

Для выполнения работы получить у лаборанта подложки с резисторами.

1. Ознакомиться с оборудованием, необходимым для выполнения работы.

2. Установить резистор в зондовом устройстве и провести 5-8 циклов его электроэрозионной обработки.

3. Установить другой резистор. Провести токовую подгонку (5-6 циклов) при различных напряжениях подгонки.

4. Построить графики R=f(N), где N – число циклов.

1.6. Содержание отчета

1. Эскизы рабочих образцов резисторов.

2. Таблицы результатов измерений.

3. Графики зависимостей R=f(N).

4. Расчет точности электроэрозионной подгонки.

5. Выводы.

1.7. Контрольные вопросы

1. Каковы причины отклонения номиналов ТПР и ТИК?

2. Методы дискретной подгонки ТИР и ТПК.

3. Методы плавной подгонки ТПР и ТПК.

4. В чем сложность подгонки тонкопленочных конденсаторов?

5. Какие процессы протекают при термическом нагреве материала резисторов?

Литература

1. Готра З.Ю. Тонкопленочные резисторы микросхем.– Львов, 1976.

2. Гурский Л.И., Зеленин В.А., Жербин А.П., Вахрин Г.Л. Структура, топология и свойства пленочных резисторов. – М.: Наука и техника, 1987.

3. Сергеев В. П. , Мурадян Э. К. Подгонка тонкопленочных резисторов. – Вопросы радиоэлектроники. Серия "Технология производства и оборудования", вып. 4, 1974.