6. Контрольные вопросы к лабораторным заданиям

1. Как устроен вакуумный пост ЭВП-2?

2. Расскажите о порядке включения и выключения вакуумной установки ЭВП-2.

3. Охарактеризуйте используемые в работе испарители и подложки. Каковы критерии выбора испарителя для напыления тонких пленок?

4. Как осуществляется подготовка подложек?

5. Каков порядок измерения сопротивления тонких пленок с помощью потенциометра УПИП-60М? Объясните методику расчета их удельного сопротивления.

Библиографический список

1. Балашов Ю.С. Технологические операции в производстве РЭС: учеб. пособие / Ю.С. Балашов, А.С. Бадаев, В.П. Иевлев. – Воронеж: ГОУ ВПО «Воронежский государственный технический университет», 2006. – 147 с.

2. Петров К.С. Радиоматериалы, радиокомпоненты и электроника: учеб. пособие / К.С. Петров. – СПб.: Питер, 2006. – 522 с.

3. Ефимов И.Е. Микроэлектроника. Физические и технологические основы, надежность: учеб. пособие / И.Е. Ефимов, И.Я. Козырь, Ю.И. Горбунов. – 2-е изд., перераб. и доп. – М.: Высш. шк., 1986. – 464 с.

Содержание

Лабораторная работа № 4. Исследование электропроводности металлов и полупроводников	1
Лабораторная работа № 5. Изучение термоэлектрических явлений в полупроводниках	19
Лабораторная работа № 6. Получение тонких пленок методом термического испарения в вакууме	37

Содержание

1. Общие указания	1
1.1. Цель работы	1
1.2. Содержание работы	1
1.3. Указания по технике безопасности	1
2. Домашние задания и методические указания по их выполнению	2
2.1. Задание № 1	2
2.2. Задание № 2	6
3. Вопросы к домашнему заданию
4. Лабораторные задания и методические указания по их выполнению
4.1. Задание № 1
4.2. Задание № 2
4.3. Задание № 3
5. Указания по оформлению отчета
6. Контрольные вопросы к лабораторным заданиям
Библиографический список

56