5. Проявление

Для негативного фоторезиста применяют: толуол, трихлорэтилен. При этом необлученные участки удаляются.

Для позитивного фоторезиста применяют: 5,5% KOH, 2% тринатрийфосфат. При этом удаляются облученные участки.

Важная характеристика проявителя – величина pH раствора

Травление. Решающее значение имеет состав травителя, темп-ра процесса и время. Применяются след-е травители: для Si – смесь плавиковой, азотной и уксусной кислот; для силикатных стекл и SiO₂ – плавиковая кислота и фторид аммония.

35.3 Связь надежности системы с надежностью составляющих ее элементов. Предупреждение надежности рэс. Резервирование.

Существующие методы повышения надежности можно осуществлять как на стадии проектирования, так и на стадии изготовления. В общем, эти методы можно свести к следующим: - Общие: 1.Правильный выбор схем и элементов схем, а также режимов их работы. 2.Выбор соответствующих материалов и конструкции конечных решений РЭА.3.Психофизические особенности операторов РЭС.4. Соблюдение и совершенствование технологического процесса. 5. Контроль качества.

-Прогностические.Прогнозирование является важным методом повышения надежности, т.к. в результате его проведения получают научно обоснованные вероятностные данные о будущем состоянии объекта.

- Граничные испытания—метод перспективен на стадии проектирования аппаратуры. Сущность заключается в экспериментальном определении области устойчивой работы системы или отдельных ее узлов при воздействии различных возмущающих факторов.

-Приработка изделия. Приработка элементов достигается сокращением этапа приработки системы, которое характеризуется на данном этапе повышением интенсивности отказа. На графике- распределение отказов в зависимости от времени работы устройства.

-Резервирование(Р-е). Сущность м-да р-я заключается в том, что в аппаратуру вводится избыточность. Соединения изделия при этом производится так, что отказ наступает только при отказе основного изделия и всех резервных изделий.

Р-е позволяет получать системы, надежность которых может быть выше надежности входящих в нее элементов.

По способу включения различают: 1.Р-е постоянное. При постоянном р-и резервные элементы подсоединены к основным все время работы и находятся в одинаковых с ними режимах работы. Достоинства: 1)Отсутствие кратковременных перерывов в работе 2) Простота осуществления. Недостатки: 1)Повышенный расход ресурса резервных элементов. 2)Выход из строя одного элемента приводит к изменению всех выходных параметров резервируемого узла, что ведет к изменению электрических режимов остальных параллельно включенных элементов. Постоянное р-е удобно при р-и малых энергоемких элементов. 2.Р-е замещением. При р-и замещением схема проектируется таким образом, что при появлении отказа она перестраивается и восстанавливает свою работу путем замещения отказавшего элемента резервным. При р-и замещением применяю переключатели, реле, контакторы и др., для отключения поврежденного элемента и включения резервного. Достоинства: 1)Резервная аппаратура до момента включения может, находится в облегченном или ненагруженном состоянии. 2)Один или несколько резервных элементов могут быть использованы для замены любого из существующих подмножеств однотипных элементов. Недостатки:1)Резервная аппаратура замещает основную, при этом осуществляется перерыв в работе системы. 2)Наличие переключающих элементов.3)Необходимость иметь в системе устройство поиска неисправностей. Резервное замещение удобно использовать при р-и крупных функциональных узлов сложных РЭС. Резервирование замещением и постоянное резервирование могут быть осуществлены путем применения общего, раздельного, смешанного и скользящего соединения резервных элементов.

	Общее р-е
	Раздельное р-е

Для резервированных соединений РЭС важное значение имеет понятие кратности резервирования, которое определяется как отношение числа резервных элементов к числу резервируемых ими элементов, выраженное несокращаемой дробью:

где s – общее число элементов расчета резервированного соединения; r – число элементов, минимально необходимых для выполнения изделием требуемых функций; (s–r) – число резервных элементов.