
- •Понятие вакуума. Применение вакуума в науке и технике.
- •Основные термины и определения.
- •Понятие о вакууме и давлении. Степени вакуума в зависимости от критерия Кнудсса.
- •Газовые законы.
- •Частота соударений молекул газа с поверхностью. Единицы давления.
- •Распределение молекул газа по скоростям.
- •Средняя длина свободного пути.
- •Энергия взаимодействия при физической адсорбции и хемосорбции.
- •Время адсорбции.
- •Конденсация и испарение.
- •Адсорбция газов и паров.
- •Степени покрытий поверхности.
- •Диффузия в газах.
- •Вязкость газов в вакууме.
- •Перенос теплоты в вакууме.
- •Скольжение разряженных газов.
- •Температурный скачок.
- •Основные определения вакуумной техники.
- •Сопротивление и проводимость сложного вакуумного трубопровода.
- •Основные уравнения вакуумной техники.
- •Процессы изменения состояния газа в вакуумных системах.
- •Критерии определения режимов течения газа в трубопроводах.
- •Переход от турбулентного режима течения к вязкостному
- •Переход от вязкостного режима течения к молекулярному
- •Расчёт длительности откачки.
- •Деформационные преобразователи.
- •Гидростатические преобразователи.
- •Тепловые преобразователи.
- •Электронные преобразователи.
- •Магнитные преобразователи.
- •Радиоизотопные преобразователи.
- •Градуировка преобразователей.
- •Методы измерения газовых потоков.
- •Методы течеискания.
- •Измерение парциальных давлений.
- •Распределение давления в вакуумной системе при стационарном режиме работы.
- •Параллельное соединение арматуры в откачиваемых объектах.
- •Последовательное соединение арматуры в откачиваемых объектах.
- •Параллельное соединение насосов.
- •Последовательное соединение насосов.
- •Расчёт газовых нагрузок.
Время адсорбции.
Минимальным временем адсорбции можно считать период колебания молекулы в потенциальной яме, это время можно считать примерно одинаковым для всех молекул газа τ0=10-3 с.
Время адсорбции определяется теплотой адсорбации и определяется:
, (2.3)
здесь
– теплота адсорбции.
Время
адсорбции основных составляющих
воздуха, при комнатной температуре
10-10с,
а при
1 секунда.
Для паров воды и масел τа≈102 при Т=293К и τа≈1043 при Т=77К.
Для гелия (He) даже при 77К τа близко к минимальной (10-13). Поглощение его на гладких поверхностях становится заметным при Т<4K.
Для хемосорбции при теплотах более 100·106 Дж/кмоль, время адсорбции настолько велико, что адсорбционные процессы становятся необратимыми при комнатной температуре, при изменении давления газа над поверхностью адсорбента. Вернуть систему в первоначальное состояние можно лишь повышением температуры.
При физической адсорбции τа мало и наблюдается обратимость количества поглощенного газа в зависимости от давления в фазе. Время перехода молекул на поверхности из одной потенциальной ямы в другую, называется временем миграции и определяется:
(2.4)
Для больших τМ, молекулы газа локализованы и не перемещаются по поверхности тела. Число скачков, которые совершит молекула за время адсорбции
Средний путь
, (2.5),
где А – постоянная решетки.
За время адсорбции молекула газа, имеющая Qa=80·106 Дж/кмоль при Т=293 К, по поверхности тела с идеальной кубической решеткой, т. е. А=0,5; Z=0,5 Нм, совершит NM=2.5·107 скачков и пройдет LM=1,25 см.
При наличии дефектов поверхности путь может быть существенно длинее.
Конденсация и испарение.
Вещества в зависимости от температуры и давления могут находится в различных агрегатных состояниях. В вакуумной технике могут происходить процессы конденсации, испарения, сублимации и десублимации. Кривая давления насыщенного пара при давлении меньше 100 Па, может быть описана уравнением
, (2.6)
где РТ – давление насыщенного пара при температуре Т; M и N – константы, зависящие от рода вещества.
Достаточно точные значения давления паров различных веществ определены экспериментально, сведены в различные справочники, включая полимеры и т. д.
Давление насыщенных паров, сплавов, приближенно определяется законом Рауля
, (2.7)
где РА – давление насыщенных паров вещества А; РАS – давление насыщенных паров вещества В, является растворителем вещества А; nA и nB – количество молей веществ А и В в растворе.
Массовый поток газа, падающий на единицу поверхности в единицу времени равен
(2.8).
Скорость конденсации
,
(2.9),
здесь γ – вероятность конденсации молекулы газа.
Если известна теплота адсорбции φа молекулы на поверхности твердого тела, то коэффициент γ определяется как доля молекул, которых ниже φа.
Используя интегральное распределение молекул по энергиям можно записать
;
(2.10).
.
При давлении насыщенного пара на поверхности существует динамическое равновесие процессов конденсации и испарения, т.е. скорости конденсации и скорости испарения одинаковы:
.
(2.11)
Массообмен на поверхности определяется уравнением баланса
,
где при P>PT – конденсация; при P<PT – испарение.
Процессы сублимации и десублимации описываются аналогичными выражениями. Конденсация тепла идет с выделением теплоты. Теплоту конденсации можно определить по уравнению
(2.12)
При изучении молекулярных потоков в высоком вакууме важно знать направление испаряющихся молекул, его можно определить по уравнению
, (2.13)
где γ – угол; ξ – заданная доля молекулярного потока.