
- •Понятие вакуума. Применение вакуума в науке и технике.
- •Основные термины и определения.
- •Понятие о вакууме и давлении. Степени вакуума в зависимости от критерия Кнудсса.
- •Газовые законы.
- •Частота соударений молекул газа с поверхностью. Единицы давления.
- •Распределение молекул газа по скоростям.
- •Средняя длина свободного пути.
- •Энергия взаимодействия при физической адсорбции и хемосорбции.
- •Время адсорбции.
- •Конденсация и испарение.
- •Адсорбция газов и паров.
- •Степени покрытий поверхности.
- •Диффузия в газах.
- •Вязкость газов в вакууме.
- •Перенос теплоты в вакууме.
- •Скольжение разряженных газов.
- •Температурный скачок.
- •Основные определения вакуумной техники.
- •Сопротивление и проводимость сложного вакуумного трубопровода.
- •Основные уравнения вакуумной техники.
- •Процессы изменения состояния газа в вакуумных системах.
- •Критерии определения режимов течения газа в трубопроводах.
- •Переход от турбулентного режима течения к вязкостному
- •Переход от вязкостного режима течения к молекулярному
- •Расчёт длительности откачки.
- •Деформационные преобразователи.
- •Гидростатические преобразователи.
- •Тепловые преобразователи.
- •Электронные преобразователи.
- •Магнитные преобразователи.
- •Радиоизотопные преобразователи.
- •Градуировка преобразователей.
- •Методы измерения газовых потоков.
- •Методы течеискания.
- •Измерение парциальных давлений.
- •Распределение давления в вакуумной системе при стационарном режиме работы.
- •Параллельное соединение арматуры в откачиваемых объектах.
- •Последовательное соединение арматуры в откачиваемых объектах.
- •Параллельное соединение насосов.
- •Последовательное соединение насосов.
- •Расчёт газовых нагрузок.
Параллельное соединение насосов.
В вакуумных системах с большими газовыми потоками используют параллельное соединение насосов (рис. 4.5, а). Запишем уравнение (4.15) для узла А, к которому подключены через элементы с проводимостями U1, U2,...,Ui,...,Un все входные патрубки параллельно соединенных насосов
,
(4.28)
где Q — суммарный поток, откачиваемый системой насосов.
Для
входных сечений насосов уравнение
(4.16) можно записать в виде равенства
потоков, проходящих через элемент
проводимостью Ui
и
через насос с быстротой откачки
(4.29)
а)
б)
Рис.4.5. Соединение насосов:
α) параллельное; б) последовательное
Решая (4.29) относительно pi, найдем
.
(4.30)
Быстроту откачки в узле А определяем после подстановки (4.30) в (4.28):
.
(4.31)
Из (4.31) следует, что быстрота откачки в узле А равна сумме эффективных быстрот откачки всех насосов. Таким образом, систему параллельно соединенных насосов можно заменить одним насосом, подключенным к узлу и имеющим быстроту действия, определяемую по формуле (4.31).
Если
все насосы одинаковы, то
,
а для обеспечения в узле А
давления
рА
требуется
следующее число насосов:
.
(4.32)
Определим
предельное давление системы в узле А
при
Q=0,
если система составлена из насосов с
различными предельными давлениями
.
В этом случае уравнение потоков (4.15) для узла А запишем в виде
.
(4.33)
Используя зависимость SHi от давления согласно (4.12), можно (4.33) преобразовать к виду
.
(4.34)
Для каждого из насосов справедливо уравнение
,
(4.25)
из которого находим
.
(4.36)
После
подстановки (4.36) в (4.34) и решения
полученного выражения относительно
давления
получим
выражение для предельного давления
системы параллельно включенных насосов:
,
(4.37)
где
Максимальный
газовый поток, который может быть
откачан системой параллельно включенных
насосов, соответствует равенству
давлений
в их выходных патрубках максимальным
выпускным давлениям насосов
,
которые зависят от конструкции насоса
и указываются в каталогах. Уравнение
потоков (4.15) в узле В
запишем,
полагая, что
.
(4.38)
Решая уравнение (4.38) относительно давления в узле В, получим
.
(4.39)
Эффективная быстрота откачки насоса предварительного разрежения в узле В
.
(4.40)
Величина
быстроты откачки по формуле (4.40)
определена с запасом, так как маловероятно,
чтобы в системе с разными насосами все
давления на их выходе стали одновременно
равными максимальным выпускным. Уточнить
SB
можно
для конкретной системы насосов при
условии
.
Система последовательно соединенных насосов (рис. 4.5, б) очень часто используется в высоковакуумных установках. Если пренебречь собственным газовыделением насосов и соединительных трубопроводов, то в стационарном режиме работы газовый поток Q во всех насосах останется неизменным и можно записать условие постоянства потока в виде
.
(4.41)
Из условия (4.41) следует, что требуемые быстроты действия последовательно соединенных насосов уменьшаются пропорционально возрастанию давления:
.
(4.42)
Быстрота откачки первого насоса из (4.41)
.
(4.43)
Для описания основной характеристики насоса примем выражение (4.12). Из (4.12) и (4.43) можно найти номинальную быстроту откачки:
.
(4.44)
Уравнение потоков (4.16) для входного сечения первого насоса
.
(4.45)
Решая
(4.45) относительно давления р1,
получим
с учетом выражения (4.8) для коэффициента
использования насоса
.
(4.46)
Подставляя (4.46) в (4.44), преобразуем выражение для номинальной быстроты откачки первого насоса:
.
(4.47)
Для любого другого последовательно включенного насоса аналогично (4.47), получим следующее выражение для определения номинальной быстроты откачки:
.
(4.48)
В качестве давления p'i-1 можно принимать максимальное выпускное давление предыдущего насоса.