Добавил:
Upload Опубликованный материал нарушает ваши авторские права? Сообщите нам.
Вуз: Предмет: Файл:
ЕТПЕ шпоры.doc
Скачиваний:
0
Добавлен:
01.03.2025
Размер:
305.66 Кб
Скачать

45. Интегральные микросхемы. Структура и технология изготовления

Интегральной микросхемой (ИМС)называют миниатюрное электронное устройство, выполняющее определенные функции преобразования и обработки сигналов и содержащее большое число активных и пассивных элементов (от нескольких сотен до нескольких десятков тысяч) в сравнительно небольшом корпусе. Часто под интегральной схемой (ИС) понимают собственно кристалл или плёнку с электронной схемой, а под микросхемой (МС) — ИС, заключённую в корпус. Технология изготовления:

  • Полупроводниковая микросхема — все элементы и межэлементные соединения выполнены на одном полупроводниковом кристалле (например, кремниягерманияарсенида галлия, оксид гафния).

  • Плёночная интегральная микросхема — все элементы и межэлементные соединения выполнены в виде плёнок:

    • толстоплёночная интегральная схема;

    • тонкоплёночная интегральная схема.

  • Гибридная микросхема (также микросборка) — кроме полупроводникового кристалла содержит несколько бескорпусных диодов, транзисторов и(или) других электронных компонентов, помещённых в один корпус.

  • Смешанная микросхема — кроме полупроводникового кристалла содержит тонкоплёночные (толстоплёночные) пассивные элементы, размещённые на поверхности кристалла.