Металізація в іс.

Металізація в ІС необхідна для забезпечення омічних контактів з шаром напівпровідників, а також для одержання між елементних з’єднань та контактних площин.

Після того, як на кремнієвій основі виготовленні схемні елементи (транзистори, резистори і т.д.) їх порібно з’єднати між собою, для того щоб отримати ІС.

Матеріали для з’єднань служить алюміній, бо він має

- малий питомий опір (2,6∙10^-6 Ом∙см);

- добру адгезію до SiO₂ ;

- можливість отримання зварних з’єднань з алюмінієвим та золотим дротом;

- малу корозію та дешевизну.

Недолік – неможливість високотемпературної обробки після його нанесення (при t^о>500^оС відбувається взаємна дифузія Si та Al, та температурна міграція атомів алюмінію на поверхні кремнію).

Питомий поверхневий опір плівок алюмінію складає: R_s=0,05 Ом/□.

Ом/□ – спеціальний параметр, що характеризує провідникові властивості тонких плівок. Це опір квадратної ділянки тонкої плівки, розділений на її товщину.

Алюмінієва плівка має товщину 1 мкм, ширина провідних доріжок в залежності від технології виготовлення від 1 до 10 мкм.

Контактні площини мають розміри 100×100 мкм. До них приєднуються зовнішні виводи.

Для усунення недоліків Al іноді використовують тугоплавкі метали (вольфрам, молібден і тантал). Для них R_s=0,1÷0,2 Ом/□.

Перевагами таких плівок є відсутність електроміграції та дифузії в кремнії, висока однорідність.

Недолік – технологічні складності при нанесенні.

Обмотувальні проводи.

Провід (дріт) – виріб з металу або сплаву, здобутий його протягуванням. Дроти використовують під час виконання монтажних або намотувальних робіт для забезпечення мінімального електричного опору між ЕРЕ РЕА. В основному використовують мідні проводи з емалевою ізоляцією товщиною від 0,05 мм до 2,5 мм. Характеристиками обмотувальних проводів є еластичність емалевої ізоляції, стійкість до теплових ударів, опір до стирання та пробивна напруга для двох шарів скручених проводів.

Практичну зацікавленість мають дроти з високоміцною емалевою ізоляцією на основі вініфлекса (ПЭВ-1 та ПЭВ-2) та поліуретана (ПЭВТЛ-1 та ПЭВТЛ-2). Останні відрізняються підвищеною нагрівостійкістю. При розплавлені в процесі пайки ця ізоляція служить флюсом. Тому їх можна паяти без попередньої зачистки.

Монтажні проводи.

Монтажний мідний провід виготовляють одножильним та багатожильним. 6...10 значень діаметра в залежності від типу ізоляції з діапазоном перерізу від 0,1 до 2,5 мм². В провідниках використовуються жили перерізом 0,03; 0,05; 0,08; 0,12; 0,2; 0,35; 0,5; 0,75; 1; 1,5; 2,5 мм². Ізоляцією є синтетичні матеріали: поліетилен (провід ВД) і полівінілхлорид (ПМВ, ПГВ) (найчастіше в комбінації з волокнистими матеріалами – бавовняною пряжею чи шовком), фторопласт (МГТФ) та кремнійорганічна гума (РКГМ). В залежності від типу проводу вони можуть використовуватися в різних умовах експлуатації (від -60 до +250 ^оС).